JP4803956B2 - 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 36
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 24
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 22
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 22
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 15
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 9
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 8
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N diethyl phthalate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC FLKPEMZONWLCSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
うち少なくとも一種であり、第1b族金属がAu、Agのうち少なくとも一種であることを特徴とする。
ため、Siは結晶粒界にガラス相として存在するよりも単分子レベルで存在している方がよい。
焼結体が
Pb1−xBax(Zn1/3Nb2/3)a(Yb1/2Nb1/2)b(Co1/3Nb2/3)c(Fe2/3W1/3)dNbe[Zr0.48Ti0.52]1−a−b−c−d−eO3
(ここで、x,a,b,c,d,eは1より小さい値)
の組成になるように所定量秤量し、さらにSiO2を所定量秤量する。素原料中には不純物としてSiO2を含むが、できるだけ含有量の少ない原料を用いる。ボールミルで18時間湿式混合した後、次いで、この混合物を900℃で2時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル等で湿式粉砕する。
1a・・・柱状積層体
2・・・内部電極
3・・・絶縁体
4・・・外部電極
5・・・リード線
6・・・不活性部
7・・・導電性補助部材
31・・・収納容器
33・・・噴射孔
35・・・ニードルバルブ
37・・・燃料通路
39・・・シリンダ
41・・・ピストン
43・・・圧電アクチュエータ
45・・・皿バネ
Claims (7)
- 組成がPb 1−x Ba x (Zn 1/3 Nb 2/3 ) a (Yb 1/2 Nb 1/2 ) b (Co 1/3 Nb 2/3 ) c (Fe 2/3 W 1/3 ) d Nb e [Zr 0.48 Ti 0.52 ] 1−a−b−c−d−e O 3 (ここで、x,a,b,c,d,eは1より小さい値)を主成分とし、Si含有量が5重量ppm以上100重量ppm未満であることを特徴とする圧電セラミックス。
- 前記Siが結晶粒界に偏析し、且つこの結晶粒界の厚さが1nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電セラミックス。
- 請求項1または2記載の圧電セラミックスからなる圧電体層と内部電極層とを交互に積層したことを特徴とする積層型圧電素子。
- 前記内部電極層の金属組成物が周期表第8族金属と第1b族金属とからなることを特徴とする請求項3に記載の積層型圧電素子。
- 前記内部電極の第8族金属の含有量をM1(重量%)、第1b族金属の含有量をM2(重量%)としたとき、0<M1<15、85<M2<100であることを特徴とする請求項4に記載の積層型圧電素子。
- 前記第8族金属がPt、Pdのうち少なくとも一種であり、前記第1b族金属がAu、Agのうち少なくとも一種であることを特徴とする請求項4または5に記載の積層型圧電素子。
- 噴射孔を有する収納容器と、該収納容器内に収容された請求項3〜6のいずれかに記載の積層型圧電素子と、該積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から液体を噴出させるバルブとを具備してなることを特徴とする噴射装置。
Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003333112A JP4803956B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 |
CNA2009101302722A CN101540367A (zh) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | 积层型压电元件 |
PCT/JP2004/013796 WO2005031887A1 (ja) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | 積層型圧電素子 |
DE602004024259T DE602004024259D1 (de) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Mehrschichtiges Piezobauelement |
EP08009706A EP1988586B1 (en) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Multi-layer piezoelectric device |
EP08009705A EP1988585B1 (en) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Multi-layer piezoelectric device |
US10/573,339 US7679272B2 (en) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Multi-layer piezoelectric element |
DE602004030057T DE602004030057D1 (de) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Mehrschichtiges Piezoelektrisches Bauelement |
DE602004024104T DE602004024104D1 (de) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Mehrschichtiges piezoelektrisches bauelement |
EP04787979A EP1677369B1 (en) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | Multilayer piezoelectric device |
CNA2004800276514A CN1856885A (zh) | 2003-09-25 | 2004-09-22 | 积层型压电元件 |
US12/191,178 US7759847B2 (en) | 2003-09-25 | 2008-08-13 | Multi-layer piezoelectric device |
US12/191,191 US20080303385A1 (en) | 2003-09-25 | 2008-08-13 | Multi-Layer Piezoelectric Device |
US12/191,168 US7902726B2 (en) | 2003-09-25 | 2008-08-13 | Multi-layer piezoelectric device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003333112A JP4803956B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010250972A Division JP5328750B2 (ja) | 2010-11-09 | 2010-11-09 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005101274A JP2005101274A (ja) | 2005-04-14 |
JP4803956B2 true JP4803956B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=34461215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003333112A Expired - Fee Related JP4803956B2 (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4803956B2 (ja) |
CN (2) | CN101540367A (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5144912B2 (ja) * | 2005-09-14 | 2013-02-13 | 京セラ株式会社 | 積層圧電アクチュエータ、および印刷ヘッド |
DE102007008266A1 (de) * | 2007-02-20 | 2008-08-21 | Siemens Ag | Piezoaktor und Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors |
JP5052175B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-10-17 | 京セラ株式会社 | 積層圧電アクチュエータおよび液体吐出ヘッド |
JP5076733B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2012-11-21 | 株式会社デンソー | 積層型圧電素子 |
JP5055370B2 (ja) * | 2007-08-29 | 2012-10-24 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
CN101978519B (zh) * | 2008-01-23 | 2013-12-18 | 埃普科斯股份有限公司 | 压电多层部件 |
JP5329544B2 (ja) | 2008-07-29 | 2013-10-30 | 京セラ株式会社 | 燃料噴射システム |
WO2014119704A1 (en) * | 2013-01-29 | 2014-08-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric device, and electronic apparatus |
JP6357180B2 (ja) * | 2016-03-09 | 2018-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 磁器組成物、圧電素子、振動子、および、圧電素子の製造方法 |
JP7367290B2 (ja) * | 2018-03-06 | 2023-10-24 | 太陽誘電株式会社 | 積層型圧電素子 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2934692B2 (ja) * | 1992-01-22 | 1999-08-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電セラミックスの製造方法 |
JPH06100364A (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-12 | Ohara Inc | チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法 |
JPH08217541A (ja) * | 1995-02-08 | 1996-08-27 | Kasei Optonix Co Ltd | 圧電セラミック組成物 |
JP2001206767A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電磁器およびその製造方法 |
JP2001342062A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-11 | Kyocera Corp | 圧電磁器及び積層圧電素子並びに噴射装置 |
JP3860746B2 (ja) * | 2001-12-26 | 2006-12-20 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
JP4175535B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2008-11-05 | テイカ株式会社 | 積層圧電振動子およびその製造方法 |
JP2004202974A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Kyocera Corp | 液体流路部材 |
-
2003
- 2003-09-25 JP JP2003333112A patent/JP4803956B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-22 CN CNA2009101302722A patent/CN101540367A/zh active Pending
- 2004-09-22 CN CNA2004800276514A patent/CN1856885A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1856885A (zh) | 2006-11-01 |
CN101540367A (zh) | 2009-09-23 |
JP2005101274A (ja) | 2005-04-14 |
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