JP4790458B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4790458B2 JP4790458B2 JP2006078127A JP2006078127A JP4790458B2 JP 4790458 B2 JP4790458 B2 JP 4790458B2 JP 2006078127 A JP2006078127 A JP 2006078127A JP 2006078127 A JP2006078127 A JP 2006078127A JP 4790458 B2 JP4790458 B2 JP 4790458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- processed
- electrostatic chuck
- plasma processing
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 75
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 80
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 37
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 50
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 26
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Claims (6)
- 被処理基板を収容し、内部でプラズマを発生させて前記被処理基板のプラズマ処理を行うための処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に設けられ、前記被処理基板を載置するための載置台と、
前記載置台上に設けられ、絶縁層内に配置された電極を有し、当該電極に直流電源から直流電圧を印加して被処理基板を静電的に吸着する静電チャックと、
前記載置台内から突出可能とされ、前記載置台上に前記被処理基板を支持する基板支持機構とを具備したプラズマ処理装置であって、
前記直流電源からの直流電圧の印加を停止して、前記基板支持機構により前記静電チャックから前記被処理基板を持ち上げる際に、前記被処理基板を吸着する残留電荷の状態を検出し、前記静電チャックの交換時期を検出する交換時期検出手段であって、前記基板支持機構を前記載置台から突出させるための駆動モータのトルク又は回転数から前記静電チャックの残留電荷の状態を検出する交換時期検出手段
を具備したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置であって、
前記交換時期検出手段は、残留電荷による前記被処理基板の吸着力と、予め設定された所定値とを比較し、残留電荷による前記被処理基板の吸着力が、前記所定値以上となった場合に前記静電チャックの交換時期と判断することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1又は2記載のプラズマ処理装置であって、
前記交換時期検出手段は、残留電荷による前記被処理基板の吸着力と、予め設定された第2の所定値とを比較し、残留電荷による前記被処理基板の吸着力が、前記第2の所定値以上となった場合に、前記基板支持機構の前記被処理基板を持ち上げる工程を通常工程から異常工程に切り替えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 被処理基板を収容し、内部でプラズマを発生させて前記被処理基板のプラズマ処理を行うための処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に設けられ、前記被処理基板を載置するための載置台と、
前記載置台上に設けられ、絶縁層内に配置された電極を有し、当該電極に直流電源から直流電圧を印加して被処理基板を静電的に吸着する静電チャックと、
前記載置台内から突出可能とされ、前記載置台上に前記被処理基板を支持する基板支持機構とを具備したプラズマ処理装置であって、
前記直流電源からの直流電圧の印加を停止して、前記基板支持機構により前記静電チャックから前記被処理基板を持ち上げる際に、前記被処理基板を吸着する残留電荷の状態を検出し、前記静電チャックの除電プロセスを変更する除電プロセス制御手段であって、前記基板支持機構を前記載置台から突出させるための駆動モータのトルクから前記静電チャックの残留電荷の状態を検出する除電プロセス制御手段
を具備したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置であって、
前記除電プロセス制御手段は、前記静電チャックの残留電荷の増加に応じて前記処理チャンバー内の圧力を上昇させることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4又は5記載のプラズマ処理装置であって、
前記除電プロセス制御手段は、残留電荷による前記被処理基板の吸着力と、予め設定された第2の所定値とを比較し、残留電荷による前記被処理基板の吸着力が、前記第2の所定値以上となった場合に、前記基板支持機構の前記被処理基板を持ち上げる工程を通常工程から異常工程に切り替えることを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006078127A JP4790458B2 (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | プラズマ処理装置 |
CNB200780000106XA CN100555578C (zh) | 2006-03-22 | 2007-03-13 | 等离子体处理装置 |
KR1020087018681A KR100978166B1 (ko) | 2006-03-22 | 2007-03-13 | 플라즈마 처리장치 |
US12/161,238 US8394230B2 (en) | 2006-03-22 | 2007-03-13 | Plasma processing apparatus |
PCT/JP2007/054941 WO2007108366A1 (ja) | 2006-03-22 | 2007-03-13 | プラズマ処理装置 |
TW096109758A TWI390628B (zh) | 2006-03-22 | 2007-03-21 | Plasma processing device |
US13/790,237 US20130189847A1 (en) | 2006-03-22 | 2013-03-08 | Plasma processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006078127A JP4790458B2 (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007258299A JP2007258299A (ja) | 2007-10-04 |
JP4790458B2 true JP4790458B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=38522398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006078127A Active JP4790458B2 (ja) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | プラズマ処理装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8394230B2 (ja) |
JP (1) | JP4790458B2 (ja) |
KR (1) | KR100978166B1 (ja) |
CN (1) | CN100555578C (ja) |
TW (1) | TWI390628B (ja) |
WO (1) | WO2007108366A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090236214A1 (en) * | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Karthik Janakiraman | Tunable ground planes in plasma chambers |
US8780522B2 (en) * | 2008-07-07 | 2014-07-15 | Lam Research Corporation | Capacitively-coupled electrostatic (CCE) probe arrangement for detecting dechucking in a plasma processing chamber and methods thereof |
CN101872733B (zh) * | 2009-04-24 | 2012-06-27 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 感测和移除被加工半导体工艺件的残余电荷的***和方法 |
JP5973731B2 (ja) | 2012-01-13 | 2016-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 |
CN103715050B (zh) * | 2012-09-28 | 2017-01-11 | 细美事有限公司 | 基板支承组件及基板处理装置 |
JP5621142B2 (ja) * | 2013-04-02 | 2014-11-05 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体プロセス用キャリア |
KR20170124620A (ko) | 2013-08-05 | 2017-11-10 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인-시츄 제거 가능한 정전 척 |
CN107393856B (zh) * | 2016-05-16 | 2021-08-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种下电极装置、半导体加工设备及残余电荷释放方法 |
CN206573826U (zh) * | 2017-03-23 | 2017-10-20 | 惠科股份有限公司 | 一种顶升装置及配向紫外线照射机 |
KR20190128638A (ko) | 2017-04-07 | 2019-11-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 에지 상의 플라즈마 밀도 제어 |
JP6826955B2 (ja) * | 2017-06-14 | 2021-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
KR102616554B1 (ko) * | 2020-07-13 | 2023-12-20 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 이탈 방법 및 플라즈마 처리 장치 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2695436B2 (ja) * | 1988-06-24 | 1997-12-24 | 富士通株式会社 | 静電チャックの劣化検出回路 |
JP4064557B2 (ja) | 1999-01-07 | 2008-03-19 | 松下電器産業株式会社 | 真空処理装置の基板取り外し制御方法 |
US20020073924A1 (en) * | 2000-12-15 | 2002-06-20 | Chiang Tony P. | Gas introduction system for a reactor |
JP3775987B2 (ja) | 2000-12-26 | 2006-05-17 | 松下電器産業株式会社 | プラズマ処理装置 |
US6646857B2 (en) * | 2001-03-30 | 2003-11-11 | Lam Research Corporation | Semiconductor wafer lifting device and methods for implementing the same |
JP2002305237A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法および製造装置 |
US7073383B2 (en) * | 2001-06-07 | 2006-07-11 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for determining clamping status of semiconductor wafer |
JP2003347395A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び静電チャックの脱離方法 |
JP2004040046A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び静電チャックの脱離方法 |
JP2004040047A (ja) | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び静電チャックからの被吸着体の脱離方法 |
US7292428B2 (en) * | 2005-04-26 | 2007-11-06 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with smart lift-pin mechanism for a plasma reactor |
JP2008014221A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Denso Corp | 補機付きエンジンの制御装置 |
-
2006
- 2006-03-22 JP JP2006078127A patent/JP4790458B2/ja active Active
-
2007
- 2007-03-13 CN CNB200780000106XA patent/CN100555578C/zh active Active
- 2007-03-13 WO PCT/JP2007/054941 patent/WO2007108366A1/ja active Application Filing
- 2007-03-13 KR KR1020087018681A patent/KR100978166B1/ko active IP Right Grant
- 2007-03-13 US US12/161,238 patent/US8394230B2/en active Active
- 2007-03-21 TW TW096109758A patent/TWI390628B/zh active
-
2013
- 2013-03-08 US US13/790,237 patent/US20130189847A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100218895A1 (en) | 2010-09-02 |
JP2007258299A (ja) | 2007-10-04 |
KR100978166B1 (ko) | 2010-08-25 |
WO2007108366A1 (ja) | 2007-09-27 |
CN100555578C (zh) | 2009-10-28 |
CN101310366A (zh) | 2008-11-19 |
TW200807552A (en) | 2008-02-01 |
US8394230B2 (en) | 2013-03-12 |
KR20080089463A (ko) | 2008-10-06 |
TWI390628B (zh) | 2013-03-21 |
US20130189847A1 (en) | 2013-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4790458B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP7122864B2 (ja) | クリーニング方法及び基板処理装置 | |
JP5371238B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
TWI502681B (zh) | 在解除夾持時用以降低電壓尖峰之方法及設備 | |
JP7138418B2 (ja) | 脱離制御方法及びプラズマ処理装置 | |
JP6401901B2 (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP5160112B2 (ja) | 処理装置内構造体、プラズマ処理装置内構造体及びプラズマ処理装置 | |
JP2010040822A (ja) | 静電吸着装置の除電処理方法、基板処理装置、及び記憶媒体 | |
JP2010045200A (ja) | フォーカスリング、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2010199475A (ja) | プラズマ処理装置のクリーニング方法及び記憶媒体 | |
JP2015095580A (ja) | 基板処理装置及び基板離脱方法 | |
JP5623722B2 (ja) | プラズマエッチング装置用シリコン製部品の再生方法 | |
JP4783094B2 (ja) | プラズマ処理用環状部品、プラズマ処理装置、及び外側環状部材 | |
TWI831956B (zh) | 清潔處理方法及電漿處理裝置 | |
US20080154410A1 (en) | Method for cleaning vacuum apparatus, device for controlling vacuum apparatus, and computer-readable storage medium storing control program | |
TW201940257A (zh) | 清潔方法及處理裝置 | |
JP5203986B2 (ja) | フォーカスリングの加熱方法、プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5059320B2 (ja) | 基板処理装置のクリーニング方法,基板処理装置,プログラム,プログラムを記録した記録媒体 | |
JP5390266B2 (ja) | 吸着検知解消方法、処理装置、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
US20220130648A1 (en) | Substrate treating apparatus and substrate transferring method | |
TW202345229A (zh) | 電漿處理裝置 | |
JP2022012610A (ja) | 基板処理方法、記憶媒体及び基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110719 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110720 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4790458 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |