JP4835308B2 - 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 - Google Patents
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Description
10…印刷装置
20…検査装置
21…ラインセンサカメラ
30…乾燥装置
40…システム制御装置
Claims (14)
- カメラで撮像可能な寸法より大きい検査領域を有する検査対象物であって、複数の前記検査対象物を搬送ライン上にて搬送しつつ検査を行なう検査方法において、
一の前記検査対象物について、前記カメラで撮像可能な寸法分の撮像幅領域の撮像を行なう撮像工程であって、撮像後に前記カメラを少なくとも撮像幅寸法分移動させる移動工程を有し、前記カメラの移動後に搬送されてきた他の前記検査対象物について、前記一の検査対象物の撮像幅領域に対応する領域を除く撮像幅領域の撮像を行ない、前記検査対象物の検査領域全体の撮像が完了するまで、前記カメラの移動と撮像を繰り返し、前記複数の検査対象物に含まれる各前記検査対象物の夫々について、互いに対応しない位置の撮像幅領域毎に撮像を行う前記撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された各前記撮像幅領域の画像を前記カメラから取得して、前記検査対象物の検査領域全体の検査を行なう検査工程と、
を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項1に記載の検査方法において、
前記移動工程は、前記カメラを撮像幅寸法分だけ移動させ、
前記撮像工程は、前記カメラの移動後に、前記一の検査対象物の次に搬送されてきた前記他の前記検査対象物について、前記一の検査対象物の撮像幅領域に対応する領域と隣り合う撮像幅領域の撮像を行なうことを特徴とする検査方法。 - 請求項1又は2に記載の検査方法において、当該検査方法は、前記検査対象物に対して所定の処理が行なわれた後の前記検査対象物の検査を行なう検査方法であって、
前記複数の検査対象物を前記搬送ライン上に搬送しながら各前記検査対象物に対して順に前記所定の処理を行なう処理工程を有し、
前記撮像工程では、全ての前記検査対象物に対する前記所定の処理が終了するまでに、前記複数の検査対象物のうち、当該検査対象物の検査領域全体の撮像を行なうために撮像幅領域の撮像を行なうべき検査対象物に対する全ての撮像が終了することを特徴とする検査方法。 - 請求項3に記載の検査方法において、
前記処理工程は、各前記検査対象物に対して前記所定の処理を繰り返し行ない、
前記撮像工程は、全ての前記検査対象物に対するn回目(nは自然数)の処理が終了するまでに、前記複数の検査対象物のうち、当該検査対象物の検査領域全体の撮像を行なうために撮像幅領域の撮像を行なうべき検査対象物に対する全ての撮像を終了し、
前記検査工程は、前記撮像工程により撮像された各前記撮像幅領域の画像を前記カメラから取得して、前記検査領域全体のn回目の処理後の検査を行なうことを特徴とする検査方法。 - 請求項3又は4に記載の検査方法において、
前記検査工程は、検査結果を前記処理工程に通知する検査結果通知工程を有し、
前記処理工程は、検査結果が不良である旨の検査結果の通知を受けた場合には、前記処理を中止する中止工程を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項3乃至5のいずれか一項に記載の検査方法において、
前記検査対象物は、シート基板であって、
前記処理工程における前記所定の処理は、前記シート基板に所定の高さを有するバンプを形成すべく、当該シート基板に対して銀ペーストを印刷する印刷処理であって、
前記検査工程は、前記バンプの高さ、有無、位置等を検査することを特徴とする検査方法。 - カメラで撮像可能な寸法より大きい検査領域を有する検査対象物であって、複数の前記検査対象物を搬送ライン上にて搬送しつつ検査を行なう検査装置において、
一の前記検査対象物について、前記カメラで撮像可能な寸法分の撮像幅領域の撮像を行なう撮像手段であって、撮像後に前記カメラを少なくとも撮像幅寸法分移動させる移動手段を有し、前記カメラの移動後に搬送されてきた他の前記検査対象物について、前記一の検査対象物の撮像幅領域に対応する領域を除く撮像幅領域の撮像を行ない、前記検査対象物の検査領域全体の撮像が完了するまで、前記カメラの移動と撮像を繰り返し、前記複数の検査対象物に含まれる各前記検査対象物の夫々について、互いに対応しない位置の撮像幅領域毎に撮像を行う前記撮像手段と、
前記撮像装置により撮像された各前記撮像幅領域の画像を前記カメラから取得して、前記検査対象物の検査領域全体の検査を行なう検査手段と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項7に記載の検査装置において、
前記移動手段は、前記カメラを撮像幅寸法分だけ移動させ、かつ、
前記撮像手段は、前記カメラの移動後に、前記一の検査対象物の次に搬送されてきた前記他の前記検査対象物について、前記一の検査対象物の撮像幅領域に対応する領域と隣り合う撮像幅領域の撮像を行なうことを特徴とする検査装置。 - 請求項7又は8に記載の検査装置において、当該検査装置は、前記複数の検査対象物を前記搬送ライン上に搬送しながら処理装置によって各前記検査対象物に対して順に前記所定の処理が行なわれた後の前記検査対象物の検査を行なう検査処理システムにおける検査装置であって、
前記撮像手段は、前記処理装置による全ての前記検査対象物に対する前記所定の処理が終了するまでに、前記複数の検査対象物のうち、当該検査対象物の検査領域全体の撮像を行なうために撮像幅領域の撮像を行なうべき検査対象物に対する全ての撮像が終了することを特徴とする検査装置。 - 請求項9に記載の検査装置において、
前記処理装置は、各前記検査対象物に対して前記所定の処理を繰り返し行ない、
前記撮像手段は、前記処理装置による全ての前記検査対象物に対するn回目(nは自然数)の処理が終了するまでに、前記複数の検査対象物のうち、当該検査対象物の検査領域全体の撮像を行なうために撮像幅領域の撮像を行なうべき検査対象物に対する全ての撮像を終了し、
前記検査手段は、前記撮像手段により撮像された各前記撮像幅領域の画像を前記カメラから取得して、前記検査領域全体のn回目の処理後の検査を行なうことを特徴とする検査装置。 - 請求項9又は10に記載の検査装置において、
検査結果を前記処理装置に通知する検査結果通知手段を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項9乃至11のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記検査対象物は、シート基板であって、
前記検査処理システムに含まれる前記処理装置における前記所定の処理は、前記シート基板に所定の高さを有するバンプを形成すべく、当該シート基板に対して銀ペーストを印刷する印刷処理であって、
前記検査手段は、前記バンプの高さ、有無、位置等を検査することを特徴とする検査装置。 - 請求項9乃至12のいずれか一項に記載の検査処理システム。
- 請求項9乃至12のいずれか一項に記載の処理装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006206968A JP4835308B2 (ja) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 |
US12/373,350 US8358339B2 (en) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | Testing method, testing and processing system, processing device, testing device, manufacturing/testing device, and manufacturing/testing method |
CN2007800277154A CN101496457B (zh) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | 检查方法及检查处理*** |
KR1020147005245A KR101485471B1 (ko) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | 검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법 |
PCT/JP2007/064549 WO2008013188A1 (fr) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | Procédé d'inspection, système de traitement d'inspection, dispositif de traitement, dispositif d'inspection, dispositif de fabrication/inspection, et procédé de fabrication/inspection |
KR1020087025945A KR101446636B1 (ko) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | 검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법 |
TW103105837A TW201437629A (zh) | 2006-07-27 | 2007-07-27 | 檢測方法、檢測處理系統、處理裝置、檢測裝置、製造/檢測裝置及製造/檢測方法 |
TW096127593A TWI437226B (zh) | 2006-07-27 | 2007-07-27 | 檢測方法、檢測處理系統、處理裝置、檢測裝置、製造/檢測裝置及製造/檢測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006206968A JP4835308B2 (ja) | 2006-07-28 | 2006-07-28 | 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032564A JP2008032564A (ja) | 2008-02-14 |
JP4835308B2 true JP4835308B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=39122145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006206968A Expired - Fee Related JP4835308B2 (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-28 | 検査方法、検査装置、検査処理システム及び処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4835308B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6217614B2 (ja) * | 2014-12-11 | 2017-10-25 | トヨタ自動車株式会社 | 膜電極接合体の検査方法 |
KR101702752B1 (ko) * | 2015-05-29 | 2017-02-03 | 세메스 주식회사 | 전자 부품 검사 방법 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4053951B2 (ja) * | 2003-08-11 | 2008-02-27 | 大日本印刷株式会社 | 突起の高さ測定方法および測定装置 |
JP4238201B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2009-03-18 | 大日本印刷株式会社 | 検査方法および検査装置 |
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2006
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JP2008032564A (ja) | 2008-02-14 |
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