JP4934988B2 - 積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ - Google Patents
積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4934988B2 JP4934988B2 JP2005128629A JP2005128629A JP4934988B2 JP 4934988 B2 JP4934988 B2 JP 4934988B2 JP 2005128629 A JP2005128629 A JP 2005128629A JP 2005128629 A JP2005128629 A JP 2005128629A JP 4934988 B2 JP4934988 B2 JP 4934988B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave
- piezoelectric element
- electrode
- groove
- insulating filler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure with non-rectangular cross-section orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal, circular
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M63/00—Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
- F02M63/0012—Valves
- F02M63/0014—Valves characterised by the valve actuating means
- F02M63/0015—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
- F02M63/0026—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators
Description
上記セラミック積層体における上記第1側面電極を設けた側面には、底部に上記第2内部電極の端部を露出させた凹溝である第1凹溝部が設けられ、一方、上記第2側面電極を設けた側面には、底部に上記第1内部電極の端部を露出させた凹溝である第2凹溝部が設けられており、
上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部には、それぞれ上記第2内部電極の端部及び上記第1内部電極の端部を覆うように電気絶縁性を有する絶縁充填材が充填されており、
上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部に充填された上記絶縁充填材の外表面には、上記セラミック積層体の側面から内方に窪む凹面部が形成されており、
上記絶縁充填材の上記凹面部と、上記第1側面電極あるいは上記第2側面電極との間には、空隙を設けてあることを特徴とする積層型圧電体素子にある(請求項1)。
上記圧電アクチュエータは、上記第1の発明の積層型圧電体素子よりなることを特徴とするインジェクタにある(請求項9)。
この場合には、許容温度範囲の全域に渡って、上記絶縁充填材の凹面部の窪み形状を維持することで、上記各側面電極が上記セラミック積層体の側面から剥離等するおそれを確実性高く抑制できる。それ故、上記積層型圧電体素子の動作信頼性、耐久性をさらに向上することができる。
上記圧電層と上記絶縁充填材との間で、線膨張係数の差が上記の範囲にある場合には、熱膨張した上記絶縁充填材の変形度合いが大きくなる。そのため、この絶縁性充填材から側面電極に作用する応力が大きくなるおそれがある。それ故、この場合には、上記側面電極が上記セラミック積層体の側面から剥離等するおそれを抑制できるという上記第1の発明の作用効果が特に有効となる。
この場合には、上記絶縁充填材を用いて上記積層型圧電体素子の電気的な絶縁信頼性を高めることができる。それ故、上記積層型圧電体素子全体の電気的な信頼性を一層、向上することができる。
Sn−Agペーストは、内部電極と金属的な接合をするため導電性は良好であるが、上記積層型圧電体素子との密着性が低い。そのため、溝部の絶縁樹脂の熱膨張による剥がれに対しては、他の導電材料と比べて弱いおそれがある。したがって、上記各側面電極としてSn−Agペーストを適用する場合には、上記第1の発明の作用効果が特に有効となる。なお、Sn−Agペーストに代えて、樹脂材料にAgを含有させた樹脂銀や、はんだ等により上記側面電極を形成することもできる。
この場合には、上記凹面部と上記各側面電極との間に設けた空隙により、熱膨張した絶縁充填材から各側面電極に作用する応力を効果的に抑制できる。それ故、上記積層型圧電体素子では、上記セラミック積層体の側面から上記各側面電極が剥離等するおそれをさらに抑制できる。
この場合には、上記各凹溝部の幅に対して、上記凹面部の窪み深さを上記の範囲に設定すれば、広範な温度範囲において上記凹面部の窪み形状を維持させることができる。それ故、上記積層型圧電体素子は、使用可能な温度範囲が広く、耐熱性、耐久性等に優れたものとなる。
この場合には、圧電層を覆う内部電極の有効電極面積の減少が少なく、積層型圧電体素子の良好な変位特性を十分に維持することができる。なお、上記溝深さが400μmを超えると変位特性への影響が顕在化するおそれがある。一方、上記溝深さが10μm未満であると絶縁充填材による電気的な絶縁を十分に確保できなくなるおそれがある。
即ち、上記凹面部は、上記絶縁充填材の外表面の全ての部分において形成されている必要はなく、一部において上記凹面部が形成されていない部分、つまり、上記非凹面部が形成されていてもよい。
なお、上記の全長Aは、上記各第1凹溝部及び上記各第2凹溝部の個々の長さによって決まるものである。
本例は、圧電効果を奏する積層型圧電体素子1に関する例である。この内容について図1〜図19を用いて説明する。
本例の積層型圧電体素子1は、図1に示すごとく、圧電材料よりなる複数の圧電層11と、導電性を有する複数の層状の内部電極21、22とを交互に積層してなるセラミック積層体10を有し、該セラミック積層体10の側面101、102に第1側面電極31及び第2側面電極32を設けたものである。内部電極21、22としては、第1側面電極31に導通する第1内部電極(以下、適宜第1内部電極21と記載する。)と、第2側面電極32に導通する第2内部電極(以下、適宜第2内部電極22と記載する。)とを交互に配置してある。
上記セラミック積層体10における第1側面電極31を設けた側面101には、底部410に第2内部電極22の端部を露出させた凹溝である第1凹溝部41が設けられ、一方、第2側面電極32を設けた側面102には、底部420に第1内部電極21の端部を露出させた凹溝である第2凹溝部42が設けられている。
そして、第1凹溝部41及び第2凹溝部42には、図2に示すごとく、それぞれ第2内部電極22の端部及び第1内部電極21の端部を覆うように電気絶縁性を有する絶縁充填材5が充填されている。ここで、第1凹溝部41及び第2凹溝部42に充填された絶縁充填材5の外表面には、セラミック積層体10の側面101、102から内方に窪む凹面部50が形成されている。
以下に、この内容について詳しく説明する。
また、側面電極31、32としては、2つの材料を積層して形成しても良い。例えば、図3に示すごとく、Sn−Agペーストよりなる第1の側面電極層31a、32aの表面に、銀フィラー添加のエポキシ樹脂よりなる第2の側面電極層31b、32bを形成することができる。
まず、圧電材料となるセラミックグリーンシートを焼成して上記圧電層11を得る圧電層焼成工程を行う。
本例では、上記圧電層11としてPZTを採用すべく、次のようにグリーンシートを作製した。まず、圧電材料の主原料となる酸化鉛、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ニオブ、炭酸ストロンチウム等の粉末を所望の組成となるように秤量する。また、鉛の蒸発を考慮して、上記混合比組成の化学量論比よりも1〜2%リッチになるように調合する。これを混合機にて乾式混合し、その後800〜950℃で仮焼する。
本例では、上記電極材料20として、純度99.9%のCuよりなり、厚み5μmの銅箔を用いた。また、銅箔の形状は、図4に示すごとく、7mm角の四角形とし、圧電層11と同じにした。そして、圧電層11と電極材料20とを交互に積層し、圧電層11の積層数が250層となるように積層体を作製した。また、この積層体の積層方向の上下端には、それぞれダミー層となる圧電層11を配置した。
次に、図6に示すごとく、上記四角柱形状の角部を平面研削し、新たに4つの側面105〜108を設け、略八角柱形状のセラミック積層体10を成形する。
本例の積層型圧電体素子1は、上記のごとく、第1凹溝部41及び第2凹溝部42に充填した絶縁充填材5における外表面に、セラミック積層体10の側面101、102から内方に窪む凹面部50を形成してある。特に、本例では、積層型圧電体素子1の最高許容温度である160℃下においても、上記凹面部50がその窪み形状(Dp>0である形状。)を維持するように構成してある。
それ故、例えば、積層型圧電体素子1に冷熱サイクルを繰り返して付与しても、セラミック積層体10の側面101、102に形成した側面電極31、32が良好な状態に維持され得る。これにより、上記積層型圧電体素子1は、従来よりも、側面電極31(32)と内部電極21(22)との間の電気的な信頼性が高いものとなる。
また、凹溝部41、42の形成形状としては、本例の長方形状のほか、三角形状(図16)、台形状(図17)、多角形状(図18)等様々な形状とすることができる。さらに、凹溝部41、42は、積層方向の対称形状であっても、非対称形状(図19)であっても良い。
本例は、参考例1の積層型圧電体素子1における各凹溝部の凹面部の深さDpを変更して、その耐久性を調べた例である。この内容について、図20及び図21を用いて説明する。
本例では、各積層型圧電体素子に対して、サイクル時間60min、−40℃〜160℃の冷熱サイクルを500サイクル実施した後の側面電極と内部電極との間の電気的な接触抵抗を測定した。
なお、その他の構成及び作用効果については参考例1と同様である。
本例は、参考例1の積層型圧電体素子1を基にして、絶縁充填材と側面電極との間に隙間を設けた例である。この内容について、図22及び図23を用いて説明する。
本例では、図22に示すごとく、側面電極31(32)におけるセラミック積層体10側の当接面を略平坦に形成することで、絶縁充填材5の凹面部50との間に隙間505を設けてある。
さらになお、凹溝部41(42)の溝形状及び、凹面部50の形成形状については、参考例1と同様、様々な形状を採用することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については参考例1と同様である。
本例は、参考例1の積層型圧電体素子1を基にして、各凹溝部に充填された絶縁充填材の外表面の一部に非凹面部が形成されている例である。この内容について、図24〜図29を用いて説明する。
本例では、図24、図25に示すごとく、凹溝部41、42に充填された絶縁充填材5の外表面の一部に、凹面部50が形成されていない部分である非凹面部51が設けられている。ここで、非凹面部51とは、凹溝部41、42に充填された絶縁充填材5の外表面がセラミック積層体10の側面101、102から外方に突出して形成されている部分(図26〜図28)、またはセラミック積層体10の側面101、102に沿って形成されている部分(図29)をいう。
また、本例では、セラミック積層体10の形状が四角柱のものを用いた(図5参照)。
その他は、参考例1と同様の構成である。
また、上記の効果をより充分、かつ確実に得るためには、上記(A−B)/Aが0.6以上となるように凹面部50を形成すればよい。
その他は、参考例1と同様の作用効果を有する。
本例は、参考例1又は参考例2の積層型圧電体素子1をインジェクタ6の圧電アクチュエータとして用いた例である。
本例のインジェクタ6は、図32に示すごとく、ディーゼルエンジンのコモンレール噴射システムに適用したものである。
このインジェクタ6は、同図に示すごとく、駆動部としての上記積層型圧電体素子1が収容される上部ハウジング62と、その下端に固定され、内部に噴射ノズル部64が形成される下部ハウジング63を有している。
なお、その他の構成及び作用効果については、参考例1あるいは参考例2と同様である。
10 セラミック積層体
101、102 側面(セラミック積層体の側面)
11 圧電層
21 第1内部電極(内部電極)
22 第2内部電極(内部電極)
31 第1側面電極(側面電極)
32 第2側面電極(側面電極)
41 第1凹溝部(凹溝部)
42 第2凹溝部(凹溝部)
410、420 底部
5 絶縁充填材
50 凹面部
51 非凹面部
505 隙間
6 インジェクタ
Claims (9)
- 圧電材料よりなる複数の圧電層と、導電性を有する複数の層状の内部電極とを交互に積層してなるセラミック積層体を有し、該セラミック積層体の側面に第1側面電極及び第2側面電極が設けられ、上記内部電極としては、上記第1側面電極に導通する第1内部電極と、上記第2側面電極に導通する第2内部電極とを交互に配置してなる積層型圧電体素子において、
上記セラミック積層体における上記第1側面電極を設けた側面には、底部に上記第2内部電極の端部を露出させた凹溝である第1凹溝部が設けられ、一方、上記第2側面電極を設けた側面には、底部に上記第1内部電極の端部を露出させた凹溝である第2凹溝部が設けられており、
上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部には、それぞれ上記第2内部電極の端部及び上記第1内部電極の端部を覆うように電気絶縁性を有する絶縁充填材が充填されており、
上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部に充填された上記絶縁充填材の外表面には、上記セラミック積層体の側面から内方に窪む凹面部が形成されており、
上記絶縁充填材の上記凹面部と、上記第1側面電極あるいは上記第2側面電極との間には、空隙を設けてあることを特徴とする積層型圧電体素子。 - 請求項1において、上記凹面部は、積層型圧電体素子に許容される温度範囲内の最高温度下で、その窪み形状を維持するように形成されていることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1又は2において、上記圧電層の線膨張係数と、上記絶縁充填材の線膨張係数との差が、20ppm/℃以上300ppm/℃以下であることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁充填材は、シリコン又は、ポリイミド又は、エポキシ又は、ウレタンの少なくともいずれかを含むものであることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1〜4のいずれか1項において、上記第1側面電極及び上記第2側面電極は、Sn−Agペーストよりなることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1〜5のいずれか1項において、上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部の幅は、5μm以上150μm以下であり、上記凹面部の窪み深さは、2μm以上100μm以下であることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1〜6のいずれか1項において、上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部の溝深さは、10μm以上400μm以下であることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 請求項1〜7のいずれか1項において、上記第1凹溝部及び上記第2凹溝部に充填された上記絶縁充填材の外表面には、上記凹面部が形成されていない非凹面部が存在しており、上記各第1凹溝部及び上記各第2凹溝部における、全長をA、上記非凹面部の部分の長さをBとした場合、(A−B)/Aが0.3以上であることを特徴とする積層型圧電体素子。
- 圧電アクチュエータの変位を利用して弁体を開閉させ、燃料の噴射制御を行うよう構成されたインジェクタにおいて、
上記圧電アクチュエータは、請求項1〜8のいずれか1項に記載の積層型圧電体素子よりなることを特徴とするインジェクタ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128629A JP4934988B2 (ja) | 2004-07-27 | 2005-04-26 | 積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ |
DE200510034904 DE102005034904A1 (de) | 2004-07-27 | 2005-07-26 | Gestapeltes piezoelektrisches Element und dieses verwendende Injektionseinrichtung |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004219108 | 2004-07-27 | ||
JP2004219108 | 2004-07-27 | ||
JP2005128629A JP4934988B2 (ja) | 2004-07-27 | 2005-04-26 | 積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006066878A JP2006066878A (ja) | 2006-03-09 |
JP4934988B2 true JP4934988B2 (ja) | 2012-05-23 |
Family
ID=35721682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005128629A Expired - Fee Related JP4934988B2 (ja) | 2004-07-27 | 2005-04-26 | 積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4934988B2 (ja) |
DE (1) | DE102005034904A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006011293A1 (de) * | 2006-03-10 | 2007-09-13 | Siemens Ag | Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
ATE432537T1 (de) * | 2006-03-17 | 2009-06-15 | Delphi Tech Inc | Piezoelektrischer aktor |
WO2010013670A1 (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
JP5594557B2 (ja) * | 2008-10-15 | 2014-09-24 | 株式会社リコー | 圧電アクチュエータと液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
DE102010022911B4 (de) * | 2010-06-07 | 2017-01-19 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors und Piezoaktor |
DE102012107341B4 (de) | 2012-08-09 | 2020-07-09 | Tdk Electronics Ag | Verfahren zum Befüllen von mindestens einer Kavität eines Vielschichtbauelements mit einem Füllmaterial |
KR200477826Y1 (ko) | 2014-09-23 | 2015-07-28 | 홍성욱 | 활성수 제조를 위한 수 처리기 |
DE102015214778A1 (de) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | Continental Automotive Gmbh | Herstellungsverfahren zum Herstellen eines elektromechanischen Aktors und elektromechanischer Aktor |
DE102015215204A1 (de) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | Continental Automotive Gmbh | Herstellungsverfahren zum Herstellen eines elektromechanischen Aktors und elektromechanischer Aktor. |
CN107180912B (zh) * | 2017-06-09 | 2019-08-20 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 | 压电陶瓷堆叠结构及压电式传感器 |
KR102568647B1 (ko) * | 2017-12-11 | 2023-08-22 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 압전 센서 및 압전 센서의 제조 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04253383A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-09 | Nec Corp | 圧電アクチュエータ |
JP3668072B2 (ja) * | 1999-09-28 | 2005-07-06 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電アクチュエータ |
JP2001244514A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Kyocera Corp | 積層型圧電アクチュエータおよびこれを用いた噴射装置 |
DE10152490A1 (de) * | 2000-11-06 | 2002-05-08 | Ceramtec Ag | Außenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren |
JP2003051627A (ja) * | 2001-08-07 | 2003-02-21 | Ricoh Co Ltd | 圧電型駆動体及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 |
-
2005
- 2005-04-26 JP JP2005128629A patent/JP4934988B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-26 DE DE200510034904 patent/DE102005034904A1/de not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006066878A (ja) | 2006-03-09 |
DE102005034904A1 (de) | 2006-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4934988B2 (ja) | 積層型圧電体素子及び、これを用いたインジェクタ | |
US7061162B2 (en) | Laminated piezoelectric element | |
EP1160886B1 (en) | Piezoelectric element for injector | |
JP2006303045A (ja) | 積層型圧電体素子 | |
EP1753039B1 (en) | Multilayer piezoelectric element | |
JP4929875B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
WO2010024277A1 (ja) | 積層型圧電素子および噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
JP4590868B2 (ja) | 積層型圧電体素子及びその製造方法 | |
US20070001031A1 (en) | Multilayer piezoelectric element and fuel injector | |
JP2004266260A (ja) | 積層型圧電体素子 | |
US8264125B2 (en) | Piezoelectric component comprising a security layer and an infiltration barrier and a method for the production thereof | |
JP4479271B2 (ja) | 積層型圧電体素子 | |
JP4345699B2 (ja) | 積層型圧電体素子及びそれを用いたインジェクタ | |
US20100090033A1 (en) | Multi-Layer Piezoelectric Element, Injection Apparatus Using the Same and Method of Multi-Layer Piezoelectric Element | |
JP4742651B2 (ja) | 積層型圧電体素子及びその製造方法 | |
JP5419976B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
JP6199757B2 (ja) | 積層型圧電素子、圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ | |
US20150132589A1 (en) | Method for Producing a Multi-Layered Structural Element, and a Multi-Layered Structural Element Produced According to Said Method | |
JP2006005314A (ja) | 積層型圧電体素子及び、この積層型圧電体素子を利用したインジェクタ | |
JP5705509B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
JP4631342B2 (ja) | 積層型圧電体素子の製造方法 | |
WO2012011302A1 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
JP7129478B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
WO2013065710A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4822664B2 (ja) | 積層型圧電素子およびその製法、並びに噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070618 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110520 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120206 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |