JP4865306B2 - テープ貼り機 - Google Patents
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Description
上面が開放したハウジングと、
該ハウジング内に配設されウエーハを吸引保持する保持面を有し該保持面に開口する吸引孔を備えた複数個のウエーハ保持部を具備するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上側に配設され上面に該環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、該フレーム保持部の内側に該複数個のウエーハ保持部をそれぞれ遊嵌する複数個の嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、
該ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材と、該押圧部材の外側に形成され該フレーム保持部とで該環状のフレーを挟持するフレーム抑え部を備えた押圧手段と、
該チャックテーブルを該ウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめ、該チャックテーブルの複数のウエーハ保持部の上端部がウエーハ位置決め枠体に設けられた複数個の嵌挿穴の下部に嵌合するウエーハ載置位置と、該チャックテーブルの複数のウエーハ保持部の保持面が該ウエーハ位置決め枠体の上面と略同一高さの貼着位置に位置付ける進退手段と、
該ハウジング内に連通された第1の減圧手段と、
該チャックテーブルの該吸引孔に連通された第2の減圧手段と、
該押圧手段における該フレーム抑え部の内側に形成される室に連通された第3の減圧手段と、を具備し、
該第1の減圧手段の設定圧力(P1)と該第2の減圧手段の設定圧力(P2)と該第3の減圧手段の設定圧力(P3)は、P2<P1<P3に設定されている、
ことを特徴とするテープ貼り機が提供される。
また、上記ウエーハ位置決め枠体のフレーム保持部および押圧手段のフレーム抑え部には、上記環状のフレームの下面および上面をシールする環状のシール部材がそれぞれ装着されていることが望ましい。
また、本発明によれば、第1の減圧手段の設定圧力(P1)と第2の減圧手段の設定圧力(P2)と第3の減圧手段の設定圧力(P3)は、P2<P1<P3に設定されているので、第1の減圧手段を作動することにより粘着テープにおける複数の嵌挿穴に対応する領域が下方に膨出した形態となっているため、複数個のウエーハは中央部から外周に向けて順次粘着テープに貼着されていくので、複数個のウエーハと粘着テープとの間に気泡が介在されることなく複数個のウエーハをテープに貼着することができる。更に、本発明においては、第3の減圧手段を作動することにより粘着テープの上面にも負圧を作用せしめるので粘着テープが異常に膨出して破損することがないので、ハウジング内を真空に近くなるまで減圧することが可能となる。従って、複数個のウエーハと粘着テープとの間に気泡が介在することを確実に防止できる。
図1乃至図3に示すテープ貼り機は、上面が開放された箱状のハウジング2と、ウエーハを保持するチャックテーブル3と、該チャックテーブル3を後述するウエーハ載置位置と該ウエーハ載置位置より高いウエーハ貼着位置に位置付ける進退手段4と、ウエーハを位置決めするとともに後述する環状のフレームを支持するウエーハ位置決め枠体5と、該ウエーハ位置決め枠体5の上面に向けて押圧する押圧部材を備えた押圧手段6を具備している。ハウジング2は、図示の実施形態においては直方体状に形成されており、その上面は正方形に形成され開放して構成されている。なお、ハウジング2の側壁21には接続管211が配設されており、この接続管211が図3に示すように配管34を介して第1の減圧手段7aに接続されている。従って、第1の減圧手段7aは、配管34および接続管211を介してハウジング2内に連通される。
第1の減圧手段7aの設定圧力は、第2の減圧手段7bの設定圧力より高く第3の減圧手段7cの設定圧力より低く設定されており、図示の実施形態においては20kPaに設定されている。第2の減圧手段7bの設定圧力は最も低く、図示の実施形態においては10kPaに設定されている。第3の減圧手段7cの設定圧力は最も高く、図示の実施形態においては30kPaに設定されている。即ち、第1の減圧手段7aの設定圧力(P1)と第2の減圧手段7bの設定圧力(P2)と第3の減圧手段7cの設定圧力(P3)は、P2<P1<P3に設定されている。
ここで、ウエーハおよび該ウエーハを貼着するための環状のフレームに装着された粘着テープについて説明する。
図5には複数個(上記チャックテーブル3の複数個のウエーハ保持部32の数に相当する7個)の光デバイスウエーハ10が示されている。この光デバイスウエーハ10は、サファイヤからなる基板の表面10aに複数の光デバイス101がマトリックス状に形成されている。
図6には、ステンレス鋼等の金属材によって形成された環状のフレーム8の一方の面(図6において上面)に粘着テープ9が装着された状態が示されている。
先ず、図1に示すようにテープ貼り機の押圧手段6をヒンジ66を中心として上方に回動して開ける。このとき、チャックテーブル3は、上述したウエーハ載置位置に位置付けられている。
そして、進退手段4を作動してチャックテーブル3を上述したウエーハ載置位置に戻すとともに、押圧手段6を図1に示す開状態とする。
なお、上述した実施形態においては、複数個のウエーハを貼着する例を示したが、本発明は1個のウエーハを所定位置に確実に貼着するためのテープ貼り機に適用してもよい。
3:チャックテーブル
32:ウエーハ保持部
4:進退手段
41:エアシリンダ
5:ウエーハ位置決め枠体
51:フレーム保持部
52:嵌挿穴
53:シール部材
6:押圧手段
61:押圧部材
62:蓋体
63:支持支柱
64:コイルスプリング
65:シール部材
66:ヒンジ
7a:第1の減圧手段
7b :第2の減圧手段
7c :第3の減圧手段
8:環状のフレーム
9:粘着テープ
10:光デバイスウエーハ
Claims (2)
- 環状のフレームに装着された粘着テープに複数個のウエーハを貼着するテープ貼り機であって、
上面が開放したハウジングと、
該ハウジング内に配設されウエーハを吸引保持する保持面を有し該保持面に開口する吸引孔を備えた複数個のウエーハ保持部を具備するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上側に配設され上面に該環状のフレームを保持するフレーム保持部を備えるとともに、該フレーム保持部の内側に該複数個のウエーハ保持部をそれぞれ遊嵌する複数個の嵌挿穴を備えたウエーハ位置決め枠体と、
該ウエーハ位置決め枠体の上面に向けて押圧する押圧部材と、該押圧部材の外側に形成され該フレーム保持部とで該環状のフレーを挟持するフレーム抑え部を備えた押圧手段と、
該チャックテーブルを該ウエーハ位置決め枠体に対して進退せしめ、該チャックテーブルの複数のウエーハ保持部の上端部がウエーハ位置決め枠体に設けられた複数個の嵌挿穴の下部に嵌合するウエーハ載置位置と、該チャックテーブルの複数のウエーハ保持部の保持面が該ウエーハ位置決め枠体の上面と略同一高さの貼着位置に位置付ける進退手段と、
該ハウジング内に連通された第1の減圧手段と、
該チャックテーブルの該吸引孔に連通された第2の減圧手段と、
該押圧手段における該フレーム抑え部の内側に形成される室に連通された第3の減圧手段と、を具備し、
該第1の減圧手段の設定圧力(P1)と該第2の減圧手段の設定圧力(P2)と該第3の減圧手段の設定圧力(P3)は、P2<P1<P3に設定されている、
ことを特徴とするテープ貼り機。 - 該ウエーハ位置決め枠体のフレーム保持部および該押圧手段の該フレーム抑え部には、該環状のフレームの下面および上面をシールする環状のシール部材がそれぞれ装着されている、請求項1記載のテープ貼り機。
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