JP4909622B2 - 研削装置の制御方法 - Google Patents
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Description
また、本発明に係る研削装置の制御方法によれば、所定の下限値Dthを実験データ等に基づき6mmとしているので、ウエーハの研削面に部分的な凹凸があったとしても算出されるウエーハ厚みの平均値への影響を確実に軽減させることができるという効果を奏する。
20 研削手段
24 研削砥石
30 研削送り手段
40 検出手段
60 凹み
A 平均値データ出力間隔
D 移動距離
L 円弧状軌跡
W ウエーハ
Wa 研削面
Claims (2)
- ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された前記ウエーハを研削する研削砥石が回転可能に装着された研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、前記チャックテーブルに保持された前記ウエーハの研削面に作用し、該ウエーハの厚さを検出する検出手段と、を備える研削装置の制御方法であって、
ウエーハ厚みの平均値データ出力間隔をA(秒)とし、前記検出手段が前記平均値データ出力間隔Aの間に前記研削面に作用する円弧状軌跡上での移動距離をD(mm)とし、前記ウエーハの仕上がり厚さの許容値をα(μm)とし、前記研削手段の研削送り速度をβ(μm/秒)とした場合、前記移動距離Dは所定の下限値Dthより大きく、前記平均値データ出力間隔Aはα/βより小さいことを満たすように設定された該平均値データ出力間隔Aで、前記検出手段が前記ウエーハの厚さ情報を複数回検出して平均値を算出し、該平均値が前記ウエーハの所望の仕上がり厚さに達した際、前記研削送り手段を停止し該ウエーハに対する研削を終了し、
前記所定の下限値Dthは、6mmであることを特徴とする研削装置の制御方法。 - 前記平均値データ出力間隔Aが2種類以上設定されたタイミングテーブルを有し、前記研削送り速度βによって前記タイミングテーブルから対応する平均値データ出力間隔Aが選定されることを特徴とする請求項1に記載の研削装置の制御方法。
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