JP4822914B2 - 欠陥修正方法 - Google Patents
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Description
7…凹部
7a…凹部の底面
23…塗布針
23a…塗布針の先端部
24…液状樹脂
25…小片
25a…小片の平坦面
27…修正材
28…ピクセル(パターン)
28a…欠陥ピクセル(欠陥部を有するパターン)
34…平坦な面
Claims (9)
- 基板面に形成されたパターンの欠陥部に修正材を塗布して欠陥部を修正する方法であって、
前記パターンと同形状に形成され一面が平坦な樹脂製の小片を、前記平坦面を下にして針の先端部に取り付ける段階と、
前記小片の平坦面に前記修正材を付着させる段階と、
前記欠陥部を有し、塗膜が除去されて修正領域が前記パターンと同じ大きさまで拡大されたパターンに前記小片を圧接して前記修正材を転写させる段階と、
を行なうことを特徴とする欠陥修正方法。 - 前記針の先端部への小片取付段階は、両端が開口し先端部が細く形成された管からなり該管内に液状樹脂を充填した針から前記パターンと同形状の凹部に前記液状樹脂を注入し、該液状樹脂に前記針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させて前記小片を形成することを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、前記パターンと同形状の凹部に液状樹脂を注入し、該液状樹脂に先端部が細く形成された棒材又は線材からなる針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させて前記小片を形成することを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、両端が開口し先端部が細く形成された管からなり該管内に液状樹脂を充填した針から平坦な面上に前記液状樹脂を吐出し、該液状樹脂に前記針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させ、該硬化した樹脂を前記パターンと同形状にトリミングして前記小片を形成することを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、平坦な面上に液状樹脂を吐出し、該液状樹脂に先端部が細く形成された棒材又は線材からなる針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させ、該硬化した樹脂を前記パターンと同形状にトリミングして前記小片を形成することを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、両端が開口し先端部が細く形成された管からなり該管内に液状樹脂を充填した針から平坦な面上に前記液状樹脂を吐出し、該液状樹脂を硬化させた後、硬化した樹脂を前記パターン形状にトリミングして前記小片を形成し、該小片の上面に前記液状樹脂を適量吐出し、該液状樹脂に前記針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させることを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、平坦な面上に液状樹脂を吐出し、該液状樹脂を硬化させた後、硬化した樹脂を前記パターンと同形状にトリミングして前記小片を形成し、該小片の上面に前記液状樹脂を適量吐出し、該液状樹脂に先端部が細く形成された棒材又は線材からなる針の先端部を接触させた状態で前記液状樹脂を硬化させることを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、前記パターンと同形状の凹部に液状樹脂を注入し、該液状樹脂中に、両端が開口し先端部が細く形成された管からなり該管内に前記液状樹脂と硬化特性の異なる前記修正材を充填した針の先端部を該先端部が前記凹部の底面に達するまで差し入れた状態で、前記液状樹脂を硬化させて前記小片を形成することを特徴とする請求項1記載の欠陥修正方法。
- 前記針の先端部への小片取付段階は、前記修正領域を修正する際に、前記基板の設置面と略同一の平面上で行なうことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の欠陥修正方法。
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