JP4974617B2

JP4974617B2 - 溶液塗布装置

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Publication number: JP4974617B2
Application number: JP2006239596A
Authority: JP
Inventors: 雅彦黒澤; 由孝岡部
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2006-09-04
Filing date: 2006-09-04
Publication date: 2012-07-11
Anticipated expiration: 2026-09-04
Also published as: JP2008062121A

Description

本発明は、基板上の塗布予定領域に溶液をインクジェット方式によって塗布する溶液塗布装置に関する。

液晶表示装置のガラス基板上に配向膜等の機能性薄膜を形成するにあたり、ポリイミド溶液等の配向膜材料の使用効率の向上を図る等の目的で、オフセット印刷に代えて、複数のノズルから溶液を噴射吐出させて基板上に所定のパターンで塗布するインクジェット方式が用いられている。特許文献１には、このようなインクジェット方式によって基板上に溶液を塗布して、基板上に配向膜を形成する方法が開示されている。
特開平9-105937号公報

一般に、液晶表示装置のパネルの製造では、１枚のガラス基板から複数のパネルを取る多面取りが行なわれている。そのため、１枚のガラス基板上の複数の領域にポリイミド等の溶液が所定のパターンで塗布される。

しかしながら、例えば、図１１に示す如く、ガラス基板がカラーフィルタ基板１１６である場合、カラーフィルタ基板１１６上の塗布予定領域Ｓの一部、例えば、カラーフィルタ基板１１６上の塗布予定領域１０１〜１０６のうちの塗布予定領域１０３に、前工程のカラーフィルタの形成工程で生じた欠陥を有していたとする。カラーフィルタはガラス基板上に形成された不図示のブラックマトリクスと、ブラックマトリクスで囲まれた枠内に形成された不図示の赤、緑、青のカラーフィルタ素子からなる。カラーフィルタの欠陥としては、ブラックマトリクスのパターン異常等のブラックマトリクス自体の欠陥や、ブラックマトリクスで囲まれた枠内に形成された赤、緑、青のカラーフィルタ素子の「白抜け部分」、「混色」、「異物の付着」等の異常がある。このような欠陥を有する塗布予定領域１０３に配向膜を形成するためのポリイミド溶液が塗布された場合、塗布後、欠陥を有する塗布予定領域１０３のパネルは廃棄されることになる。その結果、ポリイミド溶液が必要以上に消費され、ポリイミド溶液の使用効率が悪いという問題がある。

本発明の課題は、基板上の塗布予定領域に溶液をインクジェット方式によって塗布する溶液塗布装置において、溶液の使用効率を向上させることのできる溶液塗布装置を提供することにある。

請求項１の発明は、溶液を吐出させる複数のノズルを備えたインクジェット方式の塗布ヘッドと基板とを相対移動させ、前記基板上の複数の塗布予定領域に溶液を順次塗布する溶液塗布装置において、前記複数の塗布予定領域のうち良否情報が良の塗布予定領域に対しては前記塗布予定領域に対向する各ノズルから溶液を設定されたドット数で吐出させる前記溶液の塗布を実行させ、良否情報が不良の塗布予定領域に対しては前記各ノズルから前記設定されたドット数よりも少ないドット数で溶液を吐出させるダミー塗布を実行させるように前記塗布ヘッドを制御する制御装置を備えるものである。

請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記制御装置は、前記不良の塗布予定領域における前記相対移動方向の下流側の端部領域に、ダミー塗布を実行させるようにしたものである。

請求項３の発明は、請求項１または２の発明において更に、前記基板上の塗布予定領域の良否を判定する検査装置を備え、該検査装置による判定結果を前記良否情報とするようにしたものである。

請求項４の発明は、請求項１または２の発明において更に、前記基板は、前記塗布予定領域の良否を識別するためのマークが付されて成り、前記マークを検出する検出装置を更に備え、この検出装置による検出結果を前記良否情報とするようにしたものである。

溶液塗布装置は、塗布予定領域の良否情報に基づいて、塗布予定領域に対する溶液の塗布を制御する制御装置を備えるので、基板上の一部の塗布予定領域に前工程で生じた欠陥がある場合、例えば、その塗布予定領域に対して塗布を実行しないようにすることができる。その結果、溶液の使用効率を向上させることができる。

図１は溶液塗布装置の側面を示す模式図、図２は図１に示す溶液塗布装置の平面図、図３は図１に示す溶液塗布装置の制御ブロック図、図４はカラーフィルタ基板の検査装置の模式図、図５は検査装置と溶液塗布装置との制御ブロック図、図６は実施例１におけるカラーフィルタ基板上の塗布予定領域における塗布状態を示す模式図、図７はダミー塗布の実施態様を示し、（Ａ）はダミー塗布の一実施態様の模式図、（Ｂ）はダミー塗布の他の実施態様の模式図、図８は実施例２における検査装置の模式図、図９は実施例２における溶液塗布装置の制御ブロック図、図１０は実施例２におけるカラーフィルタ基板上の塗布予定領域の良否情報を示すマークの実施態様を示し、（Ａ）はマークの一実施態様の模式図、（Ｂ）はマークの他の実施態様の模式図である。

（実施例１）
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施例を説明する。
図１に示すこの発明に係る溶液塗布装置１０は、Ｘ軸方向（図１中、左右方向）に長いベース１１を有し、ベース１１の上面に、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向（図中前後方向）に所定の間隔で離間した一対のレール１２がX軸方向に沿って敷設されている。レール１２上に搬送テーブル１３が移動可能に設けられている。ベース１１のＸ軸方向の左端にサーボモータ１４からなる駆動源が設けられ、モータ１４はボールねじ１５を回転駆動する。ボールねじ１５は、図２に示す如く、搬送テーブル１３の下面側に、ベース１１のＸ軸方向に沿って回転可能に支持されるとともに、搬送テーブル１３の下面に設けられた図示しないナットに螺合する。従って、モータ１４を回転してボールねじ１５を回転させると、搬送テーブル１３をベース１１のＸ軸方向に沿って往復移動させることができる。

搬送テーブル１３の上面には液晶表示装置のパネルに用いられるガラス製のカラーフィルタ基板（以下、単に「基板」と言うことがある）１６が不図示のロボット等の搬送手段によって位置決め供給される。搬送テーブル１３上に供給された基板１６は、例えば吸引等の手段によって移動不能に保持される。

ベース１１のＸ軸方向中途部には、Ｙ軸方向（図１中、前後方向）に搬送テーブル１３を跨ぐ状態で門型の支持体２０が設けられている。支持体２０のＸ軸方向の前面側（図１中、左側）には矩形状の取付枠２１が設けられている。取付枠２１の内側には、図２に示す如く、平面視、矩形状の複数（実施例では６つ）の塗布ヘッド２２が、Ｙ軸方向に沿って千鳥状に配設されている。塗布ヘッド２２の下端面には、不図示の複数のノズルがＹ軸方向に沿って等ピッチに形成されている。

塗布ヘッド２２の複数のノズルに対応して不図示の液室がそれぞれ設けられ、各液室には不図示の圧電素子がそれぞれ設けられている。液室内には、例えば、ポリイミドを溶媒中に溶解した溶液が供給され、塗布ヘッド２２内に設けられた駆動回路部２３から圧電素子に駆動電圧が供給されると、圧電素子が伸縮して液室内の溶液がノズルから噴射吐出される。

搬送テーブル１３とレール１２との間には、図１に示す如く、搬送テーブル１３のＸ軸方向の位置を検出するためのリニアエンコーダ２４が設けられている。リニアエンコーダ２４は、Ｙ軸方向前方側のレール１２の外側面にＸ軸方向に沿って設けられたリニアスケール２５と、リニアスケール２５と対向して搬送テーブル１３に設けられたリニアセンサ２６からなる。

図２に示す如く、カラーフィルタ基板１６上にＹ軸方向に２つＸ軸方向に３つ行列状に区画される６つの領域には、前工程で、不図示のブラックマトリクスと、ブラックマトリクスで囲まれた枠内に形成された赤、緑、青のカラーフィルタ素子からなる不図示のカラーフィルタが形成されている。カラーフィルタ上面には、配向膜を形成するためのポリイミド溶液が塗布され、カラーフィルタ上面がポリイミド溶液が塗布される塗布予定領域Ｓとなる。

溶液塗布装置１０は、図３の制御ブロック図に示す如く、制御装置３２を備える。制御装置３２は、搬送テーブル１３を駆動するモータ１４を制御し、リニアエンコーダ２４からの信号を入力して搬送テーブル１３の位置を検出し、更に、塗布ヘッド２２の駆動回路部２３を駆動して溶液の吐出を制御する。

制御装置３２は記憶部３３を有し、この記憶部３３に、溶液の塗布情報として、カラーフィルタ基板１６上における６つの塗布予定領域Ｓの位置とその大きさ（Ｘ−Ｙ軸方向の寸法）、搬送テーブル１３の移動速度、圧電素子に供給する電圧値とそのパルス幅及びパルス間隔等が記憶されている。

制御装置３２は、搬送テーブルの移動中、リニアエンコーダ２４からの信号と記憶部３３に記憶された溶液の塗布情報から、各塗布予定領域Ｓが塗布ヘッド２２のノズルの下を通過するタイミングに合わせて塗布ヘッド２２の駆動回路部２３を駆動し、塗布予定領域Ｓに対向するノズルから溶液を吐出させる。その結果、塗布予定領域Ｓには、図２に示す如く、Ｙ軸方向に２つＸ軸方向に沿って３つ、合計６つの矩形状の塗布パターンＰが塗布され、カラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓに液晶表示装置用の配向膜が形成される。

次に、溶液塗布装置１０における溶液塗布工程の前工程に、図４に示す如く、カラーフィルタ基板１６の塗布予定領域Ｓ上に形成されたカラーフィルタの欠陥を検査するための検査装置３５が設けられている。一方、溶液塗布装置１０の記憶部３３には、検査装置３５で検出されたカラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓの位置（以後、カラーフィルタ基板１６上の特定の位置の塗布予定領域Ｓを示す場合には、塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６と表す。）と各塗布予定領域Ｓの良否に関する情報が記憶される。溶液塗布装置１０の制御装置３２は、記憶部３３に記憶された各塗布予定領域Ｓの位置と良否情報に基づいて、カラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を制御する。

図４はカラーフィルタの検査装置３５を示す図で、カラーフィルタ基板１６の各塗布予定領域Ｓは、その裏面側に配置された照明板３６により照明され、前工程でカラーフィルタ基板１６上に形成されたカラーフィルタの欠陥が検査される。照明板３６は光ファイバケーブル４０で光源４１と接続されている。光源４１から発光された光は、赤、緑、青の３本の光ファイバを経由して照明板３６に導入され、照明板３６から白色光としてカラーフィルタ基板１６に照射される。

カラーフィルタ基板１６の表面に対向してＣＣＤカメラ４３からなる撮像装置が配置され、ＣＣＤカメラ４３はカラーフィルタ基板１６の表面に沿ってＸ−Ｙ軸方向に相対移動して各塗布予定領域Ｓ上に形成されたブラックマトリクスで囲まれた枠内のカラーフィルタ素子を撮像する。

カラーフィルタの検査装置３５は、ＣＣＤカメラ４３にて撮像されたカラーフィルタ素子画像を処理する画像処理装置４４を備える。

カラーフィルタ基板１６に照射された白色光はカラーフィルタ素子を透過して、ＣＣＤカメラ４３にカラーフィルタ素子の透過像として撮像される。ＣＣＤカメラ４３により撮像されたカラーフィルタ素子の画像信号は画像処理装置４４に送られ、カラーフィルタ素子に生じた「白抜け部分」、「混色」、「異物の付着」等の欠陥が検査される。「白抜け部分」は、カラーフィルタ素子に色抜けがある状態で、正常な状態では、枠内は赤、緑、青のいずれかの色のインクで埋め尽くされている。「混色」は、例えば、青色のインクが緑色のフィルタ素子の枠内にはみ出した状態で、「異物の付着」は、カラーフィルタ素子上にゴミが付着した状態である。

カラーフィルタの検査装置３５は制御装置３７を備える。制御装置３７は、光源４１、ＣＣＤカメラ４３の移動、画像処理装置４４を制御する。

検査装置３５は、検査によってカラーフィルタ基板１６上の６つの塗布予定領域Ｓの良・不良を判定し、判定結果は、図５に示す如く、検査装置３５の制御装置３７から溶液塗布装置１０の制御装置３２へ通信手段３８を介して伝送され、溶液塗布装置１０の記憶部３３に記憶される。

溶液塗布装置１０の制御装置３２は、記憶部３３に記憶された塗布予定領域Ｓの判定結果に基づいて、カラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を制御する。

次に、上記構成からなる溶液塗布装置１０の動作について説明する。
まず、図４に示す如く、検査装置３５にて、ガラス基板上に形成されたカラーフィルタ素子の欠陥検査が行なわれる。検査装置３５にカラーフィルタ基板１６が供給され、カラーフィルタ基板１６の裏面側の照明板３６から白色光がカラーフィルタ基板１６に照射される。制御装置３７は、ＣＣＤカメラ４３をＸ−Ｙ軸方向に水平移動させて塗布予定領域Ｓ毎にカラーフィルタ素子の画像を撮像する。

「白抜け部分」、「混色」、「異物の付着」等の欠陥を有するカラーフィルタ素子は、赤、緑、青のいずれかの色とは異なる色の部分であるので、正常な状態のカラーフィルタ素子に比べると、輝度分布が異なる。画像処理装置４４は、ＣＣＤカメラ４３による撮像画像を、水平方向の走査ラインに沿って走査し、順次垂直方向に移動させて、走査ライン毎に輝度分布を求めてグラフ化する。求めた輝度分布が正常な輝度分布のグラフに対して差を有するか否かを比較することで、カラーフィルタ素子に欠陥が有るか否かを判定する。

制御装置３２はカラーフィルタ基板１６上の各塗布予定領域Ｓの位置と良・不良の判定結果を良否情報として通信手段３８を介して溶液塗布装置１０の記憶部３３に伝送する。

次に、欠陥検査が終わったカラーフィルタ基板１６は、不図示のロボット等の搬送装置によって、図１に示す溶液塗布装置１０に送られ、溶液塗布装置１０の搬送テーブル１３上に位置決め保持される。

溶液塗布装置１０の制御装置３２は、モータ１４を駆動回転させて搬送テーブル１３をＸ軸方向に移動させて、カラーフィルタ基板１６を搬送する。

溶液塗布装置１０の制御装置３２は、搬送テーブル１３上に位置決め保持されたカラーフィルタ基板１６について、記憶部３３に記憶された各塗布予定領域Ｓの良否情報に基づいて、塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を制御し、良と判定された塗布予定領域Ｓに対しては所定のパターンＰで溶液の塗布を実行し、不良と判定された塗布予定領域Ｓに対しては溶液の塗布を実行しない。

しかしながら、不良の塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を実行しない場合、塗布ヘッド２２内の溶液の粘度が増加して塗布ヘッド２２からの吐出に支障を来たすことがある。そこで、制御装置３２は、不良と判定された塗布予定領域Ｓに対しては、ダミー塗布を行なうか否かを決定する。ダミー塗布とは、後述する如く、ノズルからの溶液の吐出を間欠的に行なう塗布のことである。ダミー塗布を行なうか否かの決定は、塗布ヘッド２２からの吐出に支障を来たす時間を閾値Ｔｏとして予め実験等により求め、この閾値Ｔｏと、不良と判定された塗布予定領域Ｓに対して塗布ヘッド２２からの吐出を停止させる時間Ｔ_Xとを比較することにより行なう。塗布ヘッド２２からの吐出を停止させる時間Ｔ_Xは、記憶部３３に記憶された溶液の塗布情報から算出される塗布予定領域Ｓ１の終端（基板１６の搬送方向における終端）と塗布予定領域Ｓ５の始端との間の距離と、同じく記憶部３３に記憶された搬送テーブル１３の移動速度とから求めることができる。

そして、塗布ヘッド２２からの吐出を停止する時間Ｔ_Xが閾値Ｔｏ以上であれば、ダミー塗布を行なう。

次に、上述した制御装置３２の制御動作を、図６を参照して、説明する。
まず、溶液塗布装置１０の制御装置３２は、搬送テーブル１３を、図１中、左端の原位置から矢印方向に前進移動させて、カラーフィルタ基板１６を搬送する。

制御装置３２は、記憶部３３に記憶されたカラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２の良否情報が良なので、図６に示す如く、カラーフィルタ基板１６上の塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２が塗布ヘッド２２のノズルの下に到達したタイミングに合わせて、塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２に対向する各塗布ヘッド２２内の駆動回路部２３を駆動して圧電素子を伸縮させ、ノズルから溶液を吐出させて基板１６上の塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２に塗布する。そして、塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２がノズルの下を通過したタイミングに合わせてノズルからの溶液の吐出を停止させる。

次いで、塗布予定領域Ｓ３、Ｓ４が塗布ヘッド２２のノズルの下に到達したとき、制御装置３２は、記憶部３３からの塗布予定領域Ｓ３の良否情報が不良で、塗布予定領域Ｓ４が良なので、塗布予定領域Ｓ４の塗布のみを実行する。この際、塗布予定領域Ｓ３がダミー塗布を行なう決定になっている場合には、ダミー塗布を行なう。

ダミー塗布は、図７（Ａ）に示す如く、例えば、塗布予定領域Ｓ３に対して溶液を基板１６の搬送方向（矢印で示す）に５０ドット塗布する場合、１０ドット毎に一回の割合で間欠的にノズルから吐出させて塗布するか、或いは、図７（Ｂ）に示す如く、最後の１０ドット分だけ間欠的にノズルから吐出させて塗布することにより行なう。

図７（Ａ）、（Ｂ）に示す例では、いずれも溶液の吐出を停止させている時間が閾値Ｔｏより短くなる、つまり、塗布予定領域Ｓ１の終端から最初のダミー塗布が行なわれる位置まで移動するに要する時間も、最後のダミー塗布が行なわれた位置から塗布予定領域Ｓ５の始端まで移動するに要する時間も、図７（Ａ）における１つのダミー塗布から次のダミー塗布迄の時間のいずれも閾値Ｔｏより短くなる。

尚、図７（Ａ）に示すダミー塗布は、塗布予定領域Ｓ１の終端から塗布予定領域Ｓ５の始端まで移動するに要する時間Ｔ_Xが閾値Ｔｏよりはるかに大きい場合に有効である。
また、図（Ａ）、（Ｂ）のダミー塗布を組み合わせても良い。

次いで、塗布予定領域Ｓ５、Ｓ６が塗布ヘッド２２のノズルの下に到達したとき、制御装置３２は、記憶部３３からの塗布予定領域Ｓ５、Ｓ６の良否情報が良なので、塗布予定領域Ｓ５、Ｓ６の塗布を実行する。塗布予定領域Ｓ５、Ｓ６がノズルの下を通過したタイミングでノズルからの溶液の吐出を停止させる。

次いで、制御装置３２は搬送テーブル１３を原位置に後退させる。ロボット等の搬送装置が溶液の塗布を完了した基板１６を搬出し、次の基板１６を搬送テーブル１３上に搬入する。

本実施例によれば、以下の作用、効果を奏する。
(a)溶液塗布装置１０は、塗布予定領域Ｓの良否情報に基づいて、塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を制御する制御装置３２を備えるので、例えば、基板１６上の６つの塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６のうちの一部の塗布予定領域Ｓ３に欠陥がある場合、その塗布予定領域Ｓ３に対して塗布を実行しないように制御することができる。その結果、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３に対して溶液が塗布されることを防止して、溶液が無駄に消費されることが防止されるので、溶液の使用効率を向上させることができ、コストダウンを図ることができる。

(b)制御装置３２は、良否情報において良と判定された塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６に対して溶液の塗布を実行し、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３には溶液の塗布を実行しないので、溶液の使用効率を向上させることができる。その結果、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３に対して溶液が塗布されることを防止して、溶液が無駄に消費されることが防止されるので、溶液の使用効率を向上させることができ、コストダウンを図ることができる。

(c)制御装置３２は、良否情報において良と判定された塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６に対して所定のパターンＰで溶液を塗布し、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３にはダミー塗布を行ない、ダミー塗布は不良と判定された塗布予定領域Ｓ３の一部分のみに行なうようにしたので、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３の全体に塗布していた従来のものに比べ、溶液の使用効率を向上させることができる。

また、ノズル内の溶液の粘度が増加することを防止し、仮に溶液の粘度が増加したとしてもダミー塗布を行なうことにより溶液をノズルから排出することができるので、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３の次の塗布予定領域Ｓ５に必要な吐出量で溶液の塗布を行なうことができる。その結果、基板１６上に機能性薄膜をムラなく均一に形成することができる。

また、粘度が増加した溶液は、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３に塗布されるので、粘度が増加した溶液をノズルから排出したとしても、良と判定された塗布予定領域Ｓに形成される機能性薄膜の品質を損ねることがない。

(d)溶液塗布装置１０は、基板１６上の塗布予定領域Ｓの良否を判定する検査装置３５を備え、検査装置３５による判定結果を良否情報とするので、塗布予定領域Ｓの良否の判定を自動化することができる。その結果、判定ミスや入力ミス等の人為的なミスが防止されるので、良と判定された塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６に対しては溶液の塗布を確実に実行し、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３には溶液の塗布を確実に実行しないようにすることができる。

（実施例２）
実施例１では、基板１６上の塗布予定領域Ｓの良否の判定結果を溶液塗布装置１０の記憶部３３に伝送したが、実施例２の検査装置５０は、図８に示す如く、塗布予定領域Ｓの良否の判定結果を識別するマークＭを基板１６上に付し、図９に示す如く、このマークＭを検出する検出装置５２を溶液塗布装置６０に設け、検出装置５２による検出結果を良否情報として溶液塗布装置６０の記憶部６２に記憶するようにしたものである。以下、実施例１と同一の構成には同一の符号を付し、図８から図１０を参照して説明する。

検査装置５０は、図８に示す如く、基板１６上に塗布予定領域Ｓの良否を識別するためのマークＭを付すマーキング装置５３を備える。

検査装置５０は、実施例１と同様に、検出装置としてのＣＣＤカメラ４３にて撮像されたカラーフィルタ素子の透過像を画像処理装置４４にて画像処理してカラーフィルタ素子の欠陥を検査し、カラーフィルタ基板１６上の６つの塗布予定領域Ｓの良・不良を判定する。この判定結果に従って、マーキング装置５３は、図８、１０（Ａ）に示す如く、各塗布予定領域Ｓの外側の周縁部の左上部に、良の塗布予定領域Ｓには丸印のマークＭを、不良の塗布予定領域Ｓには×印のマークＭをインク等により付す。検査装置５０の制御装置５６は、ＣＣＤカメラ４３、光源４１、画像処理装置４４、マーキング装置５３を制御する。

溶液塗布装置６０は、図９に示す如く、基板１６上に付された良否識別用のマークＭを検出する検出装置５２を備える。検出装置５２は、基板１６上に付されたマークＭを撮像するためのＣＣＤカメラ５４と、撮像されたマークＭを画像処理するための画像処理装置５５からなる。

溶液塗布装置６０のＣＣＤカメラ５２は、塗布予定領域Ｓの良否を識別するための基板１６上に付されたマークＭを撮像し、画像処理装置５５にてマークＭを識別し、識別された結果を良否情報として記憶部６２に記憶する。制御装置６１は、記憶部６２に記憶された良否情報に基づいて塗布予定領域Ｓに対する溶液の塗布を制御する。

図１０（Ｂ）は、塗布予定領域Ｓの良否の識別用のマークＭの他の実施態様で、基板１６の左上隅部に６つの塗布予定領域Ｓの良否の判定結果をまとめて付したものであり、６つのマークＭの配置は、６つの塗布予定領域Ｓの配置と同じ配置になっている。

本実施例によれば、実施例１の(a)〜(c)の作用効果に加えて、更に、以下の作用効果を奏する。

基板１６に付された塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６の良否を識別するためのマークＭと、マークＭを検出する検出装置５２を備え、検出装置５２による検出結果を良否情報として記憶部３３に記憶するので、記憶部３３に記憶された良否情報に基づいて、良と判定された塗布予定領域Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６に対して溶液の塗布を実行し、不良と判定された塗布予定領域Ｓ３には溶液の塗布を実行しないようにすることができる。

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、本実施例では、不良と判定された塗布予定領域Ｓに対して塗布ヘッドを停止させる時間が閾値を越えたときに、ダミー塗布を行なうようにしたが、閾値に関係なく無条件にダミー塗布を行なうようにしても良い。

また、本実施例では、カラーフィルタ素子に光を照射してカラーフィルタの透過像を撮像してカラーフィルタ素子の欠陥を検査する透過検査であったが、カラーフィルタ上に照射した光の反射光からブラックマトリクス上の突起欠陥を検査する反射検査であっても良い。

また、本実施例では、溶液塗布装置は、液晶用の配向膜を形成するための溶液を塗布する液晶用配向膜塗布装置であったが、溶液塗布装置としては、ガラス基板上にレジスト液を塗布する液晶用レジスト塗布装置や、液晶用のカラーフィルタ素子を形成するためのインク色剤を塗布する液晶カラーフィルタ用色剤塗布装置であっても良い。

図１は溶液塗布装置の側面を示す模式図である。図２は図１に示す溶液塗布装置の平面図である。図３は図１に示す溶液塗布装置の制御ブロック図である。図４はカラーフィルタ基板の検査装置の模式図である。図５は検査装置と溶液塗布装置の制御ブロック図である。図６は実施例１における基板上の塗布予定領域の塗布状態を示す模式図である。図７はダミー塗布の実施態様を示し、（Ａ）はダミー塗布の一実施態様の模式図、（Ｂ）はダミー塗布の他の実施態様の模式図である。図８は実施例２における検査装置の模式図である。図９は実施例２における溶液塗布装置の制御ブロック図である。図１０は実施例２におけるカラーフィルタ基板上の塗布予定領域の良否情報を示すマークの実施態様を示し、（Ａ）はマークの一実施態様の模式図、（Ｂ）はマークの他の実施態様の模式図である。図１１は背景技術におけるカラーフィルタ基板上の塗布予定領域における塗布状態を示す模式図である。

符号の説明

１０、６０溶液塗布装置
１６基板
３２、６１制御装置
３３、６２記憶部
３５、５０検査装置
５２検出装置
Ｍマーク
Ｐパターン
Ｓ塗布予定領域

Claims

溶液を吐出させる複数のノズルを備えたインクジェット方式の塗布ヘッドと基板とを相対移動させ、前記基板上の複数の塗布予定領域に溶液を順次塗布する溶液塗布装置において、
前記複数の塗布予定領域のうち良否情報が良の塗布予定領域に対しては前記塗布予定領域に対向する各ノズルから溶液を設定されたドット数で吐出させる前記溶液の塗布を実行させ、良否情報が不良の塗布予定領域に対しては前記各ノズルから前記設定されたドット数よりも少ないドット数で溶液を吐出させるダミー塗布を実行させるように前記塗布ヘッドを制御する制御装置を備えることを特徴とする溶液塗布装置。
前記制御装置は、前記不良の塗布予定領域における前記相対移動方向の下流側の端部領域に、ダミー塗布を実行させることを特徴とする請求項１に記載の溶液塗布装置。
前記基板上の塗布予定領域の良否を判定する検査装置を備え、該検査装置による判定結果を前記良否情報とすることを特徴とする請求項１または２に記載の溶液塗布装置。
前記基板は、前記塗布予定領域の良否を識別するためのマークが付されて成り、
前記マークを検出する検出装置を更に備え、この検出装置による検出結果を前記良否情報とすることを特徴とする請求項１または２に記載の溶液塗布装置。