JP2009152315A - イメージセンサーおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のフォトダイオードが形成された半導体基板と、それぞれのフォトダイオードに対応して形成された緑色、青色および赤色のカラーフィルターとを有するイメージセンサーにおいて、緑色の領域に前記半導体基板上に直接形成された第1の緑色カラーフィルターとその上に積層された第2の緑色カラーフィルターを有することを特徴とするイメージセンサー。
【選択図】図5
Description
Claims (5)
- 複数のフォトダイオードが形成された半導体基板と、それぞれのフォトダイオードに対応して形成された緑色、青色および赤色のカラーフィルターとを有するイメージセンサーにおいて、緑色の領域に前記半導体基板上に直接形成された第1の緑色カラーフィルターとその上に積層された第2の緑色カラーフィルターを有することを特徴とするイメージセンサー。
- 対角線方向に配置された隣接する2つの緑色の画素間で前記第1の緑色カラーフィルターはコーナー部が互いにブリッジで連結しており、各々の緑色の画素内で前記第2の緑色カラーフィルターは前記第1の緑色カラーフィルターよりも面積が小さいことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンサー。
- 前記第1の緑色カラーフィルターの厚さが0.05〜0.5μmであることを特徴とする請求項1または2に記載のイメージセンサー。
- 前記第2の緑色カラーフィルター、青色カラーフィルターおよび赤色カラーフィルターの上に、さらに平滑化層およびマイクロレンズを有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のイメージセンサー。
- 複数のフォトダイオードが形成された半導体基板と、それぞれのフォトダイオードに対応して形成された緑色、赤色および青色のカラーフィルターとを有するイメージセンサーを製造するにあたり、
前記半導体基板上に直接に第1の緑色カラーレジストを塗布し、パターン露光、現像および熱硬化を行って緑色の領域に第1の緑色カラーフィルターのパターンを形成する工程と、
全面に青色カラーレジストを塗布し、パターン露光、現像および熱硬化を行って青色の領域に青色カラーフィルターのパターンを形成する工程と、
全面に赤色カラーレジストを塗布し、パターン露光、現像および熱硬化を行って赤色の領域に赤色カラーフィルターのパターンを形成した後、全面に第2の緑色カラーレジストを塗布し、パターン露光、現像および熱硬化を行って緑色の領域に第1の緑色カラーフィルター上に積層された第2の緑色カラーフィルターを形成するか、または上記と逆の順序で第2の緑色カラーフィルターおよび赤色カラーフィルターを形成する工程と
を有することを特徴とするイメージセンサーの製造方法。
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