JP4965455B2 - 電極構造体、コンデンサおよび電極構造体の製造方法 - Google Patents
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この発明の一つの実施の形態として、バルブ金属を含む誘電体層が形成される基材としてのアルミニウム材は、特に限定されず、純アルミニウムまたはアルミニウム合金の箔を用いることができる。このようなアルミニウム材は、アルミニウム純度が「JIS H 2111」に記載された方法に準じて測定された値で98質量%以上のものが好ましい。本発明で用いられるアルミニウム材は、その組成として、鉛(Pb)、珪素(Si)、鉄(Fe)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、亜鉛(Zn)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、ガリウム(Ga)、ニッケル(Ni)およびホウ素(B)の少なくとも1種の合金元素を必要範囲内において添加したアルミニウム合金、または、上記の不可避的不純物元素の含有量を限定したアルミニウムも含む。アルミニウム材の厚みは、特に限定されないが、一般的には5μm以上200μm以下の範囲内とするのが好ましい。
バルブ金属としては特に限定されず、マグネシウム、トリウム、カドミウム、タングステン、錫、鉄、銀、シリコン、タンタル、チタン、ハフニウム、アルミニウム、ジルコニウムおよびニオブ等が挙げられるが、特に、チタン、タンタル、ハフニウム、ジルコニウムまたはニオブが好適に使用される。
本発明の電極構造体は、基材となるアルミニウム材と誘電体層との間に形成された、アルミニウムと炭素を含む介在層をさらに備える。
本発明の電極構造体の製造方法は、バルブ金属を含む誘電体前駆物質をアルミニウム材の表面上に形成する工程と、その後、炭化水素含有物質を含む空間にアルミニウム材を配置する工程と、さらに、炭化水素含有物質を含む空間にアルミニウム材を配置した状態で加熱する工程とを備える。
厚みが30μmのアルミニウム硬質箔(JIS A1070−H18)をチタンアルコキシド溶液に浸漬し、両面に厚みが0.15μmの誘電体前駆物質を形成した。
厚みが50μmのアルミニウム硬質箔(JIS A1030−H18)を、酸化チタン分散水溶液に浸漬し、両面に表2に示す厚みの誘電体前駆物質を形成した。
厚みが80μmのアルミニウム硬質箔を、チタン、タンタル、ハフニウム、ジルコニウムまたはニオブを含むアルコキシド溶液またはゾル溶液に浸漬し、両面に厚みが0.4μmの誘電体前駆物質を形成した。
実施例9〜11で得られた電極構造体をそれぞれ5Vおよび10Vで陽極酸化し、新たな電極構造体(実施例14〜16と実施例17〜19)を得た。得られた電極構造体の表面をEPMAで分析し、誘電体層のクラック部にアルミニウム酸化物を確認した。
厚みが80μmのアルミニウム硬質箔を、以下のようにして作製されたシリカゾル溶液に浸漬し、両面に厚みが0.4μmの誘電体前駆物質を形成した。
厚みが80μmのアルミニウム硬質箔を交流エッチングして電極構造体(比較例5)を得た。また、実施例14〜19と同様に5Vおよび10Vで陽極酸化し、新たな電極構造体(比較例6と比較例7)を得た。
交流エッチング方法は、次の条件の一次電解エッチング、化学エッチングおよび二次電解エッチングを順に行った。
電解液組成:12wt%塩酸+1wt%硫酸+100g塩化アルミニウム/リットル
温度:50℃
電流波形:正弦波交流
周波数:60Hz
電流密度:200mA/cm2
時間:60秒
<化学エッチング>
電解液組成:20wt%塩酸+3wt%硫酸+100g塩化アルミニウム/リットル
温度:60℃
時間:120秒
<二次電解エッチング>
電解液組成:12wt%塩酸+1wt%硫酸+100g塩化アルミニウム/リットル
温度:30℃
電流波形:正弦波交流
周波数:60Hz
電流密度:160mA/cm2
時間:300秒
実施例1〜22および比較例1〜6で得られた電極構造体においては静電容量、実施例1〜13および比較例1〜5で得られた電極構造体においてはアルミニウムと炭素を含む介在層形成量、また、実施例14〜19および比較例6〜7で得られた電極構造体においては漏れ電流、さらに、実施例20〜22および比較例6〜7で得られた電極構造体においては耐電圧を評価した。評価条件は次に示すとおりである。評価結果を表1〜5に示す。
各試料の静電容量は、アジピン酸アンモニウム水溶液中で測定周波数を120Hzとして測定した。
介在層の形成量をアルミニウム炭化物の定量分析によって評価した。電極構造体の試料を20%水酸化ナトリウム水溶液に全量溶解させることによって発生したガスを捕集し、フレームイオン化検出器付高感度ガスクロマトグラフを用いて捕集ガスを定量分析して、アルミニウム炭化物(Al4C3)含有量に換算した。溶解させたアルミニウム質量に対するアルミニウム炭化物含有量の質量比を、介在層の形成量の目安として評価した。これにより、電極構造体においてアルミニウムと炭素を含む介在層が形成されているか否かを確認した。
15重量%アジピン酸アンモニウム水溶液中で1mA/cm2の定電流を5分間流した後の電圧を耐電圧として評価した。なお、この電圧の測定においては、電極構造体の対極にアルミニウム箔を使用した。
Claims (8)
- アルミニウム材と、
前記アルミニウム材の表面上に形成されたバルブ金属を含む誘電体層と、
前記アルミニウム材と前記誘電体層との間に形成された、アルミニウムと炭素を含む介在層とを備え、
前記バルブ金属は、チタン、タンタル、ハフニウム、ジルコニウムおよびニオブからなる群より選ばれたいずれか一種以上である、電極構造体。 - 前記誘電体層は、ケイ素酸化物を含む、請求項1に記載の電極構造体。
- 前記介在層は、結晶化したアルミニウムの炭化物を含む、請求項1に記載の電極構造体。
- 前記介在層は、アルミニウム酸化物を含む、請求項1に記載の電極構造体。
- バルブ金属を含む誘電体前駆物質をアルミニウム材の表面上に形成する工程と、
炭化水素含有物質を含む空間に前記誘電体前駆物質が形成された前記アルミニウム材を配置する工程と、
炭化水素含有物質を含む空間に前記誘電体前駆物質が形成された前記アルミニウム材を配置した状態で加熱する工程とを備えた、電極構造体の製造方法。 - 前記炭化水素含有物質を含む空間に前記誘電体前駆物質が形成された前記アルミニウム材を配置した状態で加熱する工程は、450℃以上660℃未満の温度範囲で行われる、請求項5に記載の電極構造体の製造方法。
- 前記炭化水素含有物質を含む空間に前記誘電体前駆物質が形成された前記アルミニウム材を配置した状態で加熱する工程の後、前記アルミニウム材を陽極酸化する工程をさらに備える、請求項5に記載の電極構造体の製造方法。
- 請求項1に記載の電極構造体を備えた、コンデンサ。
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