JP6199757B2 - 積層型圧電素子、圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ - Google Patents
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Description
の内部電極層122が1層おきに交互に形成されて積層された領域(活性部)に対応する位置に複数配置されているのが好ましい。
US316L(オーステナイト系ステンレス鋼のJIS規格)などの金属材料で形成されたものである。具体的には、上面に圧電素子1の下面が当接された基体21と、下面に圧電素子1の上面が当接された蓋体22と、基体21と蓋体22とに接合された筒体23とを有している。
とき、インクの粘度、製版メッシュ数、印刷速度等を適宜調整することにより、圧電セラミック被覆層14の厚みを制御することができる。
ことにより、穴を塞ぎ、ケース2内への不活性ガスの注入を完了する。
るセラミック粒子の平均粒径は、2.4μmであった。
10・・・圧電アクチュエータ
11・・・圧電セラミック層
11a・・・セラミック粒子
121・・・第1の内部電極層
122・・・第2の内部電極層
13・・・積層体
13a・・・セラミック粒子
13b・・・ボイド
14・・・圧電セラミック被覆層
14a・・・セラミック粒子
15・・・導体層
2・・・ケース
21・・・基体
22・・・蓋体
23・・・筒体
211・・・貫通孔
31・・・リードピン
32・・・リード線
33・・・はんだ
34・・・軟質ガラス
4・・・マスフローコントローラ
41・・・流路
411・・・流入口
412・・・流出口
42・・・流量センサ部
43・・・流量制御弁
44・・・制御回路部
Claims (5)
- 圧電セラミック層、第1の内部電極層および第2の内部電極層が積層された積層体と、該積層体における前記第1の内部電極層および前記第2の内部電極層の両方の端部が近接する側面に設けられた圧電セラミック被覆層とを含み、
前記第1の内部電極層および前記第2の内部電極層の両方の端部が前記圧電セラミック被覆層の設けられた側面よりも内側に位置しており、
前記圧電セラミック被覆層を構成するセラミック粒子の粒径が前記圧電セラミック層を構成するセラミック粒子の粒径よりも小さく、
前記第1の内部電極層の端部および前記第2の内部電極層の端部のそれぞれと前記圧電セラミック被覆層が設けられた側面との間の領域に存在するセラミック粒子の粒径が前記圧電セラミック層を構成するセラミック粒子の粒径よりも小さいことを特徴とする積層型圧電素子。 - 前記圧電セラミック層および前記圧電セラミック被覆層が同じ組成の圧電材料からなることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記第1の内部電極層の端部および前記第2の内部電極層の端部のそれぞれと前記圧電セラミック被覆層が設けられた側面との間にボイドがあることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の積層型圧電素子。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の積層型圧電素子と、該積層型圧電素子を内部に収容するケースとを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 流路と、該流路内を流れる流体の流量を検出する流量センサ部と、請求項4に記載の圧電アクチュエータを備えた流体の流量を制御する流量制御弁と、制御回路部とを有し、前記流量制御弁は、前記圧電アクチュエータの伸縮により流量制御を行うことを特徴とするマスフローコントローラ。
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