JP4963740B2 - 結露量の制御可能な環境試験装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る環境試験装置100の構成図である。図1に示すように、環境試験装置100は、被試験物Wが入れられる試験室1と、試験室1から仕切られて形成された空調室2と、調節器4(制御手段)とを備えている。試験室1と空調室2とは、試験室1と空調室2との間の空気を循環させる連通部5および送風機34部を除き仕切られた構造となっている。また、試験室1内には、温湿度センサである乾球10および湿球11が配置されている。
空調室2には、湿球11および乾球10からの信号に基づき試験室1内の空気を所定の温湿度に調節するための温湿度発生器3(空調手段)が収容されている。
試験室1内には、被試験物Wを冷却および加熱する冷却加熱プレート6(冷却加熱器)が収容されている。冷却加熱プレート6は、被試験物Wを接触させて熱伝導により直接冷却加熱する冷却加熱面を有する表面接触式冷却加熱器である(なお、本実施形態のように被試験物Wを直接接触させずに伝熱シート12を介して間接接触させて、被試験物Wを熱伝導により冷却加熱することも当然可能である)。冷却加熱プレート6は、冷水などの冷媒を用いる冷媒冷却式のものや、ペルチェ効果を利用する熱電素子と冷却ファンとを組み合わせた電子冷却式のものがある。
図2は、図1に示す結露量センサ9の詳細図である。図2に示したように、結露量センサ9は、シリコンウエハ上に配置された結露検出部92および第2温度センサ91と、結露検出部92に接続されるF/V変換部93と、第2温度センサ91に接続されるAMP94とを有している。結露検出部92は、くし型電極の形態をとるものであり、電極間の静電容量値の変化に応じた発振周波数の変化により当該結露検出部92上の結露量を検出している。ここで、電極の幅L1および間隔L2はいずれも30μmと結露検出部92は微小配線にされている。F/V変換部93は、周波数を電圧に変換するものであり、結露量に応じた信号が、例えば0〜1Vの電圧信号として出力される。また、第2温度センサ91は、結露量センサ9のセンサ部温度を検出するものであり、ダイオードやサーミスタなどが用いられる。なお、ダイオードやサーミスタではなく赤外線方式などの非接触式の温度センサを用いてもよい。AMP94は、第2温度センサ91からの信号を増幅する増幅器である。
環境試験装置100は、試験室1内の空気の温湿度および冷却加熱プレート6の温度を制御する調節器4(制御手段)を備えている。調節器4は、入力部41と、制御部42と、記憶部43と、出力部44とを有する。また、調節器4は、乾球10・湿球11、結露量センサ9、温湿度発生器3、冷却加熱プレート6、および第1温度センサ7に電気的に接続されている。調節器4は、乾球10および湿球11からの信号を入力部41に取り込み、取り込んだ信号をもとに、試験室1内の空気が設定された温湿度となるように出力部44から指令を出して温湿度発生器3を制御する。また、調節器4は、乾球10・湿球11、結露量センサ9、および冷却加熱プレート6に内蔵されている第1温度センサ7からの信号を入力部41に取り込み、取り込んだ信号をもとに、被試験物W表面の結露量が設定された結露量となるように出力部44から指令を出して冷却加熱プレート6を制御する。
図4は、固定治具8が冷却加熱プレート6に取り付けられた環境試験装置100の構成図である。図4に示したように、固定治具8により、冷却加熱プレート6に対して被試験物Wを押圧して固定してもよい。固定治具8は、ネジ81と、バネ82と、固定板83とを有している。冷却加熱プレート6の上面の4隅近傍には、ネジ81を螺合により取り付けるためのネジ穴6aが形成される。このネジ穴6aには雌ネジが切られている。また、固定板83には、ネジ81を挿通させるための孔が形成されている。固定板83は、例えば長方形の板である。
次に、環境試験装置100の制御方法について説明する。図5は、図1に示す環境試験装置100の制御方法を示すフローチャートである。
被試験物W表面の結露量の設定値および試験室1内の温湿度の設定値を設定・表示器13に入力する。冷却加熱プレート6の上面に伝熱シート12を介して被試験物Wを載置する。この工程をステップ1(S1と記載、他のステップも同様)として図5に示している。
温湿度発生器3を動作させて試験室1内の空気を所定の温湿度(例えば25℃50%RH)に調節する(S2)。調節器4は、乾球10および湿球11からの信号を入力部41に取り込む。取り込んだ信号をもとに、制御部42で温湿度発生器3(加湿器31、冷却器32、加熱器33、および送風機34)への各指令値を決定する。そして、出力部44から指令を出して温湿度発生器3を制御する。試験室1内の空気は、送風機34により試験室1と空調室2との間を循環する。
結露量センサ9からの信号に基づき被試験物W表面の結露量を測定する(S3)。調節器4は、結露量センサ9からの信号を入力部41に取り込む。取り込んだ結露量センサ9からの信号をもとに制御部42で被試験物W表面の結露量を求める。
まず、調節器4から冷却加熱プレート6への温度指令値を例えば0℃とし、冷却加熱プレート6を冷やす(S4)。結露が発生するまで冷却加熱プレート6への温度指令値を0℃とする(S5)。これにより、被試験物W表面に素早く結露を発生させることができる。すなわち、結露試験の立ち上がり時間を短縮できる。なお、S4およびS5は省略してもよい。
図7は、従来技術を用いた場合の被試験物表面の結露量の変化および冷却加熱プレートの温度変化を示す図である。図8は、本発明の一実施形態に係る環境試験装置100を用いた場合の被試験物W表面の結露量の変化および冷却加熱プレート6の温度変化を示す図である。図7、8に結果を示したいずれの結露試験も、試験室内の温湿度の設定値を25℃50%RH、被試験物表面の結露量の設定値を3μg/mm2、として共通の条件で試験をおこなった。
図7に示すように、従来技術を用いての結露量制御では、被試験物W表面の結露状態が安定せず結露量の変化が大きかった。一方、図8に示すように、本発明に係る結露量制御では、被試験物W表面に結露する結露量の変化を小さく抑えることができた。なお、従来技術を用いての結露量制御に比して、冷却加熱プレート6の温度変化も小さく抑えられていた。
2 空調室
3 温湿度発生器(空調手段)
4 調節器(制御手段)
6 冷却加熱プレート(冷却加熱器)
9 結露量センサ
12 伝熱シート
100 環境試験装置
W 被試験物
Claims (4)
- 被試験物が入れられる試験室と、
前記試験室内に配置され当該試験室内の空気の温湿度を検出する湿球および乾球と、
前記湿球および乾球からの信号に基づき前記試験室内の空気を所定の温湿度に調節する空調手段と、
前記試験室内に収容されるとともに前記被試験物が上面に配置され、当該被試験物を冷却加熱する冷却加熱器と、
前記被試験物の上に載置される結露量センサと、
前記結露量センサからの信号に基づき、前記湿球により検出される湿球温度に偏差を加えた値と前記試験室内の露点温度に偏差を加えた値との間で前記冷却加熱器への温度指令値を変化させて、前記被試験物表面の結露量を制御する制御手段と、
を備える環境試験装置。 - 前記制御手段は、前記湿球温度に偏差を加えた値、前記湿球温度の値、および前記露点温度に偏差を加えた値のうちのいずれかに前記温度指令値を切り替えて、前記被試験物表面の結露量を制御することを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置。
- 前記制御手段は、前記湿球温度に偏差を加えた値、および前記露点温度に偏差を加えた値のうちのいずれかに前記温度指令値を切り替えて、前記被試験物表面の結露量を制御することを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置。
- 被試験物が入れられる試験室と、
前記試験室内に配置され当該試験室内の空気の温湿度を検出する湿球および乾球と、
前記湿球および乾球からの信号に基づき前記試験室内の空気を所定の温湿度に調節する空調手段と、
前記試験室内に収容されるとともに前記被試験物が上面に配置され、当該被試験物を冷却加熱する冷却加熱器と、
前記被試験物の上に載置される結露量センサと、
を具備する環境試験装置の制御方法であって、
前記空調手段を動作させて前記試験室内の空気を所定の温湿度に調節する恒温恒湿工程と、
前記結露量センサからの信号に基づき前記被試験物表面の結露量を測定する結露量測定工程と、
測定された前記結露量に基づき、前記湿球により検出される湿球温度に偏差を加えた値と前記試験室内の露点温度に偏差を加えた値との間で前記冷却加熱器への温度指令値を変化させて、前記被試験物表面の結露量を所定量に近づける結露量制御工程と、
を備えることを特徴とする環境試験装置の制御方法。
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