JP4761071B2 - 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、およびインクジェットプリンター - Google Patents
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Description
基体の上方に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2電極と、
を含み、
前記圧電体層は、複数の空孔を有する。
前記空孔の径は、100nm以下であることができる。
前記空孔は、前記基体の上面と平行な面においてマトリックス状に並んでいることができる。
前記マトリックス状に配列された複数の空孔が、複数層にわたって設けられていることができる。
前記空孔は、前記第1電極側にいくにつれて、単位体積あたりの数が多く形成されていることができる。
前記圧電体層は、複数の空孔を有する第1の圧電体層と、当該第1の圧電体層の上に形成され、かつ前記空孔を有さない第2の圧電体層とを有することができる。
前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛を含むことができる。
本実施の形態にかかる圧電素子100について説明する。図1および図2は、本実施の形態にかかる圧電素子100を模式的に示す断面図である。本実施の形態にかかる圧電素子100は、基体の一部としての基板10および弾性体層20と、下部電極層30(第1電極)と、圧電体層48と、上部電極層50(第2電極)とを含む。基板10は、たとえばシリコン層12および酸化物層14を有する。下部電極層30、圧電体層48、および上部電極層50によってキャパシタ構造部60が形成される。
次に、本実施の形態にかかる圧電素子100の製造方法について説明する。図3〜図7は、本実施の形態にかかる圧電素子100の製造方法を示す図である。
本実験例では、上述した圧電素子100を含む圧電アクチュエータ540を形成し、それぞれをパルス駆動させてクラックの発生状況を観察した。
第1の実験例では、上述した本実施の形態にかかる圧電素子の製造方法を用いて、圧電素子を適用した圧電アクチュエータ540を形成した。図8は、第1の実験例において形成された圧電アクチュエータ540を模式的に示す断面図である。
第2の実験例では、以下のように圧電アクチュエータを形成した。圧電アクチュエータの構成は、上述した第1の実験例の圧電アクチュエータ540と同様の構成である。
第3の実験例では、以下のように圧電アクチュエータを形成した。圧電アクチュエータの構成は、上述した第1の実験例の圧電アクチュエータ540と同様の構成である。
次に本実施の形態にかかる変形例について説明する。
第1の変形例にかかる圧電素子は、圧電体層の下部層のみに空孔を有する点で、圧電体層48の全体にわたって空孔を設けている圧電素子100と異なる。
第2の変形例にかかる圧電素子は、圧電体層の下部層のみに空孔を有する点および空孔の配列がマトリックス状でない点で、本実施の形態にかかる圧電素子100と異なる。
4.3.1.圧電素子およびその製造方法
第3の変形例にかかる圧電素子は、空孔の配列がマトリックス状でない点で、本実施の形態にかかる圧電素子100と異なる。
具体的には、ふっ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、およびポリイミド樹脂などを用いることができる。
上述した第3の変形例にかかる圧電素子の製造方法を用いて、圧電素子を適用した圧電アクチュエータ300を形成した。
第4の変形例にかかる圧電素子では、空孔の配列がマトリックス状でなく、かつ下部電極層側にいくほど空孔が密に配置されている。
次に、図1に示した圧電素子100を用いたインクジェット式記録ヘッドについて説明する。図16は、図1に示した圧電素子100を用いたインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す側断面図であり、図17は、このインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。なお、図17は、通常使用される状態とは上下逆に示したものである。
次に、上述のインクジェット式記録ヘッド500を備えたインクジェットプリンターについて説明する。図18は、本発明のインクジェットプリンター600を、紙等に印刷する一般的なプリンターに適用した場合の一実施形態を示す概略構成図である。なお、以下の説明では、図18中の上側を「上部」、下側を「下部」と言う。
Claims (4)
- キャビティーを有する基板と、
前記基板の上方に形成された弾性体層と、
前記弾性体層の上方に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2電極と、
を含み、
前記圧電体層は、複数の空孔を有し、
前記空孔は、前記第2電極側から前記第1電極側にいくにつれて、単位体積あたりの数が多く形成されている、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1において、
前記空孔の径は、100nm以下である、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1または2において、
前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸鉛を含む、インクジェット式記録ヘッド。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のインクジェット式記録ヘッドを含む、インクジェットプリンター。
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