JP5178065B2 - 圧電セラミックス、圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
2・・・PZT相
3・・・ジルコニア
3a・・・PZT相に内包されたジルコニア
3b・・・PZT相の粒界にあるジルコニア
51・・・圧電アクチュエータ
52・・・振動板
53・・・流路部材
53a・・・液体加圧室
53b・・・隔壁
54・・・共通電極
54a・・・共通電極接続部
55・・・圧電セラミック層
55a・・・駆動部(圧電セラミック層)
55b・・・非駆動部(圧電セラミック層)
55c・・・拘束部(圧電セラミック層)
56・・・個別電極
56a・・・個別電極接続部
57・・・変位素子
58・・・液体吐出口
Claims (6)
- 主結晶粒子がジルコニアを内包したPZT相からなり、該PZT相に内包されている前記ジルコニアがジルコニア成分の1%以上であることを特徴とする圧電セラミックス。
- 前記ジルコニアを0.01体積%以上含有することを特徴とする請求項1記載の圧電セラミックス。
- 前記ジルコニアの平均粒子径D1と前記主結晶粒子の平均粒子径D2との比D1/D2が0.016〜0.07であることを特徴とする請求項1または2記載の圧電セラミックス。
- 焼結体である請求項1から3のいずれかに記載の圧電セラミックス。
- 請求項1から4のいずれかに記載の圧電セラミックスの表面および内部のいずれかに一対の電極を互いに対向させて配置したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 複数の液体加圧室と該複数の液体加圧室に連通した複数の液体吐出孔とを有する流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように振動板を積層し、該振動板上に共通電極、請求項1から4のいずれかに記載の圧電セラミックスの層、および複数の個別電極をこの順に積層したことを特徴とする液体吐出ヘッド。
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JP2007169709A JP5178065B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 圧電セラミックス、圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッド |
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