JP4790632B2 - 多軸干渉計ならびに多軸干渉計を用いる方法およびシステム - Google Patents
多軸干渉計ならびに多軸干渉計を用いる方法およびシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4790632B2 JP4790632B2 JP2006549361A JP2006549361A JP4790632B2 JP 4790632 B2 JP4790632 B2 JP 4790632B2 JP 2006549361 A JP2006549361 A JP 2006549361A JP 2006549361 A JP2006549361 A JP 2006549361A JP 4790632 B2 JP4790632 B2 JP 4790632B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- interferometer
- axis
- measurement object
- beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02061—Reduction or prevention of effects of tilts or misalignment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02018—Multipass interferometers, e.g. double-pass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02019—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different points on same face of object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
- G01B9/02028—Two or more reference or object arms in one interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02058—Passive reduction of errors by particular optical compensation or alignment elements, e.g. dispersion compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
少なくとも3本の測定軸は、平行とすることができる。少なくとも3本の測定軸は、共通面内にあるとすることができる。少なくとも3本の出力ビームはそれぞれ、共通の測定ビーム経路に沿って測定物体までの1つの光路を形成する成分を含むことができる。装置はさらに、多軸干渉計に結合されるとともに、3本の測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離に基づいて、測定物体に対する二次差分パラメータ(SDP)の値を計算するように構成された電子処理システムを含むことができる。SDPは、式(x2−x1)−η(x3−x2)(xiは、i番目の測定軸に対する干渉分光システムと測定物体との間の距離に対応し、ηは非ゼロ定数である)によって与えることができる。ηは、上式の値が、共通面に直交する軸の周りの測定物体の回転に対して二次までの範囲で敏感ではないように選択することができる。電子プロセッサは、測定軸に直交する軸に沿っての干渉計に対する測定物体の複数の位置のそれぞれに対してSDPの値を計算するように、かつその複数の値に基づいて測定物体に対する表面形状についての情報を決定するように構成することができる。電子プロセッサは、少なくとも3本の出力ビームからの干渉分光情報の少なくとも一部に基づいて測定物体の位置をモニタするように構成することができる。電子プロセッサはさらに、モニタする位置の精度を向上させるために表面形状についての情報を用いるように構成することができる。
本発明の実施形態は、以下の優位性の1つまたは複数を含むことができる。
種々の図面における同様の参照符号は、同様の要素を示す。
図1bに、平面ミラー測定物体に入射する測定ビームのパターンを示す。ミラー表面における測定ビームの入射角度は、測定軸が座標系のx軸に平行であるときに、公称上ゼロである。図1bに、x1,x2,x3に対応する最上部の多軸/平面干渉計の測定軸の箇所を示す。x1およびx2に対応する測定軸間の間隔と、x1およびx3に対応する測定軸間の間隔は、それぞれb2とb3である。一般的に、b2およびb3は、要求どおりに変えることができる。b2は、(b3−b2)と同じであっても良いし、異なっていても良い。いくつかの実施形態においては、軸間隔を比較的狭いものにすることができる(たとえば、約10cm以下、約5cm以下、約3cm以下、約2cm以下)。たとえば、測定解像度が軸間隔に依存する場合、測定軸の少なくとも2つの間の間隔が比較的狭ければ、測定解像度を増加させることができる。
Claims (37)
- 装置であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計、
を備え、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての該干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、前記少なくとも3本の測定軸は共通面内にあり、各出力ビームは、対応する測定ビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、装置。 - 請求項1に記載の装置において、前記少なくとも3本の測定軸は平行である、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、さらに、
前記多軸干渉計に結合されるとともに、前記3本の測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離に基づいて、測定物体に対する二次差分パラメータ(SDP)の値を計算するように構成された電子処理システム、
を備える装置。 - 請求項3に記載の装置において、前記SDPは、式(x2−x1)−η(x3−x2)(xiは、i番目の測定軸に対する干渉分光システムと測定物体との間の距離に対応し、ηは非ゼロ定数である)によって与えられる、装置。
- 請求項4に記載の装置において、ηは、前記式の値が、共通面に直交する軸の周りの測定物体の回転に対して二次までの範囲で敏感ではないように選択されている、装置。
- 請求項3に記載の装置において、前記電子プロセッサは、測定軸に直交する軸に沿っての前記干渉計に対する測定物体の複数の位置のそれぞれに対してSDPの値を計算し、かつ該複数の値に基づいて測定物体に対する表面形状についての情報を決定するように構成されている、装置。
- 請求項6に記載の装置において、前記電子プロセッサは、前記3本の出力ビームからの前記干渉分光情報のうちの少なくとも一部に基づいて測定物体の位置をモニタするように構成されている、装置。
- 請求項7に記載の装置において、前記電子プロセッサはさらに、前記モニタされた位置の精度を向上させるために前記表面形状についての情報を用いるように構成されている、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記多軸干渉計はさらに、1つまたは複数のさらなる出力ビームであって、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含む、さらなる出力ビームを生成するように構成され、前記さらなる出力ビームに対応する測定軸は、前記少なくとも3本の測定軸とは同一平面にはない、装置。
- 請求項9に記載の装置において、前記さらなる出力ビームに対応する測定軸は、前記少なくとも3本の測定軸に平行である、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、さらに、マスクを通る放射によって基板を露光するように構成されたマイクロリソグラフィ・ツール、
を備え、前記多軸干渉計は、前記マイクロリソグラフィ・ツール内の前記基板の位置についての情報を提供するように構成されている、装置。 - 請求項11に記載の装置において、測定物体は、ウェハを支持するように構成されたウェハー・ステージに機械的に結合されている、装置。
- 請求項11に記載の装置において、前記多軸干渉計は、ウェハを支持するように構成されたウェハー・ステージに機械的に結合され、測定物体は、前記マイクロリソグラフィ・ツールの硬いフレームに機械的に結合されている、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、さらに、
マスクを通る放射によって基板を露光するように構成されたマイクロリソグラフィ・ツール、
を備え、前記多軸干渉計は、前記マイクロリソグラフィ・ツール内のマスクの位置についての情報を提供するように構成されている、装置。 - 請求項14に記載の装置において、測定物体は、マスクを支持するように構成されたマスク・ステージに機械的に結合されている、装置。
- 請求項14に記載の装置において、前記多軸干渉計は、マスクを支持するように構成されたマスク・ステージに機械的に結合され、測定物体は、前記マイクロリソグラフィ・ツールの硬いフレームに機械的に結合されている、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、さらに、
測定物体が測定軸に非平行な間隔に沿って前記多軸干渉計に対して走査されるときに、出力ビームから測定物体の表面プロファイルについての情報を導き出す電子プロセッサ、を備える装置。 - 請求項17に記載の装置において、測定物体が走査される前記間隔は測定軸に直交する、装置。
- 装置であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計であって、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての該干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含む、多軸干渉計と、
前記多軸干渉計に結合されるとともに、前記少なくとも3本の測定軸に沿っての前記干渉計と測定物体との間の距離に基づいて、測定物体に対する二次差分パラメータ(SDP)の値を計算するように構成されている電子処理システムと、
を備え、
各出力ビームは、対応するビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、装置。 - 請求項19に記載の装置において、前記少なくとも3本の測定軸は共通面内にある、装置。
- 請求項19に記載の装置において、前記少なくとも3本の測定軸は平行である、装置。
- 請求項19に記載の装置において、前記SDPは、式(x2−x1)−η(x3−x2)(xiは、i番目の測定軸に対する干渉分光システムと測定物体との間の距離に対応し、ηは非ゼロ定数である)によって与えられる、装置。
- 請求項19に記載の装置において、前記電子プロセッサは、測定軸に非平行な軸に沿っての前記干渉計に対する測定物体の複数の位置のそれぞれに対してSDPの値を計算し、かつ該複数の値に基づいて測定物体に対する表面形状についての情報を決定するように構成されている、装置。
- 請求項23に記載の装置において、前記電子プロセッサは、前記少なくとも3本の出力ビームからの前記干渉分光情報の少なくとも一部に基づいて、測定物体の位置をモニタするように構成されている、装置。
- 請求項24に記載の装置において、前記電子プロセッサはさらに、モニタする位置の精度を向上させるために表面形状についての情報を用いるように構成されている、装置。
- 請求項19に記載の装置であって、さらに、
マスクを通る放射によって基板を露光するように構成されたマイクロリソグラフィ・ツール、
を備え、前記多軸干渉計は、基板またはマスクについての位置情報を提供するように構成されている、装置。 - 装置であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計であって、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての該干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、各出力ビームは、対応する測定ビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、多軸干渉計と、
測定物体が、測定軸に非平行な間隔に沿って干渉分光システムに対して走査されるときに、出力ビームから測定物体の表面形状についての情報プロファイルを導き出すように構成された電子プロセッサと、
を備える装置。 - 請求項27に記載の装置において、前記少なくとも3本の測定軸は共通面内にある、装置。
- 請求項27に記載の装置において、前記少なくとも3本の測定軸は平行である、装置。
- 請求項27に記載の装置において、測定物体が走査される前記間隔は測定軸に直交する、装置。
- 請求項27に記載の装置において、前記電子プロセッサは、前記3本の出力ビームからの前記干渉分光情報の少なくとも一部に基づいて測定物体の位置をモニタするように構成されている、装置。
- 請求項31に記載の装置において、前記電子プロセッサはさらに、モニタする位置の精度を向上させるために表面形状についての情報プロファイルを用いるように構成されている、装置。
- 請求項27に記載の装置であって、さらに、
マスクを通る放射によって基板を露光するように構成されたマイクロリソグラフィ・ツール、を備え、前記干渉計は、基板またはマスクについての位置情報を提供するように構成されている、装置。 - 装置であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計であって、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての該干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、各出力ビームは、対応する測定ビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、多軸干渉計と、
多軸干渉計に結合されるとともに、前記少なくとも3本の測定軸に沿っての前記干渉計と測定物体との間の距離に基づいて、測定物体の表面形状プロファイルの二次空間微分に関係付けられた式の値を計算するように構成された電子処理システムと、
を備える装置。 - 請求項34に記載の装置において、前記式は二次差分パラメータ(SDP)である、装置。
- 方法であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成することであって、各出力ビームは、対応する測定ビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、前記生成すること、
前記少なくとも3本の測定軸に沿っての前記干渉計と測定物体との間の距離に基づいて、測定物体に対する二次差分パラメータ(SDP)の値を計算すること、
を備える方法。 - 方法であって、
少なくとも3本の出力ビームを生成することであって、各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、各出力ビームは、対応する測定ビーム成分を含み、各測定ビーム成分は、最初に測定物体と接触する共通の一次測定ビームの一部を含み、該共通の一次測定ビームの一部は、少なくとも3本の二次測定ビームに分割され、各二次測定ビームは、対応する基準ビームと重なり合わされて前記少なくとも3本の出力ビームのうちの対応する一つを形成する前に、二度目に測定物体と接触する、前記生成すること、
測定物体が、測定軸に非平行な間隔に沿って干渉分光システムに対して走査されるときに、出力ビームから測定物体の表面形状についての情報プロファイルを導き出すこと、
を備える方法。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US53448104P | 2004-01-06 | 2004-01-06 | |
US60/534,481 | 2004-01-06 | ||
US53507804P | 2004-01-07 | 2004-01-07 | |
US60/535,078 | 2004-01-07 | ||
US56444804P | 2004-04-22 | 2004-04-22 | |
US60/564,448 | 2004-04-22 | ||
PCT/US2005/000182 WO2005067579A2 (en) | 2004-01-06 | 2005-01-06 | Multi-axis interferometers and methods and systems using multi-axis interferometers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007518104A JP2007518104A (ja) | 2007-07-05 |
JP4790632B2 true JP4790632B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=34799608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006549361A Active JP4790632B2 (ja) | 2004-01-06 | 2005-01-06 | 多軸干渉計ならびに多軸干渉計を用いる方法およびシステム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7283248B2 (ja) |
JP (1) | JP4790632B2 (ja) |
WO (1) | WO2005067579A2 (ja) |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7616322B2 (en) * | 2002-07-08 | 2009-11-10 | Zygo Corporation | Cyclic error compensation in interferometry systems |
US7869057B2 (en) | 2002-09-09 | 2011-01-11 | Zygo Corporation | Multiple-angle multiple-wavelength interferometer using high-NA imaging and spectral analysis |
US7139081B2 (en) * | 2002-09-09 | 2006-11-21 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
US7271918B2 (en) * | 2003-03-06 | 2007-09-18 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7106454B2 (en) * | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7286240B2 (en) * | 2003-06-19 | 2007-10-23 | Zygo Corporation | Compensation for geometric effects of beam misalignments in plane mirror interferometer metrology systems |
WO2005029193A2 (en) * | 2003-09-15 | 2005-03-31 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of surfaces. |
TWI335417B (en) | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
WO2005067579A2 (en) | 2004-01-06 | 2005-07-28 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometers and methods and systems using multi-axis interferometers |
US7375823B2 (en) * | 2004-04-22 | 2008-05-20 | Zygo Corporation | Interferometry systems and methods of using interferometry systems |
JP2007534941A (ja) * | 2004-04-22 | 2007-11-29 | ザイゴ コーポレーション | 光学干渉計システムおよび光学干渉計システムを用いる方法 |
US7489407B2 (en) * | 2004-10-06 | 2009-02-10 | Zygo Corporation | Error correction in interferometry systems |
EP2108919B1 (en) * | 2005-01-20 | 2015-03-11 | Zygo Corporation | Interferometer for determining characteristics of an object surface |
US7884947B2 (en) | 2005-01-20 | 2011-02-08 | Zygo Corporation | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
WO2006102234A2 (en) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometer with procedure and data processing for mirror mapping |
US7528961B2 (en) * | 2005-04-29 | 2009-05-05 | Zygo Corporation | Compensation of turbulent effects of gas in measurement paths of multi-axis interferometers |
US7826063B2 (en) * | 2005-04-29 | 2010-11-02 | Zygo Corporation | Compensation of effects of atmospheric perturbations in optical metrology |
TWI394930B (zh) * | 2005-05-19 | 2013-05-01 | Zygo Corp | 取得薄膜結構資訊之低同調干涉信號的分析方法及裝置 |
WO2008051232A2 (en) * | 2006-10-25 | 2008-05-02 | Zygo Corporation | Compensation of effects of atmospheric perturbations in optical metrology |
US7812964B2 (en) * | 2006-11-15 | 2010-10-12 | Zygo Corporation | Distance measuring interferometer and encoder metrology systems for use in lithography tools |
US7894075B2 (en) * | 2006-12-11 | 2011-02-22 | Zygo Corporation | Multiple-degree of freedom interferometer with compensation for gas effects |
US7812965B2 (en) * | 2006-12-11 | 2010-10-12 | Zygo Corporation | Multiple-degree of freedom interferometer with compensation for gas effects |
JP5502491B2 (ja) | 2006-12-22 | 2014-05-28 | ザイゴ コーポレーション | 表面特徴の特性測定のための装置および方法 |
US7889355B2 (en) | 2007-01-31 | 2011-02-15 | Zygo Corporation | Interferometry for lateral metrology |
US7576868B2 (en) * | 2007-06-08 | 2009-08-18 | Zygo Corporation | Cyclic error compensation in interferometry systems |
US8227735B1 (en) | 2007-07-24 | 2012-07-24 | Lockheed Martin Coherent Technologies, Inc. | Combined active and passive imaging system with radiation source unit and detector |
US8068235B1 (en) * | 2007-07-24 | 2011-11-29 | Lockheed Martin Corporation | Systems and methods for multi-function coherent imaging |
US8072611B2 (en) | 2007-10-12 | 2011-12-06 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of under-resolved features |
JP5222954B2 (ja) | 2007-11-13 | 2013-06-26 | ザイゴ コーポレーション | 偏光スキャンを利用した干渉計 |
WO2009079334A2 (en) | 2007-12-14 | 2009-06-25 | Zygo Corporation | Analyzing surface structure using scanning interferometry |
US8004688B2 (en) | 2008-11-26 | 2011-08-23 | Zygo Corporation | Scan error correction in low coherence scanning interferometry |
US8107084B2 (en) * | 2009-01-30 | 2012-01-31 | Zygo Corporation | Interference microscope with scan motion detection using fringe motion in monitor patterns |
US8223342B2 (en) * | 2009-03-16 | 2012-07-17 | Alliant Techsystems Inc. | Methods and systems for measuring target movement with an interferometer |
TWI418774B (zh) * | 2010-08-06 | 2013-12-11 | 大區域光學檢測裝置及其運作方法 | |
GB2516277A (en) * | 2013-07-17 | 2015-01-21 | Cambridge Consultants | Optical apparatus and methods |
US20160153766A1 (en) * | 2013-07-17 | 2016-06-02 | Robert Jones | Optical apparatus and methods |
DE102013221898A1 (de) * | 2013-10-29 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung zur Positionsbestimmung |
DE102014006305B4 (de) * | 2014-04-30 | 2017-11-23 | Attocube Systems Ag | Optisches Längenmesssystem mit einem interferometrischen Wegsensor zur Integration in Werkzeugmaschinen und Halbleiter-Lithografiesystemen |
CN105180801B (zh) * | 2015-05-29 | 2017-11-14 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
CN105157559B (zh) * | 2015-05-29 | 2017-12-19 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰级联阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
CN105091739B (zh) * | 2015-05-29 | 2017-11-14 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
CN107894204B (zh) * | 2016-10-04 | 2020-02-21 | 财团法人工业技术研究院 | 干涉仪及其成像方法 |
Family Cites Families (86)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4711573A (en) | 1983-03-07 | 1987-12-08 | Beckman Instruments, Inc. | Dynamic mirror alignment control |
US4606638A (en) | 1983-11-03 | 1986-08-19 | Zygo Corporation | Distance measuring interferometer and method of use |
US4662750A (en) | 1984-03-14 | 1987-05-05 | Barger Richard L | Angle sensitive interferometer and control method and apparatus |
US4802765A (en) | 1986-06-12 | 1989-02-07 | Zygo Corporation | Differential plane mirror having beamsplitter/beam folder assembly |
JP2519445B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1996-07-31 | 新明和工業株式会社 | 工作線追従方法 |
US4790651A (en) | 1987-09-30 | 1988-12-13 | Chesapeake Laser Systems, Inc. | Tracking laser interferometer |
JPH0198902A (ja) | 1987-10-12 | 1989-04-17 | Res Dev Corp Of Japan | 光波干渉測長装置 |
US4859066A (en) | 1988-07-08 | 1989-08-22 | Zygo Corporation | Linear and angular displacement measuring interferometer |
US4881816A (en) | 1988-07-08 | 1989-11-21 | Zygo, Corporation | Linear and angular displacement measuring interferometer |
JP2704734B2 (ja) | 1988-09-05 | 1998-01-26 | キヤノン株式会社 | ステージ位置決め補正方法及び装置 |
US5064289A (en) | 1989-02-23 | 1991-11-12 | Hewlett-Packard Company | Linear-and-angular measuring plane mirror interferometer |
US5151749A (en) | 1989-06-08 | 1992-09-29 | Nikon Corporation | Method of and apparatus for measuring coordinate position and positioning an object |
US5187543A (en) | 1990-01-19 | 1993-02-16 | Zygo Corporation | Differential displacement measuring interferometer |
JPH06500857A (ja) | 1990-08-31 | 1994-01-27 | コモンウェルス・サイエンティフィック・アンド・インダストリアル・リサーチ・オーガナイゼイション | 干渉顕微鏡 |
US5191391A (en) * | 1991-01-29 | 1993-03-02 | Excel Precision | High resolution plane mirror interferometer |
NL9100215A (nl) | 1991-02-07 | 1992-09-01 | Asm Lithography Bv | Inrichting voor het repeterend afbeelden van een maskerpatroon op een substraat. |
DE69111432T2 (de) | 1991-05-24 | 1996-02-29 | Hewlett Packard Co | Heterodyn-Interferometer Einrichtung. |
US5363196A (en) | 1992-01-10 | 1994-11-08 | Ultratech Stepper, Inc. | Apparatus for measuring a departure from flatness or straightness of a nominally-plane mirror for a precision X-Y movable-stage |
JP3219349B2 (ja) | 1993-06-30 | 2001-10-15 | キヤノン株式会社 | 波長コンペンセータ、該波長コンペンセータを用いたレーザ干渉測定装置、該レーザ干渉測定装置を有するステージ装置、該ステージ装置を有する露光システム、および該露光システムを用いたデバイスの製造方法 |
US5408318A (en) | 1993-08-02 | 1995-04-18 | Nearfield Systems Incorporated | Wide range straightness measuring stem using a polarized multiplexed interferometer and centered shift measurement of beam polarization components |
US5404222A (en) | 1994-01-14 | 1995-04-04 | Sparta, Inc. | Interferametric measuring system with air turbulence compensation |
JPH08117083A (ja) | 1994-10-21 | 1996-05-14 | Mitsuru Yoshida | スリッパ自動反転機 |
US5663893A (en) | 1995-05-03 | 1997-09-02 | Microunity Systems Engineering, Inc. | Method for generating proximity correction features for a lithographic mask pattern |
DE19522263C2 (de) | 1995-06-20 | 1998-07-09 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Referenzinterferometer (RI) mit variabler Wellenlänge |
US5757489A (en) | 1995-08-24 | 1998-05-26 | Nikon Corporation | Interferometric apparatus for measuring a physical value |
US5663793A (en) | 1995-09-05 | 1997-09-02 | Zygo Corporation | Homodyne interferometric receiver and calibration method having improved accuracy and functionality |
US5877843A (en) | 1995-09-12 | 1999-03-02 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
JP3653827B2 (ja) | 1995-10-20 | 2005-06-02 | 株式会社ニコン | 干渉計 |
JP3221823B2 (ja) | 1995-11-24 | 2001-10-22 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置およびこれを用いた露光方法ならびに半導体製造方法 |
JPH09162113A (ja) | 1995-12-04 | 1997-06-20 | Nikon Corp | 直交度測定方法及びステージ装置並びに露光装置 |
JP3689949B2 (ja) | 1995-12-19 | 2005-08-31 | 株式会社ニコン | 投影露光装置、及び該投影露光装置を用いたパターン形成方法 |
JPH09178415A (ja) | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nikon Corp | 光波干渉測定装置 |
WO1997033205A1 (en) | 1996-03-06 | 1997-09-12 | Philips Electronics N.V. | Differential interferometer system and lithographic step-and-scan apparatus provided with such a system |
JP3854640B2 (ja) | 1996-03-06 | 2006-12-06 | 株式会社 日立製作所 | 半導体素子製造方法 |
JPH09275072A (ja) | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Nikon Corp | 移動鏡の真直度誤差補正方法及びステージ装置 |
JPH09280822A (ja) | 1996-04-15 | 1997-10-31 | Nikon Corp | 光波干渉測定装置 |
US5862164A (en) | 1996-07-26 | 1999-01-19 | Zygo Corporation | Apparatus to transform with high efficiency a single frequency, linearly polarized laser beam into beams with two orthogonally polarized frequency components orthogonally polarized |
US5764362A (en) | 1996-08-20 | 1998-06-09 | Zygo Corporation | Superheterodyne method and apparatus for measuring the refractive index of air using multiple-pass interferometry |
US5838485A (en) | 1996-08-20 | 1998-11-17 | Zygo Corporation | Superheterodyne interferometer and method for compensating the refractive index of air using electronic frequency multiplication |
DE19637777C1 (de) | 1996-09-17 | 1997-11-20 | Leica Mikroskopie & Syst | Verfahren und Vorrichtung zur Fehlerkorrektur eines Heterodyn-Interferometers |
US5991033A (en) | 1996-09-20 | 1999-11-23 | Sparta, Inc. | Interferometer with air turbulence compensation |
US5724136A (en) | 1996-10-15 | 1998-03-03 | Zygo Corporation | Interferometric apparatus for measuring motions of a stage relative to fixed reflectors |
DE69728948T2 (de) | 1996-11-14 | 2005-09-15 | Nikon Corp. | Projektionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren |
US5757160A (en) | 1996-12-23 | 1998-05-26 | Svg Lithography Systems, Inc. | Moving interferometer wafer stage |
JPH10260009A (ja) | 1997-03-21 | 1998-09-29 | Nikon Corp | 座標測定装置 |
US5917844A (en) | 1997-04-25 | 1999-06-29 | Zygo Corporation | Apparatus for generating orthogonally polarized beams having different frequencies |
US5970077A (en) | 1997-04-25 | 1999-10-19 | Zygo Corporation | Apparatus for efficiently transforming a single frequency, linearly polarized laser beam into principally two orthogonally polarized beams having different frequencies |
US6330065B1 (en) | 1997-10-02 | 2001-12-11 | Zygo Corporation | Gas insensitive interferometric apparatus and methods |
US6124931A (en) | 1997-10-02 | 2000-09-26 | Zygo Corporation | Apparatus and methods for measuring intrinsic optical properties of a gas |
US6219144B1 (en) | 1997-10-02 | 2001-04-17 | Zygo Corporation | Apparatus and method for measuring the refractive index and optical path length effects of air using multiple-pass interferometry |
US5951482A (en) | 1997-10-03 | 1999-09-14 | Intraluminal Therapeutics, Inc. | Assemblies and methods for advancing a guide wire through body tissue |
US6020964A (en) | 1997-12-02 | 2000-02-01 | Asm Lithography B.V. | Interferometer system and lithograph apparatus including an interferometer system |
US6327039B1 (en) | 1998-02-23 | 2001-12-04 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring the refractive index and optical path length effects of air |
US6236507B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-05-22 | Zygo Corporation | Apparatus to transform two nonparallel propagating optical beam components into two orthogonally polarized beam components |
US6330105B1 (en) | 1998-05-29 | 2001-12-11 | Litton Systems, Inc. | Double-pass fully isolated broadband optical signal source for fiber optic interferometric sensors |
JPH11351836A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | 立体形状検出装置及びその方法 |
JP4065468B2 (ja) | 1998-06-30 | 2008-03-26 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びこれを用いたデバイスの製造方法 |
US6208424B1 (en) | 1998-08-27 | 2001-03-27 | Zygo Corporation | Interferometric apparatus and method for measuring motion along multiple axes |
US6252667B1 (en) | 1998-09-18 | 2001-06-26 | Zygo Corporation | Interferometer having a dynamic beam steering assembly |
US6313918B1 (en) | 1998-09-18 | 2001-11-06 | Zygo Corporation | Single-pass and multi-pass interferometery systems having a dynamic beam-steering assembly for measuring distance, angle, and dispersion |
US6181420B1 (en) | 1998-10-06 | 2001-01-30 | Zygo Corporation | Interferometry system having reduced cyclic errors |
TW569083B (en) | 1999-02-04 | 2004-01-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus |
JP4138138B2 (ja) * | 1999-03-05 | 2008-08-20 | 株式会社ミツトヨ | 絶対変位測定装置 |
US6137574A (en) | 1999-03-15 | 2000-10-24 | Zygo Corporation | Systems and methods for characterizing and correcting cyclic errors in distance measuring and dispersion interferometry |
JP2000286490A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
US6417927B2 (en) | 1999-04-28 | 2002-07-09 | Zygo Corporation | Method and apparatus for accurately compensating both long and short term fluctuations in the refractive index of air in an interferometer |
US6271923B1 (en) | 1999-05-05 | 2001-08-07 | Zygo Corporation | Interferometry system having a dynamic beam steering assembly for measuring angle and distance |
US6157660A (en) | 1999-06-04 | 2000-12-05 | Zygo Corporation | Apparatus for generating linearly-orthogonally polarized light beams |
US6201609B1 (en) | 1999-08-27 | 2001-03-13 | Zygo Corporation | Interferometers utilizing polarization preserving optical systems |
US6246481B1 (en) | 1999-11-19 | 2001-06-12 | Zygo Corporation | Systems and methods for quantifying nonlinearities in interferometry systems |
US6252668B1 (en) | 1999-11-19 | 2001-06-26 | Zygo Corporation | Systems and methods for quantifying nonlinearities in interferometry systems |
US6687013B2 (en) | 2000-03-28 | 2004-02-03 | Hitachi, Ltd. | Laser interferometer displacement measuring system, exposure apparatus, and electron beam lithography apparatus |
DE60118726T2 (de) | 2000-05-19 | 2006-08-24 | Zygo Corp., Middlefield | In-situ spiegel-charakterisierung |
US6541759B1 (en) | 2000-06-20 | 2003-04-01 | Zygo Corporation | Interferometry system having a dynamic beam-steering assembly for measuring angle and distance and employing optical fibers for remote photoelectric detection |
US6747744B2 (en) | 2000-11-20 | 2004-06-08 | Zygo Corporation | Interferometric servo control system for stage metrology |
JP2002365016A (ja) | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Nikon Corp | 干渉計を用いた位置測定方法、干渉式位置測定装置、露光装置及び露光方法 |
US20030020924A1 (en) | 2001-06-19 | 2003-01-30 | Fuyuhiko Inoue | Interferometer system |
JP2005518523A (ja) | 2001-08-20 | 2005-06-23 | ザイゴ コーポレイション | インサイチュでの鏡の特徴付け |
WO2003036223A1 (en) * | 2001-10-19 | 2003-05-01 | Zygo Corporation | Interferometers for measuring changes in optical beam direction |
US6738143B2 (en) | 2001-11-13 | 2004-05-18 | Agilent Technologies, Inc | System and method for interferometer non-linearity compensation |
TWI259898B (en) | 2002-01-24 | 2006-08-11 | Zygo Corp | Method and apparatus for compensation of time-varying optical properties of gas in interferometry |
US6819434B2 (en) * | 2002-01-28 | 2004-11-16 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometer |
US6757066B2 (en) * | 2002-01-28 | 2004-06-29 | Zygo Corporation | Multiple degree of freedom interferometer |
US6897962B2 (en) * | 2002-04-18 | 2005-05-24 | Agilent Technologies, Inc. | Interferometer using beam re-tracing to eliminate beam walk-off |
WO2005067579A2 (en) | 2004-01-06 | 2005-07-28 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometers and methods and systems using multi-axis interferometers |
JP2007534941A (ja) | 2004-04-22 | 2007-11-29 | ザイゴ コーポレーション | 光学干渉計システムおよび光学干渉計システムを用いる方法 |
-
2005
- 2005-01-06 WO PCT/US2005/000182 patent/WO2005067579A2/en active Application Filing
- 2005-01-06 JP JP2006549361A patent/JP4790632B2/ja active Active
- 2005-01-06 US US11/030,755 patent/US7283248B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-10-11 US US11/870,523 patent/US7548322B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7548322B2 (en) | 2009-06-16 |
WO2005067579A2 (en) | 2005-07-28 |
WO2005067579A3 (en) | 2007-05-31 |
US7283248B2 (en) | 2007-10-16 |
JP2007518104A (ja) | 2007-07-05 |
US20050146727A1 (en) | 2005-07-07 |
US20080117428A1 (en) | 2008-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4790632B2 (ja) | 多軸干渉計ならびに多軸干渉計を用いる方法およびシステム | |
US7812964B2 (en) | Distance measuring interferometer and encoder metrology systems for use in lithography tools | |
US7280223B2 (en) | Interferometry systems and methods of using interferometry systems | |
US7528961B2 (en) | Compensation of turbulent effects of gas in measurement paths of multi-axis interferometers | |
US7289226B2 (en) | Characterization and compensation of errors in multi-axis interferometry systems | |
JP4546255B2 (ja) | フォトリソグラフィック露光サイクルの間のステージ・ミラー歪の工程内補正 | |
US7330274B2 (en) | Compensation for geometric effects of beam misalignments in plane mirror interferometers | |
US7375823B2 (en) | Interferometry systems and methods of using interferometry systems | |
US7826063B2 (en) | Compensation of effects of atmospheric perturbations in optical metrology | |
US7321432B2 (en) | Measurement and compensation of errors in interferometers | |
US7286240B2 (en) | Compensation for geometric effects of beam misalignments in plane mirror interferometer metrology systems | |
WO2006102234A2 (en) | Multi-axis interferometer with procedure and data processing for mirror mapping | |
US7274462B2 (en) | In SITU measurement and compensation of errors due to imperfections in interferometer optics in displacement measuring interferometry systems | |
JP4633624B2 (ja) | 軸外干渉計測における誤差に対する補償 | |
WO2008051237A1 (en) | Compensation of effects of atmospheric perturbations in optical metrology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110223 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110720 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4790632 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |