JP4790410B2 - マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ - Google Patents
マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ Download PDFInfo
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Description
ヘッドジンバルアッセンブリに搭載されるマイクロアクチュエータであって、
サスペンションに接合されるベース部プレートと、
少なくとも一つがPZT素子を備えており、ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、
を備えたことを特徴としている。
マイクロアクチュエータと、
このマイクロアクチュエータに接合された磁気ヘッドスライダと、
マイクロアクチュエータを支持するサスペンションと、を備え、
マイクロアクチュエータは、
サスペンションと接合されるベース部プレートと、
少なくとも一つがPZT素子を備えており、ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、
を備えたことを特徴としている。
磁気ヘッドスライダと、マイクロアクチュエータと、このマイクロアクチュエータを支持するサスペンションと、を備えたヘッドジンバルアッセンブリと、
このヘッドジンバルアッセンブリに連結されるドライブアームと、
ディスクと、
このディスクを回転させるスピンドルモータと、を備え、
マイクロアクチュエータは、
サスペンションと接合されるベース部プレートと、
少なくとも一つがPZT素子を備えており、ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、
を備えたことを特徴としている。
生じさせるため、さらに振動を抑制させることができる。
8 サスペンション
11 ベースプレート
13 フレキシャ
15 ヒンジ
17 ロードビーム
31 磁気ヘッドスライダ
32 マイクロアクチュエータ
320 H型フレーム
321a,321b,321c,321d PZT素子
322a,322b 駆動アーム
325a,325b 制振アーム
328 サスペンションタング面
329 ディンプル
352 ベース部プレート
902 制振アーム
903,904 PZT素子
1001,1002,1003,1004 PZT素子
1006,1008 側部アーム
1007 ベース部プレート
1102,1103,1107,1108 支持プレート
Claims (22)
- ヘッドジンバルアッセンブリに搭載されるマイクロアクチュエータであって、
サスペンションに接合されるベース部プレートと、
PZT素子を備えており、前記ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
前記アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、を備え、
前記制振器は、少なくとも1つのPZT素子を有し、前記第1の方向とは反対方向である第2の方向に前記ベース部プレートから延びる少なくとも1つの制振アームを備えた、ことを特徴とするマイクロアクチュエータ。 - 前記制振器は、それぞれPZT素子を有し、前記第2の方向に延びる一対の制振アームを備えた、ことを特徴とする請求項1記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記アクチュエータサイドアームと前記制振アームとは、外側面にPZT素子を有する、ことを特徴とする請求項2記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記第1の方向と前記第2の方向とは、前記ベース部プレートに対して垂直方向である、ことを特徴とする請求項1,2又は3記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記制振器は、両側部にPZT素子を有する1つの制振アームを備えた、ことを特徴とする請求項1記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記1つの制振アームは、前記ベース部プレートの中間部、あるいは、側部から延びて備えられている、ことを特徴とする請求項5記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記少なくとも1つの制振アームは、セラミック、ステンレススチール、シリコン、又は、重合体、にて形成されている、ことを特徴とする請求項1,2,3,4,5又は6記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記PZT素子は、セラミック又は薄膜のPZT素子である、ことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6又は7記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記PZT素子は、単層構造あるいは多層構造のPZT素子である、ことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6,7又は8記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記一対の制振アームは、支持プレートにて相互に連結されている、ことを特徴とする請求項2又は3記載のマイクロアクチュエータ。
- マイクロアクチュエータと、
このマイクロアクチュエータに装備された磁気ヘッドスライダと、
前記マイクロアクチュエータを支持するサスペンションと、を備え、
前記マイクロアクチュエータは、
前記サスペンションと接合されるベース部プレートと、
PZT素子を備えており、前記ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
前記アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、を備え、
前記制振器は、少なくとも1つのPZT素子を有し、前記第1の方向とは反対方向である第2の方向に前記ベース部プレートから延びる少なくとも1つの制振アームを備えた、
ことを特徴とするヘッドジンバルアッセンブリ。 - 前記制振器は、それぞれPZT素子を有し、前記第2の方向に延びる一対の制振アームを備えた、ことを特徴とする請求項11記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記アクチュエータサイドアームと前記制振アームとは、外側面にPZT素子を有する、ことを特徴とする請求項12記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記第1の方向と前記第2の方向とは、前記ベース部プレートに対して垂直方向である、ことを特徴とする請求項11,12又は13記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記制振器は、両側部にPZT素子を有する1つの制振アームを備えた、ことを特徴とする請求項11載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記1つの制振アームは、前記ベース部プレートの中間部、あるいは、側部から延びて備えられている、ことを特徴とする請求項15記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記マイクロアクチュエータの前記ベース部プレートがサスペンションに搭載されると共に、
前記マイクロアクチュエータの全てのアームと前記サスペンションとの間に、平行な隙間を形成した、
ことを特徴とする請求項11,12,13,14,15又は16記載のヘッドジンバルアッセンブリ。 - 前記少なくとも1つの制振アームは、セラミック、ステンレススチール、シリコン、又は、重合体、にて形成されている、ことを特徴とする請求項11,12,13,14,15,16又は17記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記PZT素子は、セラミック又は薄膜のPZT素子である、ことを特徴とする請求項11,12,13,14,15,16,17又は18記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 前記PZT素子は、単層構造あるいは多層構造のPZT素子である、ことを特徴とする請求項11,12,13,14,15,16,17,18又は19記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
- 磁気ヘッドスライダと、マイクロアクチュエータと、このマイクロアクチュエータを支持するサスペンションと、を備えたヘッドジンバルアッセンブリと、
このヘッドジンバルアッセンブリに連結されるドライブアームと、
ディスクと、
このディスクを回転させるスピンドルモータと、を備え、
前記マイクロアクチュエータは、
サスペンションと接合されるベース部プレートと、
PZT素子を備えており、前記ベース部プレートに連結され所定の第1の方向に向かって延びる一対のアクチュエータサイドアームと、
前記アクチュエータサイドアームの動作によって生じる振動の少なくとも一部を制振する制振器と、を備え、
前記制振器は、少なくとも1つのPZT素子を有し、前記第1の方向とは反対方向である第2の方向に前記ベース部プレートから延びる少なくとも1つの制振アームを備えた、
ことを特徴とするディスクドライブ。 - 前記マイクロアクチュエータの前記ベース部プレートがサスペンションに搭載されると共に、
前記マイクロアクチュエータの全てのアームと前記サスペンションとの間に、平行な隙間を形成した、
ことを特徴とする請求項21記載のディスクドライブ。
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