JP4791813B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
K≧πD/W
によって求め、
N及びnを0から任意の正の整数とし、該発光手段を発光させるタイミングTを、
T[秒]={60[秒]/M}N+{60[秒]/(MK)}n
によって求め、
nは0からKまで変化しうる。
K≧πD/W
によって求め、N及びnを0から任意の正の整数まで増加させ、発光部を発光させる時点Tを、
T[秒]={60[秒]/M}N+{60[秒]/(MK)}n
によって求めるため、切削ブレードの切り刃部の外周縁部の全領域を明確に認識できる画像を取得することができる。また、N及びnを変数としたことにより、これらを柔軟に設定することで、撮像のタイミングを適宜調整することができる。
K≧πD/W・・・(1)
T[秒]={60[秒]/M}N+{60[秒]/(MK)}n・・・(2)
2:操作手段 3:表示手段 4:ウェーハカセット 5:搬出入手段 6:仮置き領域
7:搬送手段 8:チャックテーブル
9:アライメント手段
90:撮像部
10:切削手段
100:ハウジング 101:スピンドル
102:切削ブレード
102a:切り刃部 102b:外周縁部
103:ナット
104:ブレードカバー 105:固定ユニット 106:可動ユニット
107:切削水ノズル 108:切削水流入部 109:発光手段
110:ピストン 111a、111b:エアー流入口 112:洗浄水ノズル
113:洗浄水流入部 114:撮像手段 115:ブラケット 116:位置調整部
117:基台 117a:細孔 118:点滅制御部 119:回転数検出部
120:光源 121:集光レンズ 122、123:反射鏡
124、125:凸レンズ 126:顕微鏡 127:撮像カメラ 128:画像処理部129:磨耗判断部 130:欠け判断部 131:高圧エアー噴出手段
132:切削ブレード検出手段
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削ブレードの切り刃部の状態を検出する切削ブレード検出手段とを少なくとも備えた切削装置であって、
該切削手段は、該切削ブレードに切削水を供給する切削水ノズルを有するブレードカバーを備え、
該切削ブレード検出手段は、
該切削ブレードの切り刃部に対して照射する光の光源と、発光した光が該切削ブレードの切り刃部に照射されるように該光を反射させる反射鏡とを含む発光手段と、
該発光手段と対面し該切削ブレードの切り刃部を撮像する撮像素子と、顕微鏡と、該発光手段から照射される光の進路上に位置して該切削ブレードを含む像を反射させ該顕微鏡に伝達する反射鏡とを含む撮像手段と
を少なくとも有し、
該発光手段及び該撮像手段は、該ブレードカバーに装着され、
撮像手段には、該切削ブレードの切り刃部の欠けの大きさが許容値を超えているかどうかを判断する欠け判断部が接続され、
該光源には、該光源を点滅させる点滅制御部が接続され、該点滅制御部は、該切削ブレードの切り刃部の直径をD[mm]、該切削ブレードの回転数をM[rpm]、該撮像手段によって取得される1画像における該切削ブレードの切り刃部の外周縁部の幅をW[mm]とし、該切削ブレードの切り刃部の外周縁部の全周を撮像するために必要な画像数Kを、
K≧πD/W
によって求め、
N及びnを0から任意の正の整数とし、該発光手段を発光させるタイミングTを、
T[秒]={60[秒]/M}N+{60[秒]/(MK)}n
によって求め、
nは0からKまで変化しうる
切削装置。
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Family Cites Families (10)
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JP3162580B2 (ja) * | 1994-08-09 | 2001-05-08 | セイコー精機株式会社 | ダイシング装置 |
JP2955936B2 (ja) * | 1998-03-06 | 1999-10-04 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP3894526B2 (ja) * | 1998-07-06 | 2007-03-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP3282145B2 (ja) * | 1998-12-21 | 2002-05-13 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP4462717B2 (ja) * | 2000-05-22 | 2010-05-12 | 株式会社ディスコ | 回転ブレードの位置検出装置 |
JP2002370140A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード監視装置 |
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