JP5754198B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電アクチュエーター - Google Patents
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Description
かかる態様では、圧電アクチュエーターの駆動時に圧電体層にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。また、圧電体層は、鉛、チタン及びジルコニウムを含むことで、低い駆動電圧で高い圧電特性を得ることができる圧電アクチュエーターを実現できる。
ここで、前記圧電体層は、前記第1電極側から前記第2電極側に向かって、(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、徐々に漸小していることが好ましい。これによれば、さらに圧電体層の破壊を抑制することができる。
また、前記圧電体層の前記第1電極側と第2電極側とで、(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)の差が、0.038度以上であることが好ましい。これによれば、圧電体層のクラック率を著しく低く抑えられる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
また、本発明の他の態様は、第1電極と、該第1電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2電極と、を具備し、前記圧電体層は、鉛、チタン及びジルコニウムを含み、前記圧電体層が、(100)面に優先配向したペロブスカイト構造を有し、前記第2電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、前記第1電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)よりも小さいことを特徴とする圧電アクチュエーターにある。
かかる態様では、圧電アクチュエーターの駆動時に圧電体層にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。また、圧電体層は、鉛、チタン及びジルコニウムを含むことで、低い駆動電圧で高い圧電特性を得ることができる圧電アクチュエーターを実現できる。
さらに、他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有し、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、前記圧電体層が、(100)面に優先配向するペロブスカイト構造を有し、前記第2電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、前記第1電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、圧電アクチュエーターの駆動時に圧電体層にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。
かかる態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
かかる態様では、圧電アクチュエーターの駆動時に圧電体層にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。
(実施形態1)
図1は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図、図2(a)は図1の平面図、図2(b)は図2(a)のA−A′線断面図である。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、特に圧電アクチュエーター300を覆う保護膜等を設けていないが、圧電アクチュエーター300を覆う耐湿度性の保護膜等を設けるようにしても同様である。
Claims (5)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、
第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有し、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、
前記圧電体層は、鉛、チタン及びジルコニウムを含み、
前記圧電体層が、(100)面に優先配向するペロブスカイト構造を有し、
前記第2電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、前記第1電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層は、前記第1電極側から前記第2電極側に向かって、(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、徐々に漸小していることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層の前記第1電極側と第2電極側とで、(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)の差が、0.038度以上であることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 第1電極と、
該第1電極上に設けられた圧電体層と、
該圧電体層上に設けられた第2電極と、を具備し、
前記圧電体層は、鉛、チタン及びジルコニウムを含み、
前記圧電体層が、(100)面に優先配向したペロブスカイト構造を有し、
前記第2電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)が、前記第1電極側の前記圧電体層の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置(2θ)よりも小さいことを特徴とする圧電アクチュエーター。
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