JP4837642B2 - 基板搬送位置の位置合わせ方法、基板処理システムおよびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせを行う基板搬送位置の位置合わせ方法であって、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と
を備えている。
基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材までの距離を計測する距離計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせを行う基板搬送位置の位置合わせ方法であって、
前記距離計測手段により、前記計測位置から前記計測対象部材までの距離を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記距離計測手段により、前記計測位置から前記計測対象部材までの距離を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と
を備えている。
基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶するとともに、前記位置計測手段により計測された、前記載置台が常温の状態と加熱された状態における前記計測対象部材の位置の測定結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算し、前記変位量に基づき、ティーチングにより記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えている。
コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶された記憶媒体であって、前記制御プログラムは、
基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせ方法が行われるように制御するものであり、
前記基板搬送位置の位置合わせ方法は、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と、
を備えたものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。まず、図1および図2を参照して本発明の実施の形態に係る基板処理システムについて説明を行う。図1は、例えば基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記す)Wに対し、例えば成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行なうように構成された基板処理システム100を示す概略構成図である。図2は、図1の基板処理システム100の内部の構成を示す要部断面図である。この基板処理システム100は、マルチチャンバ構造のクラスタツールとして構成されている。
次に、図7を参照しながら、本発明の第2の実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法について説明する。図7は、本実施の形態において、変位センサ39を利用して載置台2bの支持ピン15を計測する際の計測位置を示す説明図である。第1の実施の形態では、載置台2bの任意の1本の支持ピン15を計測対象としたが、本実施形態では、3本の支持ピン15について、それぞれ別個に計測対象とした。なお、説明の便宜上、図7では、3本の支持ピンをそれぞれ符号15a、15b、15cと区別して記載した。
次に、図8および図9を参照しながら、本発明の第3の実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法について説明する。図8は、本実施の形態で用いられる載置台2bの平面図であり、図9は載置台2bの要部断面図である。本実施形態では、支持ピン15に代えて、載置台2bの中央部に計測対象部材としての反射板(位置計測用部材)111を設けた。
次に、図10および図11を参照しながら、本発明の第4の実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法について説明する。図10は、本実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法の手順の概略を説明するフロー図である。図11は、本実施の形態において、変位センサ39を利用して載置台2bの支持ピン15を計測する際の計測位置を示す説明図である。第1の実施の形態では、載置台2bの支持ピン15の位置を計測したが、本実施形態では、真空側の搬送室3における基準位置がある搬送アーム部33の旋回中心軸RO上の計測位置Aから、いずれかの支持ピン15(図11では支持ピン15a)までの距離を計測する。
次に、図12および図13を参照しながら、本発明の第5の実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法について説明する。図12は、本実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法の手順の概略を説明するフロー図である。図13は、本実施の形態において、変位センサ39を利用して載置台2bの支持ピン15を計測する際の計測位置を示す説明図である。第4の実施の形態では、載置台2bの任意の1本の支持ピン15を計測対象として距離を求めたが、本実施形態では、3本の支持ピン15a、15b、15cについて、それぞれ別個に計測対象とした。
次に、図14を参照しながら、本発明の第6の実施の形態に係る基板搬送位置の位置合わせ方法について説明する。図14は、本実施の形態において、変位センサ39を利用して載置台2bの支持ピン15を計測する際の計測位置を示す説明図である。第1の実施の形態では、載置台2bの任意の1本の支持ピン15を計測対象としたが、本実施形態では、変位センサ39として二次元レーザ方式の変位センサを用いることにより、3本の支持ピン15を同時に計測対象とした。なお、説明の便宜上、図14では、3本の支持ピンをそれぞれ符号15a、15b、15cと区別して記載した。
Claims (8)
- 基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせを行う基板搬送位置の位置合わせ方法であって、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と
を備えた基板搬送位置の位置合わせ方法。 - 前記計測位置が、前記基板搬送装置の旋回中心軸上、または該旋回中心軸を基準として前記レーザ光の照射方向に直交する方向に所定の距離離れた位置であることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送位置の位置合わせ方法。
- 前記計測対象部材が、基板の受け渡しの際に基板を支持するために前記載置台の表面に対して突没自在に設けられた支持部材であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板搬送位置の位置合わせ方法。
- 前記支持部材には、前記レーザ光を反射する平坦な反射面が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送位置の位置合わせ方法。
- 前記計測対象部材が、前記レーザ光を反射する平坦な反射面を有し、前記載置台の表面に対して突没自在に設けられた位置計測用部材であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板搬送位置の位置合わせ方法。
- 基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材までの距離を計測する距離計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせを行う基板搬送位置の位置合わせ方法であって、
前記距離計測手段により、前記計測位置から前記計測対象部材までの距離を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記距離計測手段により、前記計測位置から前記計測対象部材までの距離を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と
を備えた基板搬送位置の位置合わせ方法。 - 基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶するとともに、前記位置計測手段により計測された、前記載置台が常温の状態と加熱された状態における前記計測対象部材の位置の測定結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算し、前記変位量に基づき、ティーチングにより記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システム。 - コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記制御プログラムは、
基板を載置する載置台を有して基板に対して所定の処理を行う処理装置と、
基板を保持する保持部材を有して前記処理装置への基板の搬送動作を行う基板搬送装置と、
所定の計測位置から前記載置台へ向けてレーザ光を照射し、その反射光を検出することにより前記載置台に設けられた計測対象部材の位置を計測する位置計測手段と、
前記保持部材と前記載置台との間で基板を受け渡す際の基準となる前記載置台の中心の位置座標を記憶して前記基板搬送装置による基板の搬送を制御する制御部と、
を備えた基板処理システムにおいて前記基板搬送装置による基板搬送位置の位置合わせ方法が行われるように制御するものであり、
前記基板搬送位置の位置合わせ方法は、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が常温の状態で計測する第1の計測工程と、
前記位置計測手段により、前記計測対象部材の位置を前記載置台が加熱された状態で計測する第2の計測工程と、
前記第1の計測工程の結果と前記第2の計測工程の結果に基づき、常温状態の前記載置台の中心に対する加熱状態の前記載置台の中心の変位量を演算する工程と、
前記変位量に基づき前記制御部に記憶された前記載置台の中心の位置座標を補正する工程と、
を備えたものであること、を特徴とするコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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