JP4974049B2 - 露光方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図10に基づいて説明するが、本発明はこれに限定されない。
次に、本発明の第2の実施形態を、図11〜図14に基づいて説明する。上記第1の実施形態では、2つの異なる露光装置で二重露光を行ったが、本第2の実施形態では、1台の露光装置で上記レチクル9A及びレチクル9Bを用いた二重露光を行う。
次に、上述した露光装置100及びリソグラフィシステム110並びにそれらの露光方法をリソグラフィ工程で使用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
Claims (19)
- 同一の感光物体に対し複数回の露光を行う露光方法において、
露光光を前記感光物体上に投射する投影光学系と前記感光物体との間の空間が、前記複数回の露光のうちの少なくとも1回の露光では所定の液体で満たされ、他の回の露光では前記所定の液体とは種類が異なる別の液体で満たされ、前記空間における前記露光光の実質的な波長が、前記少なくとも1回の露光と、前記他の回の露光とで異なり
前記複数回の露光ではそれぞれ前記感光物体の複数の領域が露光され、前記少なくとも1回の露光と前記他の回の露光との一方によって前記複数の領域を露光した後、前記少なくとも1回の露光と前記他の回の露光との他方の露光によって前記複数の領域を露光し、
前記複数回の露光のうち前記少なくとも1回の露光と前記他の回の露光とは同一の露光装置を用いて行われ、前記少なくとも1回の露光と前記他の回の露光とで、前記感光物体が、1つの照明領域で露光される露光方法。 - 請求項1に記載の露光方法において、
前記所定の液体は、前記別の液体よりも屈折率が大きいことを特徴とする露光方法。 - 請求項1又は2に記載の露光方法において、
前記別の液体は、前記所定の液体よりも、前記感光物体の感光剤に含まれる特定物質の溶解度が低いことを特徴とする露光方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記少なくとも1回の露光における、前記投影光学系に入射される露光光の波長が、前記他の回の露光における露光光の波長とは異なることを特徴とする露光方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記少なくとも1回の露光では、位相シフト法を用いることを特徴とする露光方法。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数回の露光の間中、前記感光物体は前記1つの照明領域で露光されることを特徴とする露光方法。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光方法を実行して、感光物体を複数回露光するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 同一の感光物体に対し複数回の露光を行う露光方法であって、
光学部材と前記感光物体との間の空間が所定の液体で満たされ露光光の実質的な波長が第1の波長となる第1の露光条件下において、前記第1の波長の前記露光光により前記感光物体を露光する工程と;
前記光学部材と前記感光物体との間の空間が前記所定の液体とは別の液体で満たされ前記露光光の実質的な波長が前記第1の波長とは異なる第2の波長となる第2の露光条件下において、前記第2の波長の前記露光光により前記感光物体を露光する工程と;を含み、
前記複数回の露光ではそれぞれ前記感光物体の複数の領域が露光され、前記第1の露光条件下での露光と前記第2の露光条件下での露光との一方によって前記複数の領域を露光した後、前記第1の露光条件下での露光と前記第2の露光条件下での露光との他方の露光によって前記複数の領域を露光し、
前記第1の露光条件下での露光及び前記第2の露光条件下での露光では、前記感光物体は、同一の露光装置において1つの照明領域で露光される露光方法。 - 請求項8に記載の露光方法において、
前記所定の液体と前記別の液体とは、屈折率が異なることを特徴とする露光方法。 - 請求項9に記載の露光方法において、
前記所定の液体は、前記別の液体より屈折率が大きいことを特徴とする露光方法。 - 請求項8〜10のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記別の液体と前記所定の液体とは、前記感光物体の感光剤に含まれる特定物質の溶解度が異なることを特徴とする露光方法。 - 請求項11に記載の露光方法において、
前記別の液体は、前記所定の液体に比べて、前記感光物体の感光剤に含まれる特定物質の溶解度が小さいことを特徴とする露光方法。 - 請求項8〜12のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1の露光条件下における露光と、前記第2の露光条件下における露光とでは、前記光学部材に入射される露光光の波長が異なることを特徴とする露光方法。 - 請求項8〜13のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1の露光条件下における露光では、位相シフト法を用いることを特徴とする露光方法。 - 請求項8〜14のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数回の露光の間中、前記感光物体は前記1つの照明領域で露光されることを特徴とする露光方法。 - 請求項8〜15のいずれか一項に記載の露光方法を実行して、感光物体を複数回露光するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 同一の感光物体に対し複数回の露光を行う露光装置であって、
前記感光物体を保持するステージと;
露光光を前記感光物体上に投射する投影光学系と;
前記投影光学系と前記ステージとの間の第1空間のうち、少なくとも、前記投影光学系と前記ステージ上の前記感光物体との間の第2空間が、複数種類の液体のうちのいずれか一つの液体で満たされるように、該液体を供給する液体供給機構を有し、前記第2空間における前記露光光の実質的な波長を調整する調整装置と;
前記感光物体を複数回露光する際に、その複数回の露光のうちの少なくとも1回の露光では、前記第2空間における前記露光光の実質的な波長が他の回の露光におけるその波長と異なるように、前記調整装置を制御する制御装置と;を備え、
前記制御装置は、前記少なくとも1回の露光では、前記第2空間に、前記液体供給機構により前記複数種類の液体のうちの所定の液体が供給され、前記他の回の露光では、前記第2空間に、前記液体供給機構により前記所定の液体とは異なる液体が供給されるように、前記調整装置を制御し、前記少なくとも1回の露光と前記他の回の露光とで、前記感光物体が、1つの照明領域で露光される露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置において、
前記複数回の露光の間中、前記感光物体は前記1つの照明領域で露光されることを特徴とする露光装置。 - 請求項17又は18に記載の露光装置を用いて、感光物体上にデバイスパターンを転写するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
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