JP4860966B2 - 露光パターンの転写方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、露光パターンを高効率で基板に転写することのできる露光パターンの転写方法及び露光装置を提供することを目的とするものである。
請求項2の発明は、請求項1記載の露光パターンの転写方法に用いられる露光装置であって、前記マスクステージの下方に位置する中央ベース部と、この中央ベース部の両側に位置する二つのサイドベース部とからなり、これら三つのベース部を分割可能にしたベースを有することを特徴とする。
請求項2の発明によれば、露光装置のベースを三つに分割して輸送できるため、輸送コストの低減等を図ることができる。
本発明に係る露光パターンの転写方法に用いられる露光装置の一例を図1〜図6に示す。図1及び図2において、符号10は露光装置であって、この露光装置10はベース12、基板ステージ搬送台14,16、第1の基板ステージ22、第2の基板ステージ24及びマスクステージ34を備えている。
第2の搬送台送り機構20はボールねじ201を有しており、このボールねじ201のナット(図示せず)は第2の基板ステージ搬送台16に固定されている。また、第2の搬送台送り機構20はボールねじ201のねじ軸を回転駆動する駆動モータ202を有しており、この駆動モータ202はベース12に固定されている。
マスクステージ34は矩形状の開口窓341(図1参照)を中央部に有しており、この開口窓341には、マスクMを保持するマスクホルダ36が取り付けられている。開口窓上方には露光光源が配置されており、露光用の光が照射される。
なお、上述したプロキシミティ露光装置において、テーブル駆動用のサーボモータ+ボールねじ+ブラケットは、リニアモータ駆動に置き換えることも可能である。
12 ベース
121 中央ベース部
122,123 サイドベース部
14,16 基板ステージ搬送台
18 第1の搬送台送り機構
20 第2の搬送台送り機構
22 第1の基板ステージ
24 第2の基板ステージ
26 第1の基板ステージ送り機構
28 第2の基板ステージ送り機構
30,32 基板ステージ昇降機構
34 マスクステージ
36 マスクホルダ
Claims (2)
- マスクと基板とを近接させた状態で基板に露光パターンを転写する方法であって、二つの基板ステージと一つのマスクステージとを有し、かつ前記二つの基板ステージが前記マスクステージの下方位置から前記マスクステージの前後方向または左右方向に移動可能な露光装置を用いて前記基板に露光パターンを転写するに際し、マスクに形成された露光パターンが一方の基板ステージ上にセットされた基板に転写された後に、当該一方の基板ステージをマスクステージの下方位置からマスクステージの前後方向または左右方向にある元の位置に復帰させ、次に、未露光の基板がセットされてマスクステージの前後方向または左右方向にある位置にある他方の基板ステージをマスクステージの下方位置に移動させるとともに、未露光の基板を元の位置にある前記一方の基板ステージ上にセットさせることを特徴とする露光パターンの転写方法。
- 請求項1記載の露光パターンの転写方法に用いられる露光装置であって、前記マスクステージの下方に位置する中央ベース部と、この中央ベース部の両側に位置する二つのサイドベース部とからなり、これら三つのベース部を分割可能にしたベースを有することを特徴とする露光装置。
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