JP4790393B2 - 電子検出器及びそれを備えたビーム装置 - Google Patents
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- 対物レンズのビーム通過孔に配置され、当該ビーム通過孔を通過した一次ビームが照射された試料から発生する被検出電子の検出を行う電子検出器であって、一次ビームが通過する貫通孔を有する一体の環状体からなり、当該環状体の内側面に、被検出電子を検出するための複数の検出素子が一次ビームの光軸に沿って多段に設けられ、これにより試料からの放出角度に依存した被検出電子の検出が可能とされた電子検出器。
- 各検出素子は、絶縁層を介して環状体の内側面に固定されていることを特徴とする請求項1記載の電子検出器。
- 各検出素子は、被検出電子の入射方向に面するように傾斜して設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の電子検出器。
- 対物レンズのビーム通過孔を通過した一次ビームを試料に照射し、これにより試料から発生した被検出電子の検出を行うビーム装置において、請求項1乃至3何れか記載の電子検出器を当該ビーム通過孔に備えたことを特徴とするビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、電子検出器の下流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第1の電極が配置されていることを特徴とする請求項4記載のビーム装置。
- 第1の電極には、負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項5記載のビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、第1の電極の下流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第2の電極が配置されていることを特徴とする請求項5記載のビーム装置。
- 第1の電極には正のバイアス電圧が印加され、第2の電極には負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項7記載のビーム装置。
- 電子検出器には、正のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項4乃至8何れか記載のビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、電子検出器の上流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第3の電極が配置され、当該第3の電極には負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項5乃至9何れか記載のビーム装置。
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