JP4862415B2 - 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 - Google Patents
空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4862415B2 JP4862415B2 JP2006025923A JP2006025923A JP4862415B2 JP 4862415 B2 JP4862415 B2 JP 4862415B2 JP 2006025923 A JP2006025923 A JP 2006025923A JP 2006025923 A JP2006025923 A JP 2006025923A JP 4862415 B2 JP4862415 B2 JP 4862415B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical filter
- wavelength
- spatial light
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/002—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements the movement or the deformation controlling the frequency of light, e.g. by Doppler effect
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B21/00—Projectors or projection-type viewers; Accessories therefor
- G03B21/005—Projectors using an electronic spatial light modulator but not peculiar thereto
- G03B21/006—Projectors using an electronic spatial light modulator but not peculiar thereto using LCD's
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B2205/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
- G03B2205/0053—Driving means for the movement of one or more optical element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
3,52 空間光変調装置
4 投射レンズ
10,60 素子
11 基板
11a マイクロレンズ
12 回転板
13 光学フィルタ
15 トーションヒンジ
62 可動板
Claims (11)
- 入射光を受けて前記入射光を入力信号に応じて変調する空間光変調装置であって、
基板に対して角度に関する姿勢が変化し得る可動部を有するマイクロアクチュエータを複数有し、当該複数のマイクロアクチュエータの前記可動部が前記基板の一方の面側に1次元状又は2次元状に配置されたマイクロアクチュエータアレーと、
前記各マイクロアクチュエータの前記可動部に設けられ波長選択特性を持つ透過型又は反射型の光学フィルタであって、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度に応じて前記波長選択特性が変化する光学フィルタと、
前記入力信号に応じて前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記各マイクロアクチュエータに関して、前記入力信号に応じて、当該マイクロアクチュエータの前記光学フィルタが前記入射光のうちの所定波長領域内の少なくとも一部の波長帯の光を通過させる第1の状態及び前記入射光のうちの前記所定波長領域内の光を実質的に通過させない第2の状態のうちの選択された状態となるように、当該マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御し、
前記各光学フィルタが前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記第1の状態で通過させる光は、互いに実質的に同じ波長成分の光であり、
前記入射光の前記所定波長領域内の光は、離散的な複数の波長帯の光からなり、
前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として離散的な複数の通過波長帯を持つバンドパス特性を有し、
前記各光学フィルタに関して、前記第1の状態で前記入射光の前記複数の波長帯の光が当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯とそれぞれ重なるように、当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯が設定された、
ことを特徴とする空間光変調装置。 - 前記入射光を構成する前記離散的な複数の波長帯の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光であることを特徴とする請求項1記載の空間光変調装置。
- 前記所定波長領域が可視領域であることを特徴とする請求項1又は2記載の空間光変調装置。
- 前記制御部は、前記各マイクロアクチュエータに関して、所定周期における当該マイクロアクチュエータの前記第1の状態の積算時間と前記第2の状態の積算時間との比が前記入力信号が示す当該マイクロアクチュエータの前記光学フィルタを通過すべき光の階調に応じて設定されるように、各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の空間光変調装置。
- 前記各光学フィルタが前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記第1の状態で通過させる光は、赤色、緑色及び青色のうちのいずれか1つの色の波長帯の光であるか、赤色、緑色及び青色のうちのいずれか2つの色の波長帯の光であるか、あるいは、赤色、緑色及び青色の全ての色の波長帯の光であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の空間光変調装置。
- 前記各光学フィルタは、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度が同じである場合において互いに実質的に同一の波長選択特性を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の空間光変調装置。
- 前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は、トーションヒンジにより前記基板に対して所定の回転軸回りに回転可能に支持された回転部を含み、
前記少なくとも1つのマイクロアクチュエータは、前記回転部に少なくとも一方の回転方向への付勢力を付与し得る付勢力付与部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の空間光変調装置。 - 前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は片持ち梁構造を持ち、当該可動部は所定の姿勢に復帰しようとする復帰力が生ずるように設けられ、当該可動部は前記復帰力に抗した駆動力を生じ得る駆動力発生部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の空間光変調装置。
- 前記各光学フィルタは透過型の光学フィルタであり、
前記基板は、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記各光学フィルタが通過させる波長成分の光に対して透明であり、
前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記各光学フィルタが通過させる波長成分の光が前記基板を透過した後に前記各光学フィルタに入射するか、あるいは、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記各光学フィルタが通過させる波長成分の光が前記各光学フィルタを透過した後に前記基板を透過する、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の空間光変調装置。 - 前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記各光学フィルタが通過させる波長成分の光が前記基板を透過した後に前記各光学フィルタに入射し、
前記基板における前記入射光の入射側に、前記入射光を前記光学フィルタに集光するマイクロレンズが形成されたことを特徴とする請求項9記載の空間光変調装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の空間光変調装置を備えたことを特徴とする投射型又は直視型の表示装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006025923A JP4862415B2 (ja) | 2006-02-02 | 2006-02-02 | 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 |
PCT/JP2007/051839 WO2007088988A1 (ja) | 2006-02-02 | 2007-01-29 | 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006025923A JP4862415B2 (ja) | 2006-02-02 | 2006-02-02 | 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007206434A JP2007206434A (ja) | 2007-08-16 |
JP4862415B2 true JP4862415B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=38327554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006025923A Active JP4862415B2 (ja) | 2006-02-02 | 2006-02-02 | 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4862415B2 (ja) |
WO (1) | WO2007088988A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011138888A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Nikon Corp | 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
WO2011080883A1 (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社ニコン | 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
JP5630015B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-11-26 | 株式会社ニコン | 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3178216B2 (ja) * | 1994-02-17 | 2001-06-18 | 凸版印刷株式会社 | 回折格子デバイスからなるディスプレイ |
JPH09101468A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラー式変形可能ミラーデバイス及び投射型画像表示装置 |
JPH1073774A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Sony Corp | 色可変装置及びプロジエクタ装置 |
JP2002122809A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Canon Inc | 投射型表示装置 |
JP3780885B2 (ja) * | 2001-09-04 | 2006-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 反射型表示装置及び電子機器 |
US6747785B2 (en) * | 2002-10-24 | 2004-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | MEMS-actuated color light modulator and methods |
JP4162606B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2008-10-08 | 富士フイルム株式会社 | 光変調素子、光変調素子アレイ、及び画像形成装置 |
-
2006
- 2006-02-02 JP JP2006025923A patent/JP4862415B2/ja active Active
-
2007
- 2007-01-29 WO PCT/JP2007/051839 patent/WO2007088988A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007088988A1 (ja) | 2007-08-09 |
JP2007206434A (ja) | 2007-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3888075B2 (ja) | 光スイッチング素子、光スイッチングデバイス、および画像表示装置 | |
JP4131218B2 (ja) | 表示パネル、及び表示装置 | |
US7324254B2 (en) | High efficiency micro-display system | |
JP2004163817A (ja) | プロジェクタ | |
JP2002221678A (ja) | 光スイッチングデバイス、その製造方法および画像表示装置 | |
TW200406633A (en) | MEMS-actuated color light modulator and methods | |
JP2005010280A (ja) | カラーフィルタアレイ及びその製造方法、表示装置、投射型表示装置 | |
JPWO2006082901A1 (ja) | 透過光量可変素子および投射型表示装置 | |
WO2016132643A1 (ja) | 光学シート、表示装置および電子機器 | |
JP2008197386A (ja) | プロジェクタ | |
JP2010271443A (ja) | プロジェクタ及び映像表示方法 | |
JP4862415B2 (ja) | 空間光変調装置及びこれを用いた表示装置 | |
TWI632416B (zh) | 顯示面板 | |
JP2010197778A (ja) | 光制御装置とその製造方法、電気光学装置、及び電子機器 | |
JP4915092B2 (ja) | 可変フィルタ装置及び投射型表示装置 | |
JP2009069422A (ja) | 液晶表示素子および投射型液晶表示装置 | |
WO2020203313A1 (ja) | 表示装置およびレンズアレイ | |
JP5360188B2 (ja) | シャッタ装置 | |
JP2004272170A (ja) | 光学シフト素子およびそれを備えた画像表示装置ならびに投影型画像表示装置 | |
JP2002148528A (ja) | フィルタ、照明装置および画像表示装置 | |
JP5452799B2 (ja) | 単位シャッタ機構、単位シャッタ機構を含むシャッタ構造物、及びシャッタ構造物を含む露光装置 | |
JPH11160635A (ja) | 光学素子及びその製造方法並びにそれを用いた装置 | |
JP2024102728A (ja) | 虚像表示装置及び頭部装着型表示装置 | |
JP5533266B2 (ja) | 照明光学系及びこの照明光学系を用いたプロジェクタ装置 | |
JP2024102491A (ja) | 虚像表示装置及び頭部装着型表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111011 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111024 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4862415 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |