JP4927517B2 - 硬質皮膜コーティングされた工具の再生方法および硬質皮膜コーティングされた金型の再生方法 - Google Patents
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Description
上記加熱した雰囲気炉内に、主成分ガスに希釈ガスを加えたプラズマを含まないハロゲン系化合物ガスを導入して上記ハロゲン系化合物ガスが存在する大気圧近傍の雰囲気中において工具を加熱保持し、
上記工具をプラズマ中に晒さないで、プラズマを含まないハロゲン系化合物ガスにより表面の硬質皮膜コーティングをハロゲン化物とすることにより除去し、
その後、硬質皮膜コーティングの再コーティング処理を行うことを要旨とする。
また、本発明の硬質皮膜コーティングされた金型の再生方法は、PVDやCVDによる硬質皮膜コーティングが施された金型を、プラズマ発生設備のない雰囲気炉で加熱し、
上記加熱した雰囲気炉内に、主成分ガスに希釈ガスを加えたプラズマを含まないハロゲン系化合物ガスを導入して上記ハロゲン系化合物ガスが存在する大気圧近傍の雰囲気中において金型を加熱保持し、
上記金型をプラズマ中に晒さないで、プラズマを含まないハロゲン系化合物ガスにより表面の硬質皮膜コーティングをハロゲン化物とすることにより除去し、
その後、硬質皮膜コーティングの再コーティング処理を行うことを要旨とする。
なお、本発明において「大気圧近傍」とは、−200PaG〜200PaGの範囲内の圧力をいう。
6TiN+8NF3→6TiF4+7N2…(1)
CrN+NF3→CrF3+N2…(2)
<試験材1>:ダイス用超硬合金(WC;90重量%、Co;10重量%)JIS V30相当の金型表面にイオンプレーティング法により膜厚2μmのTiN皮膜を形成した。
この試験材1を、10容量%NF3、90容量%N2雰囲気の炉内において240℃×30分間処理し、超硬合金金型表面からTiN皮膜を剥離・除去した。
<試験材2>:超硬合金(WC;71重量%、TiC;9重量%、TiN;0.5重量%、TaC;10重量%、Co;9.5重量%)JIS P30相当のスローアウェイチップ表面にCVD法により膜厚3μmのTiN−TiCN皮膜を形成した。
この試験材2を、5容量%NF3、95容量%N2雰囲気の炉内において300℃×60分間処理し、超硬合金金型表面からTiN−TiCN皮膜を剥離・除去した。
<試験材3>:ダイス用超硬合金(WC;85重量%、Co;15重量%)JIS V50相当の金型表面にイオンプレーティング法により膜厚2μmのTiN−TiSiN皮膜を形成した。
この試験材3を、10容量%NF3、90容量%N2雰囲気の炉内において350℃×90分間処理し、超硬合金金型表面からTiN−TiSiN皮膜を剥離・除去した。
<試験材4>:切削工具用超硬合金(WC;90重量%、Co;10重量%)JIS K20相当のリーマ表面にイオンプレーティング法により膜厚2μmのTiAlN皮膜を形成した。
この試験材4を、10容量%NF3、90容量%N2雰囲気の炉内において350℃×90分間処理し、超硬合金金型表面からTiAlN皮膜を剥離・除去した。
上記試験材1の成膜試料を新品膜としてスクラッチ試験に供した。一方、上記試験材1の成膜試料を、10容量%NF3、90容量%N2雰囲気の炉内において240℃×30分間処理し、超硬合金金型表面からTiN皮膜を剥離・除去した。その後、全く同一の成膜条件でTiNを再コーティングし、スクラッチ試験に供した。
上記試験材1,2,3について、35%溶液の過酸化水素水−ニトロ化合物−アンモニア水−アミン化合物で形成された市販の剥離液に、22℃で20時間浸漬した。
上記試験材4について、剥離剤35%溶液の過酸化水素水−アンモニア水−アミン化合物で形成された市販の剥離液に、20℃で48時間浸漬した。
上記試験材1について、剥離剤35%溶液の過酸化水素水−水酸化ナトリウム−EDTA等で形成された市販の剥離液に、20℃で14時間浸漬した。
Claims (6)
- PVDやCVDによる硬質皮膜コーティングが施された工具を、プラズマ発生設備のない雰囲気炉で加熱し、
上記加熱した雰囲気炉内に、主成分ガスに希釈ガスを加えたプラズマを含まないハロゲン系化合物ガスを導入して上記ハロゲン系化合物ガスが存在する大気圧近傍の雰囲気中において工具を加熱保持し、
上記工具をプラズマ中に晒さないで、プラズマを含まないハロゲン系化合物ガスにより表面の硬質皮膜コーティングをハロゲン化物とすることにより除去し、
その後、硬質皮膜コーティングの再コーティング処理を行うことを特徴とする硬質皮膜コーティングされた工具の再生方法。 - 上記加熱保持の時間は30分以上である請求項1記載の硬質皮膜コーティングされた工具の再生方法。
- 上記ハロゲン系化合物ガスがNF3系ガスである請求項1または2記載の硬質皮膜コーティングされた工具の再生方法。
- PVDやCVDによる硬質皮膜コーティングが施された金型を、プラズマ発生設備のない雰囲気炉で加熱し、
上記加熱した雰囲気炉内に、主成分ガスに希釈ガスを加えたプラズマを含まないハロゲン系化合物ガスを導入して上記ハロゲン系化合物ガスが存在する大気圧近傍の雰囲気中において金型を加熱保持し、
上記金型をプラズマ中に晒さないで、プラズマを含まないハロゲン系化合物ガスにより表面の硬質皮膜コーティングをハロゲン化物とすることにより除去し、
その後、硬質皮膜コーティングの再コーティング処理を行うことを特徴とする硬質皮膜コーティングされた金型の再生方法。 - 上記加熱保持の時間は30分以上である請求項4記載の硬質皮膜コーティングされた金型の再生方法。
- 上記ハロゲン系化合物ガスがNF3系ガスである請求項4または5記載の硬質皮膜コーティングされた金型の再生方法。
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