JP2009505368A - 電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、電子ビームを発生させる電子カラムにおいて電子ビームのエネルギーを効率よく変換させるための方法に関する。この方法は、電子ビームが試料に到達するときにエネルギーを自由に調節するために、試料に到達する最終電子ビームが所要のエネルギーを持つように、電圧を電極にさらに印加する段階を含む。
Description
3a…レンズ層 3b…レンズ層 3c…レンズ層
4…デフレクター 6…フォーカスレンズ
6a…レンズ層 6b…レンズ層 6c…レンズ層
10…レンズ層または電極層
20…検出器
Claims (5)
- 電子カラムによって発生した電子ビームのエネルギーを変換させる方法において、
電子ビームが試料に到達するときにエネルギーを自由に調節するために、試料上に到達する最終電子ビームが所要のエネルギーを持つように、電極に電圧をさらに印加することを特徴とする、電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法。 - 前記電極がフォーカスレンズであることを特徴とする、請求項1に記載の電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法。
- 前記電極が、電子ビームのエネルギーを調節するための別途の専用電極または検出器であることを特徴とする、請求項1に記載の電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法。
- 前記検出器に印加される電圧が、前記フォーカスレンズに印加される電圧と同一であり、或いはグランド電圧であることを特徴とする、請求項3に記載の電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法。
- 試料に別途の電圧がさらに印加されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子カラムの電子ビームエネルギー変換方法。
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