JP4907858B2 - 圧電アクチュエータ、その製造方法及び印刷ヘッド - Google Patents
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Description
(1)鉛を含む圧電セラミック層を一対の電極で挟持するとともに、該一対の電極のうち少なくとも一方が基板または他の圧電ラミック層とともに挟持された内部電極を構成し、該内部電極が銀を含むとともに、前記一対の電極に挟持された前記圧電セラミック層と前記内部電極とを同時に焼成してなる圧電アクチュエータにおいて、前記一対の電極に挟持されたに前記圧電セラミック層が、前記鉛と硫黄とを含む異相を含有しており、EPMA(電子プローブX線マイクロアナライザー)波長分散型分析法によって400μm 2 の領域内で観察される前記異相の数が1〜5個であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
(2)前記圧電セラミック層にバリウム又はストロンチウムを含むことを特徴とする上記(1)に記載の圧電アクチュエータ。
(3)前記異相の平均径が0.05〜2.5μmであることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載の圧電アクチュエータ。
(4)前記圧電セラミック層と内部電極とがそれぞれ複数ずつ積層された圧電積層体からなることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
原料粉末として高純度のPb2O3、ZrO2、TiO2、BaCO3、ZnO、SrCO3、Sb2O3、NiO、TeO2の各原料粉末を、焼結体が下記式で表される組成となるように、所定量秤量し、さらに、この組成に対して表1に示す量比の過剰Pbを添加した。
(式中、x=0.04、y=0.02、a=0.075、b=0.005、c=0.4.2である。)
ここで、BaCO3原料粉末には、BaSO4を0.01質量%〜0.15質量%含むものを準備し、比較評価した。
これらの試験結果を表1に示した。
2・・・基板
4・・・圧電セラミック層
5・・・内部電極
6・・・個別電極
7・・・変位素子
13・・・流路部材
13a・・・インク流路
13b・・・隔壁
18・・・吐出孔
19・・・ノズル板
Claims (5)
- 鉛を含む圧電セラミック層を一対の電極で挟持するとともに、該一対の電極のうち少なくとも一方が基板または他の圧電ラミック層とともに挟持された内部電極を構成し、該内部電極が銀を含むとともに、前記一対の電極に挟持された前記圧電セラミック層と前記内部電極とを同時に焼成してなる圧電アクチュエータにおいて、
前記一対の電極に挟持された前記圧電セラミック層が、前記鉛と硫黄とを含む異相を含有しており、EPMA波長分散型分析法によって400μm 2 の領域内で観察される前記異相の数が1〜5個であることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記圧電セラミック層にバリウム又はストロンチウムを含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記異相の平均径が0.05〜2.5μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電セラミック層と前記内部電極とがそれぞれ複数ずつ積層された圧電積層体からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータが、インク吐出孔を有する複数のインク流路が配列された流路部材上に取り付けられていることを特徴とする印刷ヘッド。
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