JP4923957B2 - リーク検査装置 - Google Patents
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Description
11 ワーク(被検査物)
22 比例流量調整弁(流量調整機構)
24 温度センサ
25 排出路
T4 時間(平衡時間)
Claims (1)
- 被検査物内に加圧下で気体を充填し、該被検査物内の該気体の圧力変化を測定することによって、該被検査物からの該気体のリークの有無を検査するリーク検査装置であって、
前記被検査物内と接続され、該被検査物内の前記気体を排出するための排出路と、
前記排出路に設けられ、前記被検査物内に前記気体を充填すべく該排出路における気体の単位時間当たりの流量を増減させる流量調整機構と、
前記被検査物内から前記流量調整機構の間の予め定められた位置における前記気体の温度を測定する温度センサと、を備え、
前記流量調整機構は、前記排出路内の空気の流量をリニアに調整可能である比例流量調整弁を有し、
前記温度センサの測定結果が通常より高温である場合には前記比例流量調整弁の閉じる速度を低下させ、前記測定結果が通常より低温である場合には前記比例流量調整弁の閉じる速度を増加させ、前記測定結果により前記圧力変化の測定開始時期を変化させることを特徴とするリーク検査装置。
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