JP4869575B2 - シール - Google Patents
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Description
すなわち、本発明は、
(1)開閉し得る2つの部材の一方の部材に取り付けて、該2つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該2つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第1の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第2の周溝部と、該第2の周溝部と前記第1の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第2の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第1の周溝部があり溝であり、
前記第2の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第1の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール、
(2)開閉し得る2つの部材の一方の部材に取り付けて、該2つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該2つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第1の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第2の周溝部と、該第2の周溝部と前記第1の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第2の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第1の周溝部が少なくとも最底の溝があり溝からなる多段溝であり、
前記第2の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、かつ、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第1の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されていることを特徴とする、シール、
(3)多段溝が2段溝である、上記(2)請求項2記載のシール、
(4)2段溝がともにあり溝である、上記(3)記載のシール、
(5)シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムが、本体金具の第2の周溝部を注入口として、該第2の周溝部、連通孔及び第1の周溝部へとゴム材料を注入、成形して一体に形成された単一のゴム成形体からなる、上記(1)〜(4)のいずれか一つに記載のシール、
(6)シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムがフッ素ゴム系のゴム材料からなる、上記(1)〜(5)のいずれか一つに記載のシール、
(7)略平板状の本体金具の主面が長方形又は正方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であり、
第1及び第2の周溝部は、それぞれ、本体金具の主面の直線状の辺に沿う直線溝部と、湾曲状の辺に沿う曲線溝部とを有し、第1及び第2の周溝部の直線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチが、第1及び第2の周溝部の曲線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチよりも小さいことを特徴とする、上記(1)〜(6)のいずれか一項記載のシール、及び
(8)半導体製造装置または液晶製造装置のチャンバゲート部で使用されるゲートシール用である、上記(1)〜(7)のいずれか一つに記載のシール、に関する。
また、本体金具の他方の主面に設けた止めゴム装着用の第2の周溝部を注入口にして第2の周溝部、連通孔、第1の周溝部へとゴム材料を注入し、該ゴム材料を成形してシールゴムとブリッジゴムとこれらを繋ぐ止めゴムとが一体となった単一のゴム成形体を形成することによってシールゴムを第1の周溝部に装着するため、大型のシールを構成する場合や第1の周溝部のあり溝が複雑な形状である場合にも、シールゴムをあり溝を有する第1の周溝部に比較的簡単に装着することができる。
また、本発明のシールは、第1の周溝部を少なくとも最底の溝があり溝からなる多段溝で構成することによって、シールゴムの第1の周溝部からの離脱、シールゴムの変形等がより高いレベルで抑制され、また、溝全体の深さを大きくできることから、第1の周溝部に装着されるシールゴムはゴム弾性に富み、相手部材に対してより良好な密着性を示すため、優れたシール性能がより長期間維持されるシールを得ることができる。
図1〜5は本発明のシールの第1の例を示し、図1及び図5はその平面図、図2は図1中のII−II線における断面図、図3(a)は図1中のIIIa−IIIa線における断面図、図3(b)は図1中のIIIb−IIIb線における断面図、図4は図3(a)中の要部(一点鎖線で囲んだ部分)の拡大図である。なお、図1はシールゴムの装着側の平面図であり、図5は止めゴム装着側の平面図である。
1A、1B 主面
2 第1の周溝部
3 シールゴム
3A シールリップ部
4 第2の周溝部
5 連通孔
6 止めゴム
7 ブリッジゴム
100 シール
Claims (6)
- 開閉し得る2つの部材の一方の部材に取り付けて、該2つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該2つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第1の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第2の周溝部と、該第2の周溝部と前記第1の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第2の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第1の周溝部があり溝であり、
前記シールゴムは、前記第1の周溝部の開口から先端部が突出する凸状のシールリップ部と、該シールリップ部の両側に溝を隔てて配置された2つの突出片とを有し、該2つの突出片は、その外側面が前記第1の周溝部の内側面に密着し、その先端面が前記略平板状の本体金具の一方の主面と面一になる形状であり、
前記第2の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、該溝の側面の傾斜角度が1〜10°となっており、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第1の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されており、
シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムが、本体金具の第2の周溝部を注入口として、該第2の周溝部、連通孔及び第1の周溝部へとゴム材料を注入、成形して一体に形成された単一のゴム成形体からなることを特徴とする、シール。 - 開閉し得る2つの部材の一方の部材に取り付けて、該2つの部材が閉状態のときにシールゴムが他方の部材に圧接することによって該2つの部材間を密閉するシールであって、
略平板状の本体金具の一方の主面に設けられた第1の周溝部にシールゴムが装着され、前記本体金具は、他方の主面に設けられた第2の周溝部と、該第2の周溝部と前記第1の周溝部とを連通させる複数の連通孔とを有し、該第2の周溝部には止めゴムが配置され、かつ、該止めゴムと前記シールゴムとが前記複数の連通孔内に配置されるブリッジゴムとともに一体化されており、
前記第1の周溝部は最底の溝があり溝からなり、開口側の溝が溝幅が一定の矩形の輪郭を有する溝からなる多段溝であり、
前記シールゴムは、前記第1の周溝部の開口から先端部が突出する凸状のシールリップ部と、該シールリップ部の両側に溝を隔てて配置された2つの突出片とを有し、該2つの突出片は、その外側面が前記第1の周溝部の開口側の溝の内側面に密着し、その先端面が前記略平板状の本体金具の一方の主面と面一になる形状であり、
前記第2の周溝部が溝開口側から溝底面側へと順次溝幅が減少するように内側面が傾斜した溝であり、該溝の側面の傾斜角度が1〜10°となっており、該溝底面の溝幅と連通孔の内径が実質的に同一であり、
前記シールゴムが前記第1の周溝部に該溝内の略全域を充填するように装着されており、
シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムが、本体金具の第2の周溝部を注入口として、該第2の周溝部、連通孔及び第1の周溝部へとゴム材料を注入、成形して一体に形成された単一のゴム成形体からなることを特徴とする、シール。 - 多段溝が2段溝である、請求項2記載のシール。
- シールゴム、止めゴム及びブリッジゴムがフッ素ゴム系のゴム材料からなる、請求項1〜3のいずれか一項記載のシール。
- 略平板状の本体金具の主面が長方形又は正方形の四隅を湾曲線に置き換えた形状であり、
第1及び第2の周溝部は、それぞれ、本体金具の主面の直線状の辺に沿う直線溝部と、湾曲状の辺に沿う曲線溝部とを有し、第1及び第2の周溝部の直線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチが、第1及び第2の周溝部の曲線溝部を連通させる連通孔の形成ピッチよりも小さいことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項記載のシール。 - 半導体製造装置または液晶製造装置のチャンバゲート部で使用されるゲートシール用である、請求項1〜5のいずれか一項記載のシール。
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