JP2003344819A - カラー液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
カラー液晶表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JP2003344819A JP2003344819A JP2002156883A JP2002156883A JP2003344819A JP 2003344819 A JP2003344819 A JP 2003344819A JP 2002156883 A JP2002156883 A JP 2002156883A JP 2002156883 A JP2002156883 A JP 2002156883A JP 2003344819 A JP2003344819 A JP 2003344819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marking
- liquid crystal
- crystal display
- color filter
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラー液晶表示装置を製造するに当たり、カ
ラーフィルタ基板上に複数設けられた表示装置用パター
ンエリアの中から、不良パターンエリアを容易に認識で
きるようにする。 【解決手段】 ガラス基板上に少なくとも1種類以上の
カラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板におい
て、少なくとも任意の場所1ヶ所以上に任意の形状およ
び大きさでマーキングを形成して、カラー液晶表示装置
を製造する。
ラーフィルタ基板上に複数設けられた表示装置用パター
ンエリアの中から、不良パターンエリアを容易に認識で
きるようにする。 【解決手段】 ガラス基板上に少なくとも1種類以上の
カラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板におい
て、少なくとも任意の場所1ヶ所以上に任意の形状およ
び大きさでマーキングを形成して、カラー液晶表示装置
を製造する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、好適なカラー液晶
表示装置の製造方法に関する。特に、一つの大きい基板
に複数の表示素子がレイアウトされた場合の製造方法に
関する。
表示装置の製造方法に関する。特に、一つの大きい基板
に複数の表示素子がレイアウトされた場合の製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示素子には、非常に高価な
部材であるカラーフィルタが用いられている。カラー液
晶表示素子の概略の断面構成を図8に示す。図示するよ
うに、基板26上にカラーフィルタが形成されている。
カラーフィルタは、複数の着色部で形成されている。本
図では、カラーフィルタはR、G、Bの3色の着色部と
ブラックマトリックスで構成されているが、カラーフィ
ルタの仕様に応じて色々な構成をとりうる。カラーフィ
ルタの上には透明樹脂層6が設けられている。さらにそ
の上には液晶28に電圧を印加するための透明電極7が
形成されている。基板26はシール材27により一定の
間隙を持って対向基板36と接合されている。この一定
の間隙に液晶28が封入されている。対向基板36にも
透明電極が設けられている。
部材であるカラーフィルタが用いられている。カラー液
晶表示素子の概略の断面構成を図8に示す。図示するよ
うに、基板26上にカラーフィルタが形成されている。
カラーフィルタは、複数の着色部で形成されている。本
図では、カラーフィルタはR、G、Bの3色の着色部と
ブラックマトリックスで構成されているが、カラーフィ
ルタの仕様に応じて色々な構成をとりうる。カラーフィ
ルタの上には透明樹脂層6が設けられている。さらにそ
の上には液晶28に電圧を印加するための透明電極7が
形成されている。基板26はシール材27により一定の
間隙を持って対向基板36と接合されている。この一定
の間隙に液晶28が封入されている。対向基板36にも
透明電極が設けられている。
【0003】このような構成の表示素子は、単個ずつ個
別に形成されるとは限らない。特に中・小型のカラー液
晶表示素子を製造する場合、一つの基板に100個を超
える複数の表示素子用のパターン(カラーフィルタ、透
明電極)が一つの大きな基板にレイアウトされることに
なる。そして、大きな基板のままの状態で複数の表示素
子が一括して組み立てられ、その後、分離されて一つの
表示素子となる。すなわち、まず複数のカラーフィルタ
が配置されたカラーフィルタ基板を形成する。次に、各
カラーフィルタに対応するように透明樹脂層を形成す
る。この透明樹脂層上に透明導電膜を設け、パターニン
グして表示電極を形成する。このように、カラーフィル
タ基板には、複数の表示素子に対応するように、カラー
フィルタ、透明樹脂層、表示電極が積層され、レイアウ
トされている。一方、カラーフィルタ基板と対向する対
向基板にもカラーフィルタ基板の各表示素子の表示電極
と対応するように透明電極が設けられている。そして、
カラーフィルタ基板と対向基板をシール材によって一定
の間隔を持って接合する。その後、個々の表示素子に分
離して、この間隙に液晶を注入する。
別に形成されるとは限らない。特に中・小型のカラー液
晶表示素子を製造する場合、一つの基板に100個を超
える複数の表示素子用のパターン(カラーフィルタ、透
明電極)が一つの大きな基板にレイアウトされることに
なる。そして、大きな基板のままの状態で複数の表示素
子が一括して組み立てられ、その後、分離されて一つの
表示素子となる。すなわち、まず複数のカラーフィルタ
が配置されたカラーフィルタ基板を形成する。次に、各
カラーフィルタに対応するように透明樹脂層を形成す
る。この透明樹脂層上に透明導電膜を設け、パターニン
グして表示電極を形成する。このように、カラーフィル
タ基板には、複数の表示素子に対応するように、カラー
フィルタ、透明樹脂層、表示電極が積層され、レイアウ
トされている。一方、カラーフィルタ基板と対向する対
向基板にもカラーフィルタ基板の各表示素子の表示電極
と対応するように透明電極が設けられている。そして、
カラーフィルタ基板と対向基板をシール材によって一定
の間隔を持って接合する。その後、個々の表示素子に分
離して、この間隙に液晶を注入する。
【0004】このような各工程のうち、必要な工程で検
査工程が加えられる。例えば、複数のカラーフィルタを
基板上に形成したあとで、各カラーフィルタに不良があ
るか検査し、不良のカラーフィルタエリアを特定してお
く必要がある。なぜなら、カラーフィルタ基板の検査を
行って不良パターンを特定しない場合、何らかの欠陥を
有するパターンエリアが後工程へ流出してしまい、検査
工程等において選別が必要になり、生産性が低下するか
らである。さらに、不良パターンエリアを用いて製造さ
れたカラー液晶表示パネルに無用な回路部品等の組立て
実装が行われることにより損失コストが増大するからで
ある。そこで、個々のパターンエリアに識別番号を割り
当て、該パターンエリアが設けられているカラーフィル
タ基板のパターンエリア外にその識別番号を描き、不良
パターンエリアが発見された際に該不良パターンエリア
に対応する識別番号にマーキングを施すという手法が用
いられていた。
査工程が加えられる。例えば、複数のカラーフィルタを
基板上に形成したあとで、各カラーフィルタに不良があ
るか検査し、不良のカラーフィルタエリアを特定してお
く必要がある。なぜなら、カラーフィルタ基板の検査を
行って不良パターンを特定しない場合、何らかの欠陥を
有するパターンエリアが後工程へ流出してしまい、検査
工程等において選別が必要になり、生産性が低下するか
らである。さらに、不良パターンエリアを用いて製造さ
れたカラー液晶表示パネルに無用な回路部品等の組立て
実装が行われることにより損失コストが増大するからで
ある。そこで、個々のパターンエリアに識別番号を割り
当て、該パターンエリアが設けられているカラーフィル
タ基板のパターンエリア外にその識別番号を描き、不良
パターンエリアが発見された際に該不良パターンエリア
に対応する識別番号にマーキングを施すという手法が用
いられていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法では、一つのカラーフィルタ基板から複数のパタ
ーンを分離して製造する場合、分離したら表示素子が良
品か不良品か判断できなくなる。仮に、パターンエリア
内にも識別番号を記入しても、エリアが限られているた
め大きく記入できず、さらに、表面に後工程で各種薄膜
が設けられる場合もあり、極めて判別し難い。あるい
は、各カラーフィルタパターンに異物の存在等に起因す
る欠陥があった場合に、各パターンエリアに割り当てら
れた識別番号を記録して良・不良を管理する方法では、
以降の液晶表示装置の製造工程を通して継続的に対応さ
せなければならず、非常に困難であった。
た方法では、一つのカラーフィルタ基板から複数のパタ
ーンを分離して製造する場合、分離したら表示素子が良
品か不良品か判断できなくなる。仮に、パターンエリア
内にも識別番号を記入しても、エリアが限られているた
め大きく記入できず、さらに、表面に後工程で各種薄膜
が設けられる場合もあり、極めて判別し難い。あるい
は、各カラーフィルタパターンに異物の存在等に起因す
る欠陥があった場合に、各パターンエリアに割り当てら
れた識別番号を記録して良・不良を管理する方法では、
以降の液晶表示装置の製造工程を通して継続的に対応さ
せなければならず、非常に困難であった。
【0006】そこで、上述した問題点を技術的に解決す
る手法の出現が望まれていた。
る手法の出現が望まれていた。
【0007】
【課題を解決するための手段】カラーフィルタ基板の中
に設けられた複数個の表示装置用パターンエリアの、少
なくとも1ヶ所以上にマーキングを設ける製造方法を用
いる。このようにすると、カラーフィルタ基板の不良パ
ターンエリアが容易に認識できるようになり、後工程へ
の流出を防止できる。
に設けられた複数個の表示装置用パターンエリアの、少
なくとも1ヶ所以上にマーキングを設ける製造方法を用
いる。このようにすると、カラーフィルタ基板の不良パ
ターンエリアが容易に認識できるようになり、後工程へ
の流出を防止できる。
【0008】またマーキングは、インクジェット法、レ
ーザー装置を用いた方法あるいはスタンピングなどによ
って形成が可能である。
ーザー装置を用いた方法あるいはスタンピングなどによ
って形成が可能である。
【0009】このマーキングは、カラーフィルタ基板の
製造工程のうち着色層形成後、透明樹脂層形成後、透明
電極形成後、透明電極のパターニング後、あるいは、透
明電極のパターニング後に行うパターン検査と同時等、
のタイミングで行うことが可能である。
製造工程のうち着色層形成後、透明樹脂層形成後、透明
電極形成後、透明電極のパターニング後、あるいは、透
明電極のパターニング後に行うパターン検査と同時等、
のタイミングで行うことが可能である。
【0010】すなわち、本発明のカラー液晶表示装置の
製造方法は、基板上に複数のカラーフィルタパターンを
含む表示素子用パターンを形成する第一工程と、基板と
対向基板を対向させて接合することにより、複数のカラ
ー液晶表示素子を一対の基板により形成する第二工程
と、複数のカラー液晶表示素子を、個々のカラー液晶表
示素子に分離する第三工程と、を備え、第一工程におい
て、不良のカラーフィルタパターンを有する表示素子用
パターンエリアに、任意の形状および任意の大きさでマ
ーキングを形成する工程を設けた。
製造方法は、基板上に複数のカラーフィルタパターンを
含む表示素子用パターンを形成する第一工程と、基板と
対向基板を対向させて接合することにより、複数のカラ
ー液晶表示素子を一対の基板により形成する第二工程
と、複数のカラー液晶表示素子を、個々のカラー液晶表
示素子に分離する第三工程と、を備え、第一工程におい
て、不良のカラーフィルタパターンを有する表示素子用
パターンエリアに、任意の形状および任意の大きさでマ
ーキングを形成する工程を設けた。
【0011】さらに、何らかの欠陥を有する表示素子用
パターンのエリアにマーキングを設けることとした。こ
のマーキングを、インクジェット、レーザー、スタンピ
ングによって形成することとした。
パターンのエリアにマーキングを設けることとした。こ
のマーキングを、インクジェット、レーザー、スタンピ
ングによって形成することとした。
【0012】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の製造方法につい
て説明する。
て説明する。
【0013】本発明におけるカラー液晶表示装置の製造
方法は、上述のように表示装置用パターンエリアの少な
くとも1ヶ所にマーキングを設ける工程を備えている。
方法は、上述のように表示装置用パターンエリアの少な
くとも1ヶ所にマーキングを設ける工程を備えている。
【0014】このマーキングはインクジェット印刷によ
ってカラーフィルタ基板表面の任意の場所に設けること
ができる。この方法では記録ヘッドから吐出されたイン
ク液によってマーキングが設けられるため、カラーフィ
ルタ基板表面に触れることなく実施が可能である。した
がって、不良パターンエリアの周囲にある良品パターン
エリアに触れることによって新たな不良を発生させる心
配がない。
ってカラーフィルタ基板表面の任意の場所に設けること
ができる。この方法では記録ヘッドから吐出されたイン
ク液によってマーキングが設けられるため、カラーフィ
ルタ基板表面に触れることなく実施が可能である。した
がって、不良パターンエリアの周囲にある良品パターン
エリアに触れることによって新たな不良を発生させる心
配がない。
【0015】また、マーキングの形状や大きさにも制約
が無い。したがって、最も見易い大きさと形状を選択す
れば良い。
が無い。したがって、最も見易い大きさと形状を選択す
れば良い。
【0016】好ましくは、全ての表示装置用パターンエ
リアの特定位置にマーキングを設けるように決めておく
のが良い。このようにすると、不良パターンエリアの認
識が容易になる。
リアの特定位置にマーキングを設けるように決めておく
のが良い。このようにすると、不良パターンエリアの認
識が容易になる。
【0017】好ましくは、インクは速乾性のものを用い
るのが良い。あるいは紫外線照射により素早く固化させ
る方法やエアーを吹きかけて乾燥させる方法を用いるの
が良い。このようにすると、洗浄などの後工程に素早く
移行することができるとともに、インクが流れてカラー
フィルタ基板を汚染することもない。
るのが良い。あるいは紫外線照射により素早く固化させ
る方法やエアーを吹きかけて乾燥させる方法を用いるの
が良い。このようにすると、洗浄などの後工程に素早く
移行することができるとともに、インクが流れてカラー
フィルタ基板を汚染することもない。
【0018】カラーフィルタ基板のパターンエリアにマ
ーキングを設ける方法として、インクジェット印刷以外
にも種々の方法がある。それらについて以下に述べるこ
ととする。
ーキングを設ける方法として、インクジェット印刷以外
にも種々の方法がある。それらについて以下に述べるこ
ととする。
【0019】マーキングは、パターンエリアにレーザー
照射することによっても形成が可能である。この方法も
直接カラーフィルタ基板表面に触れることが無いので、
表面に触ることによって新たな不良を発生させる心配は
ない。また、インクジェット印刷と同様、マーキングを
設けるタイミングおよびマーキングの形状に制約が無
い。
照射することによっても形成が可能である。この方法も
直接カラーフィルタ基板表面に触れることが無いので、
表面に触ることによって新たな不良を発生させる心配は
ない。また、インクジェット印刷と同様、マーキングを
設けるタイミングおよびマーキングの形状に制約が無
い。
【0020】表示装置用パターンエリアの特定位置にマ
ーキングを設けるように決めておくことが好ましい。こ
のようにすると、不良面の認識がより一層容易になる。
さらに、マーキングを設ける際に発生するカラーフィル
タ基板構成材料の飛散物が隣接するパターンエリアに影
響しないような場所を選択することが好ましい。すなわ
ち、隣接するパターンエリアから離れている場所、例え
ばパターンエリアの中心部にマーキングを設けるのが良
い。
ーキングを設けるように決めておくことが好ましい。こ
のようにすると、不良面の認識がより一層容易になる。
さらに、マーキングを設ける際に発生するカラーフィル
タ基板構成材料の飛散物が隣接するパターンエリアに影
響しないような場所を選択することが好ましい。すなわ
ち、隣接するパターンエリアから離れている場所、例え
ばパターンエリアの中心部にマーキングを設けるのが良
い。
【0021】また、飛散物によってカラーフィルタ基板
表面が汚染されるのを防止するために、レーザー照射部
のごく近傍に排気装置を取り付けると良い。
表面が汚染されるのを防止するために、レーザー照射部
のごく近傍に排気装置を取り付けると良い。
【0022】マーキングの深さはガラス基板を傷つけな
い程度とするのが好ましい。すなわち、深くともカラー
フィルタ基板のブラックマトリックス部あるいは着色層
部、その下に金属膜が存在する場合には該金属膜部分ま
でを削り取るだけの出力に調整しておくのが良い。この
ようにするとガラス基板にひびが入ったり、ガラス基板
が割れたりするのを防止できる。
い程度とするのが好ましい。すなわち、深くともカラー
フィルタ基板のブラックマトリックス部あるいは着色層
部、その下に金属膜が存在する場合には該金属膜部分ま
でを削り取るだけの出力に調整しておくのが良い。この
ようにするとガラス基板にひびが入ったり、ガラス基板
が割れたりするのを防止できる。
【0023】マーキングは、パターンエリアにスタンプ
することによっても形成が可能である。この場合も好ま
しくは、速乾性のインクを用いるのが良い。この方法に
おいてもマーキングを設けるタイミングやマーキングの
形状に制約が無い。
することによっても形成が可能である。この場合も好ま
しくは、速乾性のインクを用いるのが良い。この方法に
おいてもマーキングを設けるタイミングやマーキングの
形状に制約が無い。
【0024】上記の方法と同様に全ての表示装置用パタ
ーンエリアの特定位置にマーキングを設けるように決め
ておくことが好ましい。このようにすると、より一層不
良面の認識が容易になる。
ーンエリアの特定位置にマーキングを設けるように決め
ておくことが好ましい。このようにすると、より一層不
良面の認識が容易になる。
【0025】なお、マーキングは後で確認することが可
能であれば如何なる形態でも良いので、上記方法に限定
されるものではない。さらに、マーキングを設けるタイ
ミングとして上にいくつか述べたが、マーキングは、対
象となるパターンエリアが決定されれば如何なる工程に
於いても形成が可能であるため、上記のタイミングに限
定されるものではない。
能であれば如何なる形態でも良いので、上記方法に限定
されるものではない。さらに、マーキングを設けるタイ
ミングとして上にいくつか述べたが、マーキングは、対
象となるパターンエリアが決定されれば如何なる工程に
於いても形成が可能であるため、上記のタイミングに限
定されるものではない。
【0026】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。なお、各図は本発明が理解できる程度に、
各構成成分の形状、大きさおよび配置関係を概略的に示
してあるに過ぎず、そのため本発明を図示例に限定する
ものではない。
て説明する。なお、各図は本発明が理解できる程度に、
各構成成分の形状、大きさおよび配置関係を概略的に示
してあるに過ぎず、そのため本発明を図示例に限定する
ものではない。
【0027】以下に、本発明による実施例の各種マーキ
ング方法について説明する。
ング方法について説明する。
【0028】(実施例1)図3に、インクジェット印刷
による方法を実施するためのマーキング装置11の概要
を示す。本装置は、カラーフィルタ基板12に向かって
インクを吐出する記録ヘッド13と、この記録ヘッド1
3とカラーフィルタ基板12を相対移動させてマーキン
グを可能とする搬送機構とを主な構成としている。
による方法を実施するためのマーキング装置11の概要
を示す。本装置は、カラーフィルタ基板12に向かって
インクを吐出する記録ヘッド13と、この記録ヘッド1
3とカラーフィルタ基板12を相対移動させてマーキン
グを可能とする搬送機構とを主な構成としている。
【0029】図3を参照して本マーキング装置11の内
部構成を説明する。タイミングベルト14を介してキャ
リッジ15がパルスモータ16と接続されており、装置
内で往復運動できるようになっている。また、カラーフ
ィルタ基板12を搬送する駆動テーブル17はモータ1
8の回転駆動力を利用し、キャリッジ15移動方向と直
角方向に移動が可能になっている。搬送機構については
記録ヘッド13を固定しておき、駆動テーブル17を平
面上の任意の位置に移動できるようにしても良い。
部構成を説明する。タイミングベルト14を介してキャ
リッジ15がパルスモータ16と接続されており、装置
内で往復運動できるようになっている。また、カラーフ
ィルタ基板12を搬送する駆動テーブル17はモータ1
8の回転駆動力を利用し、キャリッジ15移動方向と直
角方向に移動が可能になっている。搬送機構については
記録ヘッド13を固定しておき、駆動テーブル17を平
面上の任意の位置に移動できるようにしても良い。
【0030】キャリッジ15のカラーフィルタ基板12
と対向する面には記録ヘッド13が取り付けられてお
り、ここからインクを吐出することによりカラーフィル
タ基板12にマーキングを設けていく。
と対向する面には記録ヘッド13が取り付けられてお
り、ここからインクを吐出することによりカラーフィル
タ基板12にマーキングを設けていく。
【0031】なお、用いるインクは例えば、水、アルコ
ール、トルエン、メチルエチルケトン等の溶媒に、紫外
線硬化樹脂、染料や顔料、エチレングリコール等の界面
活性剤等を溶解あるいは分散させることにより調製され
る。
ール、トルエン、メチルエチルケトン等の溶媒に、紫外
線硬化樹脂、染料や顔料、エチレングリコール等の界面
活性剤等を溶解あるいは分散させることにより調製され
る。
【0032】記録ヘッド13の概要を図4に示す。記録
ヘッド13には複数のノズル19が設けられており、各
ノズル19の開口は全て圧力発生室20に繋がってい
る。この圧力発生室20に圧力を発生させ、この圧力発
生室20の一壁面となっている弾性変形可能な振動板2
1を変形させることにより圧力発生室20を収縮させ
て、ノズル19の開口からインクを吐出させる。振動板
21を変形させるためにピエゾ素子等の圧電振動子PZ
Tが備えられている。
ヘッド13には複数のノズル19が設けられており、各
ノズル19の開口は全て圧力発生室20に繋がってい
る。この圧力発生室20に圧力を発生させ、この圧力発
生室20の一壁面となっている弾性変形可能な振動板2
1を変形させることにより圧力発生室20を収縮させ
て、ノズル19の開口からインクを吐出させる。振動板
21を変形させるためにピエゾ素子等の圧電振動子PZ
Tが備えられている。
【0033】圧電振動子PZTが収縮して振動板21が
上方に変形し圧力発生室20が膨張すると、インクタン
ク22から圧力発生室20へインクが流れ込む。その
後、圧電振動子PZTが伸張して振動板21が元に戻り
圧力発生室20中のインクが圧縮されると、ノズル19
の開口からインクが吐出する。この時、どのノズル19
を使用するかによってマーキングの形状を変化させるこ
とが可能である。
上方に変形し圧力発生室20が膨張すると、インクタン
ク22から圧力発生室20へインクが流れ込む。その
後、圧電振動子PZTが伸張して振動板21が元に戻り
圧力発生室20中のインクが圧縮されると、ノズル19
の開口からインクが吐出する。この時、どのノズル19
を使用するかによってマーキングの形状を変化させるこ
とが可能である。
【0034】図5を参照して、本マーキング装置11の
制御系および駆動系について説明する。まず制御系51
にカラーフィルタ基板12上のマーキングを行いたい場
所の位置座標を入力する。制御系51はこの入力信号を
受けて、駆動電圧発生回路52および記録ヘッド選択回
路53から成る記録ヘッド駆動回路54とともに、駆動
テーブル制御回路55やキャリッジ駆動回路56等も制
御し、マーキング作業を実施する。
制御系および駆動系について説明する。まず制御系51
にカラーフィルタ基板12上のマーキングを行いたい場
所の位置座標を入力する。制御系51はこの入力信号を
受けて、駆動電圧発生回路52および記録ヘッド選択回
路53から成る記録ヘッド駆動回路54とともに、駆動
テーブル制御回路55やキャリッジ駆動回路56等も制
御し、マーキング作業を実施する。
【0035】駆動電圧発生回路52はノズル19の開口
からインクを吐出させるのに必要な電圧を発生させるよ
うに構成されている。記録ヘッド選択回路53は、各ノ
ズル19に構成されたトランジスタTを制御し、複数の
圧電振動子PZTのうちマーキング形状に対応する圧電
振動子に駆動電圧発生回路52の駆動電圧を選択的に印
加するようになっている。駆動テーブル制御回路55は
モータ等を制御して駆動テーブルを移送する。また、キ
ャリッジ駆動回路56はキャリッジを駆動するパルスモ
ータ等の駆動手段58を制御する。
からインクを吐出させるのに必要な電圧を発生させるよ
うに構成されている。記録ヘッド選択回路53は、各ノ
ズル19に構成されたトランジスタTを制御し、複数の
圧電振動子PZTのうちマーキング形状に対応する圧電
振動子に駆動電圧発生回路52の駆動電圧を選択的に印
加するようになっている。駆動テーブル制御回路55は
モータ等を制御して駆動テーブルを移送する。また、キ
ャリッジ駆動回路56はキャリッジを駆動するパルスモ
ータ等の駆動手段58を制御する。
【0036】(実施例2)レーザーマーキングによる方
法を実施するためのマーキング装置の概要を図6に示
す。このマーキング装置23の主な構成は、カラーフィ
ルタ基板12に向かってレーザーを照射するレーザーヘ
ッド24と、このレーザーヘッド24とカラーフィルタ
基板12を相対移動させてマーキングを可能とする搬送
機構から成る。駆動系統については前述のインクジェッ
ト印刷の装置と同様の構造で良い。以下ではレーザーヘ
ッド24を固定して、駆動テーブル17を移動する方法
を説明する。使用できるレーザーの種類は、ブラックマ
トリックス、着色層、透明樹脂あるいは金属膜が除去で
きるものであり、CO2 レーザー、YAGレーザー、X
eレーザー、希ガスレーザーやエキシマーレーザー等が
適している。なお、マーキングの形状は円形をはじめ楕
円形、三角形や四角形などの各種多角形、文字や数字な
ど任意の形状とすることができ、大きさについても制約
は無い。
法を実施するためのマーキング装置の概要を図6に示
す。このマーキング装置23の主な構成は、カラーフィ
ルタ基板12に向かってレーザーを照射するレーザーヘ
ッド24と、このレーザーヘッド24とカラーフィルタ
基板12を相対移動させてマーキングを可能とする搬送
機構から成る。駆動系統については前述のインクジェッ
ト印刷の装置と同様の構造で良い。以下ではレーザーヘ
ッド24を固定して、駆動テーブル17を移動する方法
を説明する。使用できるレーザーの種類は、ブラックマ
トリックス、着色層、透明樹脂あるいは金属膜が除去で
きるものであり、CO2 レーザー、YAGレーザー、X
eレーザー、希ガスレーザーやエキシマーレーザー等が
適している。なお、マーキングの形状は円形をはじめ楕
円形、三角形や四角形などの各種多角形、文字や数字な
ど任意の形状とすることができ、大きさについても制約
は無い。
【0037】本マーキング装置23の制御系および駆動
系について説明する。まず、制御系にマーキングを設け
たいカラーフィルタ基板12上の位置座標についての情
報を入力する。この情報を受けて駆動テーブル17が、
レーザー照射部にマーキングを設けたい部分がくるよう
にカラーフィルタ基板12を移動させ、レーザー照射に
よりマーキングを設ける。
系について説明する。まず、制御系にマーキングを設け
たいカラーフィルタ基板12上の位置座標についての情
報を入力する。この情報を受けて駆動テーブル17が、
レーザー照射部にマーキングを設けたい部分がくるよう
にカラーフィルタ基板12を移動させ、レーザー照射に
よりマーキングを設ける。
【0038】また、レーザー照射により発生するカラー
フィルタ基板構成材料の飛散物がカラーフィルタ基板1
2を汚染するのを防止するために、レーザー照射部のご
く近傍に排気装置25を取り付けるのが良い。レーザー
ヘッド24を移動させる駆動方法の場合には排気装置2
5をレーザーヘッド24と一体化することにより、常に
レーザー照射部のごく近傍に排気機能を配置できること
となるので、カラーフィルタ基板12の汚染を常に防止
できる。
フィルタ基板構成材料の飛散物がカラーフィルタ基板1
2を汚染するのを防止するために、レーザー照射部のご
く近傍に排気装置25を取り付けるのが良い。レーザー
ヘッド24を移動させる駆動方法の場合には排気装置2
5をレーザーヘッド24と一体化することにより、常に
レーザー照射部のごく近傍に排気機能を配置できること
となるので、カラーフィルタ基板12の汚染を常に防止
できる。
【0039】また、種々の工程でマーキングを設けたカ
ラー液晶表示装置の構成例を図1に示す。図1(A)は
着色層(4R、4G、4B)形成後、図1(B)は透明
樹脂層6形成後、図1(C)、図1(D)および図1
(E)は透明電極7形成後あるいは、その後のパターン
検査時に、マーキングを行った場合のカラー液晶表示装
置の断面構成を模式的に示している。図1(C)と図1
(D)のようにレーザーの出力を調整することによっ
て、マーキングの深さをコントロールすることができ
る。いずれの場合においても、カラー液晶表示装置用パ
ターンエリア10が形成されているガラス基板26を傷
つけない程度のレーザー出力に調整しておくことが望ま
しい。ガラス基板26を傷つけると後工程において破損
し、周囲の良品にまで悪影響を及ぼす危険がある。
ラー液晶表示装置の構成例を図1に示す。図1(A)は
着色層(4R、4G、4B)形成後、図1(B)は透明
樹脂層6形成後、図1(C)、図1(D)および図1
(E)は透明電極7形成後あるいは、その後のパターン
検査時に、マーキングを行った場合のカラー液晶表示装
置の断面構成を模式的に示している。図1(C)と図1
(D)のようにレーザーの出力を調整することによっ
て、マーキングの深さをコントロールすることができ
る。いずれの場合においても、カラー液晶表示装置用パ
ターンエリア10が形成されているガラス基板26を傷
つけない程度のレーザー出力に調整しておくことが望ま
しい。ガラス基板26を傷つけると後工程において破損
し、周囲の良品にまで悪影響を及ぼす危険がある。
【0040】複数個のパターンエリアが設けられたカラ
ーフィルタ基板12のいくつかのパターンエリアにマー
キングMがなされた状態を図1(G)に模式的に示す。
このようなカラーフィルタ基板を用いてカラー表示装置
を形成し、その後、分離して形成された個々のカラー表
示装置の外観を図1(F)に示す。図示するように、不
良のカラー表示装置にマーキングMが設けられている。
このように、カラーフィルタ基板12からカラー液晶表
示装置に至るまで、継続的な不良面の認識が可能であ
る。
ーフィルタ基板12のいくつかのパターンエリアにマー
キングMがなされた状態を図1(G)に模式的に示す。
このようなカラーフィルタ基板を用いてカラー表示装置
を形成し、その後、分離して形成された個々のカラー表
示装置の外観を図1(F)に示す。図示するように、不
良のカラー表示装置にマーキングMが設けられている。
このように、カラーフィルタ基板12からカラー液晶表
示装置に至るまで、継続的な不良面の認識が可能であ
る。
【0041】(実施例3)本実施例では、カラーフィル
タ基板にスタンピングによるマーキングを行うスタンプ
装置の構成を説明する。このスタンピング機構カラーフ
ィルタ基板を相対移動させてマーキングを可能とする搬
送機構を備えている。マーキングをスタンピングによっ
て設けること以外は上述のインクジェット印刷によるマ
ーキング方法と何ら変わらないので、装置の構成は上記
インクジェット印刷のものと同様で良い。マーキングの
形状は、スタンプ部を変更することで任意の形状および
大きさとすることができる。好ましくは、本方法におい
てもインクジェット法の場合と同様に、インクは速乾性
のものを用いるのが良い。あるいは紫外線照射により素
早く固化させる、またはエアーを吹きかけ乾燥させる等
の方法を用いるのが良い。このようにすると、洗浄など
の後工程に素早く移行することができるとともに、イン
クが流れることによってカラーフィルタ基板を汚染する
こともない。また、本方法は直接カラーフィルタ基板に
スタンプが触れるので、周囲の良品パターンエリアに悪
影響が及ばない様に、マーキングを設ける場所やマーキ
ングの大きさを調整しておくことが望ましい。
タ基板にスタンピングによるマーキングを行うスタンプ
装置の構成を説明する。このスタンピング機構カラーフ
ィルタ基板を相対移動させてマーキングを可能とする搬
送機構を備えている。マーキングをスタンピングによっ
て設けること以外は上述のインクジェット印刷によるマ
ーキング方法と何ら変わらないので、装置の構成は上記
インクジェット印刷のものと同様で良い。マーキングの
形状は、スタンプ部を変更することで任意の形状および
大きさとすることができる。好ましくは、本方法におい
てもインクジェット法の場合と同様に、インクは速乾性
のものを用いるのが良い。あるいは紫外線照射により素
早く固化させる、またはエアーを吹きかけ乾燥させる等
の方法を用いるのが良い。このようにすると、洗浄など
の後工程に素早く移行することができるとともに、イン
クが流れることによってカラーフィルタ基板を汚染する
こともない。また、本方法は直接カラーフィルタ基板に
スタンプが触れるので、周囲の良品パターンエリアに悪
影響が及ばない様に、マーキングを設ける場所やマーキ
ングの大きさを調整しておくことが望ましい。
【0042】上述したマーキング方法を用いてカラーフ
ィルタ基板を製造する方法に関して以下に説明する。カ
ラーフィルタ基板の製造方法の一例を図2に示す。ここ
では赤(R)、緑(G)および青(B)の3色を含むカ
ラーフィルタ基板の製造方法について述べる。図2
(A)に示すように、ガラス基板1上に、スパッタ法な
どにより、金属膜2を1000〜1500Å程度の厚さ
で形成する。続いて、フォトリソグラフ法によって、ブ
ラックマトリックス3を形成する。まずガラス基板1上
に後工程でブラックマトリックス3となる金属クローム
(Cr)を、スパッタ法によって膜厚が0.1〜0.1
5μm程度になるように形成する。なお、ブラックマト
リックス3の材料として、他にも酸化クローム(CrO
x)や樹脂などを用いることもできる。そして、露光・
現像工程を経て、図2(B)に示すように、島状のブラ
ックマトリックス3を形成する。
ィルタ基板を製造する方法に関して以下に説明する。カ
ラーフィルタ基板の製造方法の一例を図2に示す。ここ
では赤(R)、緑(G)および青(B)の3色を含むカ
ラーフィルタ基板の製造方法について述べる。図2
(A)に示すように、ガラス基板1上に、スパッタ法な
どにより、金属膜2を1000〜1500Å程度の厚さ
で形成する。続いて、フォトリソグラフ法によって、ブ
ラックマトリックス3を形成する。まずガラス基板1上
に後工程でブラックマトリックス3となる金属クローム
(Cr)を、スパッタ法によって膜厚が0.1〜0.1
5μm程度になるように形成する。なお、ブラックマト
リックス3の材料として、他にも酸化クローム(CrO
x)や樹脂などを用いることもできる。そして、露光・
現像工程を経て、図2(B)に示すように、島状のブラ
ックマトリックス3を形成する。
【0043】次に、図2(C)に示すように、このブラ
ックマトリックス3の隙間を埋めるように、感光性の赤
色着色材料4R、緑色着色材料4G、または、青色着色
材料4Bのうち任意の1色(ここでは赤色着色材料4
G)を、膜厚1〜2μm程度の範囲内で塗布する。次
に、図2(D)に示すように、好適なフォトマスク5を
使用して露光を行い、続いて現像工程を行う。これによ
り図2(E)に示すように着色層4Rを形成する。
ックマトリックス3の隙間を埋めるように、感光性の赤
色着色材料4R、緑色着色材料4G、または、青色着色
材料4Bのうち任意の1色(ここでは赤色着色材料4
G)を、膜厚1〜2μm程度の範囲内で塗布する。次
に、図2(D)に示すように、好適なフォトマスク5を
使用して露光を行い、続いて現像工程を行う。これによ
り図2(E)に示すように着色層4Rを形成する。
【0044】そして、さらに図2(C)〜(E)の工程
を他の2色の材料(ここでは緑色着色材料4Gおよび青
色着色材料4B)についても繰り返し行い、3色の着色
材料で着色層を形成する。これにより、図2(F)に示
すように、第一構造体8が得られる。
を他の2色の材料(ここでは緑色着色材料4Gおよび青
色着色材料4B)についても繰り返し行い、3色の着色
材料で着色層を形成する。これにより、図2(F)に示
すように、第一構造体8が得られる。
【0045】次に、上述したマーキング方法により不良
パターンエリアを特定するマーキングを形成する。続い
て、図2(G)に示すように、この着色層全面に平滑化
と耐性のための平坦化膜、いわゆるトップコート膜6
(オーバーコート膜と呼ばれる場合もある)を形成す
る。このトップコート膜6として、例えば感光性硬化樹
脂膜を2μm程の膜厚で形成し第二構造体9を得る。
パターンエリアを特定するマーキングを形成する。続い
て、図2(G)に示すように、この着色層全面に平滑化
と耐性のための平坦化膜、いわゆるトップコート膜6
(オーバーコート膜と呼ばれる場合もある)を形成す
る。このトップコート膜6として、例えば感光性硬化樹
脂膜を2μm程の膜厚で形成し第二構造体9を得る。
【0046】さらに、図2(H)に示すように、トップ
コート膜6上に透明電極7を形成する。この透明電極7
の材料として、酸化スズが不純物として混合された酸化
インジウム膜(Indium Tin Oxide膜:ITO膜)を0.
1〜0.15μm程度の膜厚でスパッタ法などにより形
成しカラー液晶表示装置用パターンエリア10を得る。
コート膜6上に透明電極7を形成する。この透明電極7
の材料として、酸化スズが不純物として混合された酸化
インジウム膜(Indium Tin Oxide膜:ITO膜)を0.
1〜0.15μm程度の膜厚でスパッタ法などにより形
成しカラー液晶表示装置用パターンエリア10を得る。
【0047】ここでは、図2(F)に示した第一構造体
8にマーキングを行うこととして説明したが、図2
(G)に示したトップコート層が形成された第二構造体
9や、図2(H)に示したカラー液晶表示装置用パター
ンエリア10に対してマーキングを行っても良い。
8にマーキングを行うこととして説明したが、図2
(G)に示したトップコート層が形成された第二構造体
9や、図2(H)に示したカラー液晶表示装置用パター
ンエリア10に対してマーキングを行っても良い。
【0048】このようにして形成されたカラーフィルタ
基板を用いてカラー液晶表示装置を製造する方法の概要
を示すフローチャートを図7に示す。まず、図2(H)
で設けた透明電極7すなわちITO膜をパターニングす
る工程がある。図2で説明したカラーフィルタ基板の製
造工程内で前述のマーキングが行われていない場合に
は、このパターニング工程後に行われる透明電極のパタ
ーン検査と同時にカラーフィルタの検査を行ってマーキ
ングを設ける。このようにマーキングすると、検査と同
時に行われるので生産性が低下することも無い。
基板を用いてカラー液晶表示装置を製造する方法の概要
を示すフローチャートを図7に示す。まず、図2(H)
で設けた透明電極7すなわちITO膜をパターニングす
る工程がある。図2で説明したカラーフィルタ基板の製
造工程内で前述のマーキングが行われていない場合に
は、このパターニング工程後に行われる透明電極のパタ
ーン検査と同時にカラーフィルタの検査を行ってマーキ
ングを設ける。このようにマーキングすると、検査と同
時に行われるので生産性が低下することも無い。
【0049】パターン検査後、配向膜の形成、シール剤
印刷、組立て・圧着および一次スクライブ・分離を行う
ことにより、重ね合わされた基板を短冊状にする。その
後、液晶注入、二次スクライブ・分離(個々のカラー液
晶表示装置用パターンを分離する)、検査を行い、不良
品の除去を行った後、回路部品等を取り付ける回路部品
実装工程を経てカラー液晶表示装置が製造される。
印刷、組立て・圧着および一次スクライブ・分離を行う
ことにより、重ね合わされた基板を短冊状にする。その
後、液晶注入、二次スクライブ・分離(個々のカラー液
晶表示装置用パターンを分離する)、検査を行い、不良
品の除去を行った後、回路部品等を取り付ける回路部品
実装工程を経てカラー液晶表示装置が製造される。
【0050】検査工程では以下のような検査が行われ
る。
る。
【0051】(1)外観検査を行う。
【0052】(2)導電ゴム等を用いて透明電極の全ラ
インに電圧を印加し、表示エリアを全面点灯させた上
で、コントラスト等の表示特性を検査する。
インに電圧を印加し、表示エリアを全面点灯させた上
で、コントラスト等の表示特性を検査する。
【0053】(3)偏光板を貼り、より製品に近い形で
の検査を行う。
の検査を行う。
【0054】従来は上述の各種検査を通して不良パター
ンエリアを選別・除去していたが、本発明のマーキング
を設けたカラーフィルタ基板を用いることにより、
(1)の外観検査の時点で全ての不良パターンエリアを
除去可能である。
ンエリアを選別・除去していたが、本発明のマーキング
を設けたカラーフィルタ基板を用いることにより、
(1)の外観検査の時点で全ての不良パターンエリアを
除去可能である。
【0055】さらに早い段階、すなわち検査が行われる
前の二次スクライブ・分離が終了した時点においても不
良品の除去が可能である。
前の二次スクライブ・分離が終了した時点においても不
良品の除去が可能である。
【0056】以上、マーキングを設けるタイミングとし
て種々の工程を挙げたが、マーキングを設けたいカラー
液晶表示装置用パターンエリア10が決定されれば、ど
の工程においても実施できるため、上述したタイミング
に限定されない。
て種々の工程を挙げたが、マーキングを設けたいカラー
液晶表示装置用パターンエリア10が決定されれば、ど
の工程においても実施できるため、上述したタイミング
に限定されない。
【0057】
【発明の効果】以上述べてきたように、不良を有するカ
ラー液晶表示装置用パターンエリア10にマーキングを
設けてカラー液晶表示装置の製造を行うことによって、
容易に不良パターンエリアを識別することが可能になっ
た。
ラー液晶表示装置用パターンエリア10にマーキングを
設けてカラー液晶表示装置の製造を行うことによって、
容易に不良パターンエリアを識別することが可能になっ
た。
【0058】これにより、不良パターンエリアを用いた
カラー液晶表示パネルが偏光板貼りや回路部品実装等の
後工程へ流出するのを防止できるようになり、それに伴
って生産性の向上および損失コストの低減を実現でき
た。
カラー液晶表示パネルが偏光板貼りや回路部品実装等の
後工程へ流出するのを防止できるようになり、それに伴
って生産性の向上および損失コストの低減を実現でき
た。
【図1】マーキングされたカラー液晶表示素子の例を説
明する模式図である。
明する模式図である。
【図2】カラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す模
式図である。
式図である。
【図3】インクジェット印刷マーキング装置の概要を表
わす外観図である。
わす外観図である。
【図4】記録ヘッド部の内部構造を示す模式図である。
【図5】インクジェット印刷マーキング装置の概略構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図6】レーザーマーキング装置の概要を表わす外観図
である。
である。
【図7】液晶表示装置の製造方法の概要を示すフロー図
である。
である。
【図8】従来のカラー液晶表示装置の概略構成を示す断
面図である。
面図である。
1 ガラス基板
2 金属膜
3 ブラックマトリックス
4R、4G、4B 感光性着色材料
5 フォトマスク
6 トップコート膜
7 透明電極
8 第一構造体
9 第二構造体
10 カラー液晶表示装置用パターンエリア
11 インクジェット印刷機
12 カラーフィルタ基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 2H048 BA02 BA11 BA45 BB02 BB42
2H088 FA14 FA18 HA12 HA14 MA20
2H091 FA02Y FA34Y FC01 FC30
LA12
Claims (6)
- 【請求項1】 基板上に複数のカラーフィルタパターン
を含む表示素子用パターンを形成する第一工程と、 前記基板と対向基板を対向させて接合することにより、
複数のカラー液晶表示素子を一対の基板により形成する
第二工程と、 前記複数のカラー液晶表示素子を、個々のカラー液晶表
示素子に分離する第三工程と、を備え、 前記第一工程において、不良のカラーフィルタパターン
を有する表示素子用パターンエリアに、任意の形状およ
び任意の大きさでマーキングを形成する工程を設けたこ
とを特徴とするカラー液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項2】 前記マーキングが、何らかの欠陥を有す
る前記表示素子用パターンのエリアに設けられることを
特徴とする請求項1に記載のカラー液晶表示装置の製造
方法。 - 【請求項3】 前記マーキングが、インクジェット法に
より形成されることを特徴とする請求項1または2に記
載のカラー液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項4】 前記マーキングが、レーザーを用いて形
成されることを特徴とする請求項1または2に記載のカ
ラー液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項5】 前記マーキングが、スタンピングによっ
て形成されることを特徴とする請求項1または2に記載
のカラー液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項6】 前記第一工程が、基板上にカラーフィル
タパターンを形成する工程と、前記カラーフィルタパタ
ーン上に透明樹脂層を形成する工程と、前記透明樹脂層
上に透明電極をパターニング形成する工程と、透明電極
パターンのパターニング検査をする工程と、を備え、 前記透明電極のパターンニング検査と同時に、前記マー
キングが形成されることを特徴とする請求項1〜5のい
ずれか一項に記載のカラー液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002156883A JP2003344819A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | カラー液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002156883A JP2003344819A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | カラー液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003344819A true JP2003344819A (ja) | 2003-12-03 |
Family
ID=29772956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002156883A Pending JP2003344819A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | カラー液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003344819A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008062121A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Shibaura Mechatronics Corp | 溶液塗布装置 |
-
2002
- 2002-05-30 JP JP2002156883A patent/JP2003344819A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008062121A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Shibaura Mechatronics Corp | 溶液塗布装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100221521B1 (ko) | 칼라 필터와, 이 칼라 필터를 교정하는 방법 및 장치와, 이 칼라 필터를 사용한 액정 장치 및 이 액정 장치를 사용한 정보 처리 장치 | |
US5847720A (en) | Apparatuses and processes for the production and repair of color filters | |
EP0761440B1 (en) | Ink-jet printing method and apparatus, and method and apparatus for manufacturing color filter | |
TWI247933B (en) | Liquid crystal device and manufacturing method thereof, and electronic device | |
JP3159919B2 (ja) | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び着色むらの低減方法 | |
US20060119768A1 (en) | Color filter substrate, method for manufacturing color filter substrate, color liquid crystal display device, and method for manufacturing color liquid crystal display device | |
EP1674896B1 (en) | Methods of printing filter material for the production of colour filters of display devices | |
KR100553495B1 (ko) | 워크 처리 장치의 처리 정밀도 검사 장치, 액체 방울 토출장치의 묘화 정밀도 검사 장치, 액체 방울 토출 장치 및워크, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자 기기 | |
JP2007219345A (ja) | 液晶表示装置、電子機器 | |
EP0791841A2 (en) | Color filter manufacturing method and apparatus, color filter, display device, apparatus having display device, and print method | |
JP2008176009A (ja) | パターン形成方法 | |
JP2003344819A (ja) | カラー液晶表示装置の製造方法 | |
JPH08271724A (ja) | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置 | |
JPH08292313A (ja) | カラーフィルタの製造方法、該方法により得られたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを具備した液晶表示装置 | |
JP4023092B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JPH1164626A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 | |
JPH0915412A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP3441805B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ製造装置およびカラーフィルタを製造する際に用いるヘッドユニット | |
JPH0943424A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置 | |
JPH08292311A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置 | |
JP2002071929A (ja) | カラーフィルター基板の製造方法 | |
JPH10253814A (ja) | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 | |
JPH1114820A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 | |
JP2008209704A (ja) | アライメント装置 | |
JPH0973013A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040304 |