JP4045362B2 - 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はドライ真空ポンプ、特に省エネルギー型のドライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を示すものであるが、図において本体２内にはモータ３の回転軸によって回転駆動されるロータ５、６、７、８、９、１０が図７及び図８で示すように一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最終段のロータ１０が排気する最後段の排気空間には、サイレンサ１２を備えた排気配管１１が接続されており、この排気配管１１の大気側端部には逆止弁１３が設けられている。公知のように、各ロータ１乃至１０の各対が相反する方向に回転することにより、吸気口４に接続される不図示の真空室を排気し、排気ガスは排気配管１１を通り逆止弁１３を開弁させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向かうにつれて容積を小さくし、また後段の２つのロータ９、１０は図７に示すように五葉とされている。このように後段のロータを小さくすることにより、この多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１の消費電力を小としている。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さくして消費電力を小さくしている。
【０００３】
これにつき更に説明すれば、図９に示すように各ロータが同じ大きさであれば、図１２に示すように吸入圧力に対し排気速度は曲線ａのように変化するが、図１０に示すように前段の２つのロータは同じ大きさとし、中間段の２つをこれより小さく、後段の２つを更に小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係は曲線ｂのように変化する。更に図１１で示すように、後段の２つのロータを一層小さくすれば、図１２において曲線ｃで示すように排気速度は変化する。図１３はこれら図９、１０及び図１１の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、曲線ｃ′、ｂ′、ａ′で示すように、消費電力は図１１の場合が最も小さく、次いで図１０が続き、図９が最も大きい。
【０００４】
以上のようにして消費電力を小さくし、省エネルギーが行われるのであるが、消費電力を小さくする別の方式としては、モータ３を排気容量に応じて制御することにより消費電力を小さくすることも考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述のような方法で得られる省エネルギー効果にとどまらず、より一層の省エネルギー効果が得られるドライ真空ポンプを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設けた多段式容積移送型ドライ真空ポンプにおいて、大気圧に近い中間段の排気空間または前記最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気配管を設け、該副排気配管に接続され前記ドライ真空ポンプの運転中に前記排気空間を排気する補助ポンプであって、排気速度が前記ドライ真空ポンプの１〜２％である補助ポンプを前記逆止弁に並列に設けたことを特徴とする多段式容積移送型ドライ真空ポンプ、によって解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図１〜図５を参照し説明する。なお、これら図においては従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡略化して示す。
すなわち、図１に示す第１の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０の本体２１内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6（例えば図８で示す形状とする）が設けられている。また本体２１の左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第１の実施の形態によれば、最後段の排気空間２４に接続された副排気配管２７にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列するように設けられている。
【０００８】
本発明の第１の実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸気口２３に接続された不図示の真空室は排気される。最後段の排気空間２４の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれば排気空間２４の圧力は補助ポンプ３０の駆動により減圧され、最終段のロータＲ6による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電力３．７ｋＷのドライ真空ポンプ２０であれば、補助ポンプ３０の排気速度はこのドライ真空ポンプ２０の１％以下でも充分に上述の省エネルギー効果を得ることができる。もっともドライ真空ポンプ２０の使用条件によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガスの流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドライ真空ポンプ２０の排気速度が１０００Ｌ／ｍｉｎ（６０ｍ3 ／ｈｒ）であるとすると、補助ポンプ３０の排気速度は１０乃至２０Ｌ／ｍｉｎですむ。この程度のダイアフラムポンプの定格電力は１００Ｗ程度である。図６の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を用いた場合には、定格消費電力を１．４乃至１．５ｋＷ程度まで小さくできるが、補助ポンプ３０を設けた本実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０では、消費電力を約５００Ｗにまで低下させることができた。
【０００９】
図２は本発明の第２の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、第１の実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１０】
すなわち本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されて大気へと連なる。更に、サイレンサ２６および逆止弁２８のバイパスとなるように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列に設けられる。この補助ポンプ３０の吐出口は配管４１を介して逆止弁２８の大気側に接続される。この実施の形態においては、補助ポンプ３０は主排気配管２５の逆止弁２８に並列して設けられているので、大容量のガスを排気する時は主排気配管２５に流れ、補助ポンプ３０が故障してもドライ真空ポンプ２０の性能は維持される。また、第１の実施の形態と同様な省エネルギー効果が得られることは明らかである。
【００１１】
図３は本発明の第３の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、上記実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、逆止弁２８のバイパスとな るように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０は逆止弁２８に並列に設けられる。排気空間２４には、主排気配管２５を介して逆止弁２８および補助ポンプ３０が並列に接続されているので、上記実施の形態と同様な効果を奏することは明らかである。
【００１２】
図４に示す第４の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ａの本体２１Ａ内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ａの左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第４の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気配管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ａには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。なお、更に上流側の排気空間２４″に対応して副排気配管２７″を接続するようにしてもよい。
【００１３】
本発明の第４の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へ移送する。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の形態でも補助ポンプ３０′の駆動により中間段の排気空間２４′が減圧される。よって、中間段のロータＲ5 以降の排気作用の負担は軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。
【００１４】
図５に示す第５の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ｂの本体２１Ｂ内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ｂの左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第５の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気配管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ｂには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。
【００１５】
本発明の第５の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6 は、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送する。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発明の第５の実施の形態によれば補助ポンプ３０′の駆動により減圧される。よって、中間段のロータＲ4 以降の排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。
【００１６】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００１７】
例えば以上の実施の形態では、それぞれ対をなすロータＲ1乃至Ｒ6は全て同型同大としたが、これに代えて図６及び図１０、１１に示すように前段から後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよい。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電力を小さくできることは明らかである。また、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドライ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様の効果が得られる。
【００１８】
更にまた、以上の実施の形態では、補助ポンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。
【００１９】
また以上の実施の形態では、補助ポンプ３０、３０′は本体２１、２１′、２１Ａ、２１Ｂの周壁に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の多段式容積移送型ドライ真空ポンプによれば、従来よりも大幅な省エネルギー効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図６】従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの部分破断側面図である。
【図７】図６における［７］−［７］線方向断面図である。
【図８】図６における［８］−［８］線方向断面図である。
【図９】多段のロータの大きさが等しい場合を示す模式図である。
【図１０】前段、中間段、後段とでロータの大きさを変えた場合の模式図である。
【図１１】前段、中間段及び後段において図１０に比べ更に後段の２つのロータを小さくした場合を示す模式図である。
【図１２】図９、図１０及び図１１のロータを用いた場合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排気速度との関係を示す特性図である。
【図１３】同吸入圧力と消費電力との関係を示すチャートである。
【符号の説明】
２０、２０′、２０”、２０Ａ、２０Ｂ・・・ドライ真空ポンプ、
２２・・・モータ、
２４・・・最後段の排気空間、
２４′、２４″・・・中間段の排気空間、
２５・・・主排気配管、
２７、２７′・・・副排気配管、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６・・・ロータ、
３０、３０′・・・補助ポンプ、
【発明の属する技術分野】
本発明はドライ真空ポンプ、特に省エネルギー型のドライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を示すものであるが、図において本体２内にはモータ３の回転軸によって回転駆動されるロータ５、６、７、８、９、１０が図７及び図８で示すように一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最終段のロータ１０が排気する最後段の排気空間には、サイレンサ１２を備えた排気配管１１が接続されており、この排気配管１１の大気側端部には逆止弁１３が設けられている。公知のように、各ロータ１乃至１０の各対が相反する方向に回転することにより、吸気口４に接続される不図示の真空室を排気し、排気ガスは排気配管１１を通り逆止弁１３を開弁させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向かうにつれて容積を小さくし、また後段の２つのロータ９、１０は図７に示すように五葉とされている。このように後段のロータを小さくすることにより、この多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１の消費電力を小としている。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さくして消費電力を小さくしている。
【０００３】
これにつき更に説明すれば、図９に示すように各ロータが同じ大きさであれば、図１２に示すように吸入圧力に対し排気速度は曲線ａのように変化するが、図１０に示すように前段の２つのロータは同じ大きさとし、中間段の２つをこれより小さく、後段の２つを更に小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係は曲線ｂのように変化する。更に図１１で示すように、後段の２つのロータを一層小さくすれば、図１２において曲線ｃで示すように排気速度は変化する。図１３はこれら図９、１０及び図１１の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、曲線ｃ′、ｂ′、ａ′で示すように、消費電力は図１１の場合が最も小さく、次いで図１０が続き、図９が最も大きい。
【０００４】
以上のようにして消費電力を小さくし、省エネルギーが行われるのであるが、消費電力を小さくする別の方式としては、モータ３を排気容量に応じて制御することにより消費電力を小さくすることも考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述のような方法で得られる省エネルギー効果にとどまらず、より一層の省エネルギー効果が得られるドライ真空ポンプを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設けた多段式容積移送型ドライ真空ポンプにおいて、大気圧に近い中間段の排気空間または前記最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気配管を設け、該副排気配管に接続され前記ドライ真空ポンプの運転中に前記排気空間を排気する補助ポンプであって、排気速度が前記ドライ真空ポンプの１〜２％である補助ポンプを前記逆止弁に並列に設けたことを特徴とする多段式容積移送型ドライ真空ポンプ、によって解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図１〜図５を参照し説明する。なお、これら図においては従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡略化して示す。
すなわち、図１に示す第１の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０の本体２１内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6（例えば図８で示す形状とする）が設けられている。また本体２１の左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第１の実施の形態によれば、最後段の排気空間２４に接続された副排気配管２７にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列するように設けられている。
【０００８】
本発明の第１の実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸気口２３に接続された不図示の真空室は排気される。最後段の排気空間２４の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれば排気空間２４の圧力は補助ポンプ３０の駆動により減圧され、最終段のロータＲ6による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電力３．７ｋＷのドライ真空ポンプ２０であれば、補助ポンプ３０の排気速度はこのドライ真空ポンプ２０の１％以下でも充分に上述の省エネルギー効果を得ることができる。もっともドライ真空ポンプ２０の使用条件によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガスの流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドライ真空ポンプ２０の排気速度が１０００Ｌ／ｍｉｎ（６０ｍ3 ／ｈｒ）であるとすると、補助ポンプ３０の排気速度は１０乃至２０Ｌ／ｍｉｎですむ。この程度のダイアフラムポンプの定格電力は１００Ｗ程度である。図６の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を用いた場合には、定格消費電力を１．４乃至１．５ｋＷ程度まで小さくできるが、補助ポンプ３０を設けた本実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０では、消費電力を約５００Ｗにまで低下させることができた。
【０００９】
図２は本発明の第２の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、第１の実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１０】
すなわち本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されて大気へと連なる。更に、サイレンサ２６および逆止弁２８のバイパスとなるように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列に設けられる。この補助ポンプ３０の吐出口は配管４１を介して逆止弁２８の大気側に接続される。この実施の形態においては、補助ポンプ３０は主排気配管２５の逆止弁２８に並列して設けられているので、大容量のガスを排気する時は主排気配管２５に流れ、補助ポンプ３０が故障してもドライ真空ポンプ２０の性能は維持される。また、第１の実施の形態と同様な省エネルギー効果が得られることは明らかである。
【００１１】
図３は本発明の第３の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、上記実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、逆止弁２８のバイパスとな るように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０は逆止弁２８に並列に設けられる。排気空間２４には、主排気配管２５を介して逆止弁２８および補助ポンプ３０が並列に接続されているので、上記実施の形態と同様な効果を奏することは明らかである。
【００１２】
図４に示す第４の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ａの本体２１Ａ内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ａの左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第４の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気配管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ａには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。なお、更に上流側の排気空間２４″に対応して副排気配管２７″を接続するようにしてもよい。
【００１３】
本発明の第４の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へ移送する。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の形態でも補助ポンプ３０′の駆動により中間段の排気空間２４′が減圧される。よって、中間段のロータＲ5 以降の排気作用の負担は軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。
【００１４】
図５に示す第５の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ｂの本体２１Ｂ内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ｂの左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第５の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気配管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ｂには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。
【００１５】
本発明の第５の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6 は、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送する。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発明の第５の実施の形態によれば補助ポンプ３０′の駆動により減圧される。よって、中間段のロータＲ4 以降の排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。
【００１６】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００１７】
例えば以上の実施の形態では、それぞれ対をなすロータＲ1乃至Ｒ6は全て同型同大としたが、これに代えて図６及び図１０、１１に示すように前段から後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよい。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電力を小さくできることは明らかである。また、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドライ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様の効果が得られる。
【００１８】
更にまた、以上の実施の形態では、補助ポンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。
【００１９】
また以上の実施の形態では、補助ポンプ３０、３０′は本体２１、２１′、２１Ａ、２１Ｂの周壁に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の多段式容積移送型ドライ真空ポンプによれば、従来よりも大幅な省エネルギー効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。
【図６】従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの部分破断側面図である。
【図７】図６における［７］−［７］線方向断面図である。
【図８】図６における［８］−［８］線方向断面図である。
【図９】多段のロータの大きさが等しい場合を示す模式図である。
【図１０】前段、中間段、後段とでロータの大きさを変えた場合の模式図である。
【図１１】前段、中間段及び後段において図１０に比べ更に後段の２つのロータを小さくした場合を示す模式図である。
【図１２】図９、図１０及び図１１のロータを用いた場合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排気速度との関係を示す特性図である。
【図１３】同吸入圧力と消費電力との関係を示すチャートである。
【符号の説明】
２０、２０′、２０”、２０Ａ、２０Ｂ・・・ドライ真空ポンプ、
２２・・・モータ、
２４・・・最後段の排気空間、
２４′、２４″・・・中間段の排気空間、
２５・・・主排気配管、
２７、２７′・・・副排気配管、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６・・・ロータ、
３０、３０′・・・補助ポンプ、
Claims (4)
- 最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設けた多段式容積移送型ドライ真空ポンプにおいて、
大気圧に近い中間段の排気空間または前記最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気配管を設け、該副排気配管に接続され前記ドライ真空ポンプの運転中に前記排気空間を排気する補助ポンプであって、排気速度が前記ドライ真空ポンプの１〜２％である補助ポンプを前記逆止弁に並列に設けたことを特徴とする多段式容積移送型ドライ真空ポンプ。 - 前記副排気配管を前記最後段の排気空間または前記主排気配管に接続して設けたことを特徴とする請求項1記載の多段式容積移送型ドライ真空ポンプ。
- 前記副排気配管の大気側の端部を前記主排気配管に設けられた前記逆止弁の大気側に接続したことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項記載の多段式容積移送型ドライ真空ポンプ。
- 前記多段式容積移送型ドライ真空ポンプの後段部の少なくとも１個のロータを前段部のロータより小さくして前記後段部の排気空間の容積を前記前段部の排気空間の容積より小さくしたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の多段式容積移送型ドライ真空ポンプ。
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