JP4837083B2 - 付加的なバックチェンバを有する指向性シリコンコンデンサマイクロホン - Google Patents
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Description
100 シリコンコンデンサマイクロホン
110 MEMSチップ
120 ASICチップ
130 ケース
130a 前方音響ホール
140 PCB基板
140a 後方音響ホール
141 導電パターン
142、144 接続端子
146 スルーホール
148 シーリングパッド
148a シーリングパッドにより形成された音響ホール
150 チェンバ筒
150a 貫通孔
152 バックチェンバ
162 溶接点
164 接着剤
170 音響遅延体
Claims (13)
- ケースと、
該ケースに接続された基板と、
前記ケースと前記基板によって内部空間を形成することと、
前記内部空間に配置されたMEMSチップと、
該MEMSチップが第1のバックチェンバを有することと、
前記内部空間に配置されたチャンバ筒と、
前記チャンバ筒が第2のバックチェンバを有することと、
前記チャンバ筒は前記基板の上に設けられていることと、を有し、
前記第1のバックチェンバと前記第2のバックチェンバが接続するように、前記MEMSチップは前記チャンバ筒に隣接して設けられているシリコンコンデンサマイクロホン。 - 前記基板に前記MEMSチップの駆動のための特殊目的型半導体(ASIC)チップが実装されており、
前記基板は前記ケースに接続された導電パターンを有しており、
前記ケースを前記基板に固定する固定手段を有することを特徴とする請求項1記載のシリコンコンデンサマイクロホン。 - 前記ケースと前記基板を接合する接着剤を含み、該接着剤は前記固定手段により固定された前記ケースと前記基板の接合面の全体に塗布されていることを特徴とする請求項2記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記固定手段は、レーザ又はソルダの溶接により形成された溶接点を有することを特徴とする請求項3に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記接着剤は、伝導性エポキシ、非伝導性エポキシ、シルバーペースト、シリコン、ウレタン、アクリル、クリームソルダのうち何れか一つを含むことを特徴とする請求項3に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記ケースは、円筒形状または四角筒形状を有することを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記ケースの端部は、直線形状、又は、羽根を形成するように外側に曲がった形状を有することを特徴とする請求項6に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記チャンバ筒は、円筒形状チャンバ筒又は四角筒形状チャンバ筒を有し、
前記MEMSチップの第1のバックチェンバに接続された貫通孔を有することを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。 - 請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホンにおいて、前記チャンバ筒は底面と上面を有し、前記底面は前記基板に固定され、前記MEMSチップは前記上面に固定され、前記チャンバ筒の上面は、前記MEMSチップの第1のバックチェンバに接続された少なくとも1つの貫通孔を有することを特徴とするシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記基板は、PCB、セラミック基板、フレキシブルPCB、メタルPCBのうち何れか一つを含むことを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記基板は、外部回路と接続するための装着面に設けた、接続端子を有することを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記基板と前記ケースの少なくとも一方は音響ホールを有することを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
- 前記基板は音響ホールを有し、該音響ホールは、前記チャンバ筒の第2のバックチェンバに接続されていることを特徴とする請求項1に記載のシリコンコンデンサマイクロホン。
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