JP4923712B2 - 光モジュール及びその製造方法 - Google Patents
光モジュール及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4923712B2 JP4923712B2 JP2006128647A JP2006128647A JP4923712B2 JP 4923712 B2 JP4923712 B2 JP 4923712B2 JP 2006128647 A JP2006128647 A JP 2006128647A JP 2006128647 A JP2006128647 A JP 2006128647A JP 4923712 B2 JP4923712 B2 JP 4923712B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- lid
- transparent substrate
- optical module
- side electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
L>L2+t+ΔL
を満たすことが必要であり、その他の部材の寸法精度なども考慮すると1.0mm以上必要となる。
2 セラミックパッケージ
3 透明基板(光透過部材)
4 フタ
7 テラス上電極(パッケージ側電極)
9 VCSELアレイ(光素子)
10 PDアレイ(光素子)
13 下面電極(基板側電極)
15 窓
Claims (10)
- 上部が開口したパッケージの上部に光透過部材を設け、上記パッケージ内に1個以上の光素子を収納して気密封止した光モジュールにおいて、
上記光透過部材となる透明基板の裏面に回路パターンを形成し、その回路パターンに1個以上の光素子を実装し、上記パッケージの上縁面にパッケージ側電極を形成すると共に、そのパッケージ側電極に対応して上記透明基板の裏面に基板側電極を形成し、他方、光通路となる窓を有する金属製のフタを上記透明基板の表面に固定して設けると共に、そのフタを上記透明基板の周縁から張り出すように形成し、上記パッケージ側電極と上記基板側電極を接合した状態で、上記パッケージに上記フタの周縁を接合すると共に気密封止したことを特徴とする光モジュール。 - 上記パッケージは、底面より1段高い上記透明基板を搭載するためのテラスと、上記テラスに形成された上記パッケージ側電極としてのテラス上電極と、上記テラス上電極より1段高い第2の上縁面と、上記第2の上縁面に形成された接合枠と、を備え、
上記透明基板の上記基板側電極と上記パッケージの上記テラス上電極とを接合し、上記フタの周縁と上記パッケージの上記接合枠とを接合した、
請求項1記載の光モジュール。 - 上記フタは厚さが0.3mm未満の金属板からなり、上記フタの周縁部に、上記パッケージに上記フタを接合する際変形する可変部を形成した請求項1または2に記載の光モジュール。
- 上記フタの周縁部に、上記パッケージに上記フタを接合する際変形する盛り上がり部からなる可変部を形成した請求項1または2に記載の光モジュール。
- 上記透明基板の表面に上記フタを低融点ガラスで固定した請求項1〜4いずれかに記載の光モジュール。
- 上記パッケージの上記パッケージ側電極の周囲に接合枠を形成し、上記パッケージ側電極と上記基板側電極をAuバンプまたは半田バンプを介して接合すると共に、上記接合枠に上記フタの周縁を抵抗溶接で接合した請求項1〜5いずれかに記載の光モジュール。
- 上記接合枠の上縁面に、その上縁面に沿って上記パッケージに上記フタを接合する際溶融する突起部を形成した請求項6記載の光モジュール。
- 上記フタを上記透明基板に近い線膨張係数を有する金属で形成した請求項1〜7いずれかに記載の光モジュール。
- 上記透明基板の裏面の回路パターン上に受信用光素子を配置すると共に、その受信用光素子の出力を増幅する受信用アンプICを配置し、上記透明基板の裏面の回路パターン上に送信用光素子を配置し、その送信用光素子を駆動する送信用ドライバICを上記パッケージの内底面に配置した請求項1〜8いずれかに記載の光モジュール。
- 上部が開口したパッケージの上部に光透過部材を設け、上記パッケージ内に1個以上の光素子を収納して気密封止した光モジュールの製造方法において、上記光透過部材となる透明基板の裏面に回路パターンを形成し、その回路パターンに1個以上の光素子を実装し、上記パッケージの上縁面にパッケージ側電極を形成すると共に、そのパッケージ側電極に対応して上記透明基板の裏面に基板側電極を形成し、他方、光通路となる窓を有する金属製のフタを上記透明基板の表面に固定して設けると共に、そのフタを上記透明基板の周縁から張り出すように形成し、上記パッケージ側電極と上記基板側電極をAuバンプまたは半田バンプを介して接合した状態で、上記パッケージに上記フタの周縁を接合すると共に気密封止することを特徴とする光モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006128647A JP4923712B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 光モジュール及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006128647A JP4923712B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 光モジュール及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007300032A JP2007300032A (ja) | 2007-11-15 |
JP4923712B2 true JP4923712B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=38769259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006128647A Expired - Fee Related JP4923712B2 (ja) | 2006-05-02 | 2006-05-02 | 光モジュール及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4923712B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5532681B2 (ja) * | 2009-05-28 | 2014-06-25 | 株式会社リコー | 光デバイス、光走査装置及び画像形成装置 |
EP2428828B1 (en) * | 2010-09-13 | 2016-06-29 | Tyco Electronics Svenska Holdings AB | Miniaturized high speed optical module |
US10072977B2 (en) | 2014-02-26 | 2018-09-11 | Nec Corporation | Optical module with capacitor and digital coherent receiver using the same |
JP7219565B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2023-02-08 | ローム株式会社 | 電子機器 |
KR102164841B1 (ko) * | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 하나옵트로닉스 주식회사 | 아웃가스 통로를 갖는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지 및 그의 제조방법 |
JP7210722B2 (ja) * | 2019-05-31 | 2023-01-23 | 日立Astemo株式会社 | 電子制御装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0810732B2 (ja) * | 1992-03-23 | 1996-01-31 | 日本電気株式会社 | 光機能素子用チップキャリア |
JPH07312398A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-11-28 | Nippon Carbide Ind Co Inc | 電子素子用パッケージ |
US6080031A (en) * | 1998-09-02 | 2000-06-27 | Motorola, Inc. | Methods of encapsulating electroluminescent apparatus |
US7004644B1 (en) * | 1999-06-29 | 2006-02-28 | Finisar Corporation | Hermetic chip-scale package for photonic devices |
JP2002164456A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージ |
JP2002208650A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Kyocera Corp | 電子素子収容装置 |
JP2004031508A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Nec Corp | 光電気複合モジュールおよびそのモジュールを構成要素とする光入出力装置 |
JP2005292739A (ja) * | 2004-04-06 | 2005-10-20 | Hitachi Ltd | 光モジュール |
-
2006
- 2006-05-02 JP JP2006128647A patent/JP4923712B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007300032A (ja) | 2007-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4793099B2 (ja) | 光モジュール | |
JP4697077B2 (ja) | 光モジュール | |
US7443028B2 (en) | Imaging module and method for forming the same | |
US6425695B1 (en) | Optical module and method of manufacturing the same | |
CA2092165C (en) | Chip carrier for optical device | |
US20070176274A1 (en) | Functional device-mounted module and a process for producing the same | |
JP6939568B2 (ja) | 半導体装置および撮像装置 | |
JP4923712B2 (ja) | 光モジュール及びその製造方法 | |
US8474134B2 (en) | Functional element-mounted module and a method for producing the same | |
US20160377823A1 (en) | Optical module and optical module package incorporating a high-thermal-expansion ceramic substrate | |
JP4359201B2 (ja) | 光半導体装置、光コネクタおよび電子機器 | |
JP4159778B2 (ja) | Icパッケージ、光送信器及び光受信器 | |
US20060087022A1 (en) | Image sensor assembly and method for fabricating the same | |
TWI233509B (en) | Optoelectronic package structure and process for planar passive optical and optoelectronic devices | |
JP2008041770A (ja) | 光モジュール | |
JP2020194019A (ja) | 光モジュール | |
US7929076B2 (en) | Optical module and optical pickup apparatus | |
JP4798863B2 (ja) | 光電気配線基板 | |
WO2023209939A1 (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 | |
US20240219662A1 (en) | Optical module | |
US20240085648A1 (en) | Optical module | |
JP2003069125A (ja) | 光集積素子、光学ヘッド及び光学ヘッドの製造方法 | |
JP4801339B2 (ja) | 光通信モジュール | |
JP2012023667A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP4066375B2 (ja) | 半導体レーザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120123 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |