JP2008088880A - 真空排気装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置において、大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度が改善される真空排気装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ブースターポンプ5とその下流側の大気側にバックポンプ3とを直列に備え、ブースターポンプ5はポンプ室内で圧縮される過程で低圧縮比の段階で吐出する低圧縮用吐出口27a、27bと高圧縮比に達して吐出する高圧縮用吐出口29とを有し、排気始めはブースターポンプ5を作動して高圧縮用吐出口29から大気へ空気を排気せしめ、中真空状態に達したときに低圧縮用吐出口27a、27bからの吐出空気をバックポンプ3に供給するとともにバックポンプ3を作動せしめることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】ブースターポンプ5とその下流側の大気側にバックポンプ3とを直列に備え、ブースターポンプ5はポンプ室内で圧縮される過程で低圧縮比の段階で吐出する低圧縮用吐出口27a、27bと高圧縮比に達して吐出する高圧縮用吐出口29とを有し、排気始めはブースターポンプ5を作動して高圧縮用吐出口29から大気へ空気を排気せしめ、中真空状態に達したときに低圧縮用吐出口27a、27bからの吐出空気をバックポンプ3に供給するとともにバックポンプ3を作動せしめることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置に関する。
従来、排気速度を増大してタンク、室内等を迅速に真空状態にするために、真空用のメカニカルブースターポンプが排気速度の小さいバックポンプの真空側に設置されて用いられている。そして真空用のメカニカルブースターポンプは一般的に、図5に示すようにまゆ形ロータ020を回転する事により圧縮・排気を行うルーツ型真空ポンプ021が用いられている。そして、このメカニカルブースターポンプを使用することによって、バックポンプの排気速度の数倍程度の最大排気速度を得ることが知られている。
しかし、このメカニカルブースターポンプによって下流の大気側に設置さるバックポンプに大量の空気を送っても、バックポンプの排気能力によって装置全体の排気速度が制限されることから、メカニカルブースターポンプは大気圧近傍の低真空領域で作動させても排気速度の向上効果は大きく得られない。
すなわち図3の排気速度と圧力の関係に示すように、大気状態の空気を排出する開始時においては、バックポンプが本来的に有している排気速度からメカニカルブースターポンプが機能することによる排気速度の向上効果はすぐには得られず真空度が進むにつれて増大していく傾向となり、全圧力領域で排気速度の向上効果が得られないものである。
すなわち図3の排気速度と圧力の関係に示すように、大気状態の空気を排出する開始時においては、バックポンプが本来的に有している排気速度からメカニカルブースターポンプが機能することによる排気速度の向上効果はすぐには得られず真空度が進むにつれて増大していく傾向となり、全圧力領域で排気速度の向上効果が得られないものである。
一方、真空排気装置において、真空ポンプの前段に真空用メカニカルブースターポンプのようなブースターポンプを設置して直列に2段階の真空ポンプで排気するものが知られており、例えば、実公平7−19554号(特許文献1)がある。
この特許文献1には、図6に示すように、チャンバ内から空気の粗引きを行うための粗引きラインAと本引きを行うための本引きラインBとが接続され、粗引きラインAにはストップバルブ03aとバタフライ弁04とが直列に接続され、さらに粗引きポンプ01に接続され、本引きラインBにはストップバルブ03b1、03b2と排気ポンプ02が設けられている。そして、本引きを行うときには粗引きラインAのストップバルブ03aとバタフライ弁04を閉じて、本引きラインBのストップバルブ03b1、03b2を開いて粗引きポンプ01及び排気ポンプ02でチャンバ内の本引きを行う構成が示されている。
この特許文献1には、図6に示すように、チャンバ内から空気の粗引きを行うための粗引きラインAと本引きを行うための本引きラインBとが接続され、粗引きラインAにはストップバルブ03aとバタフライ弁04とが直列に接続され、さらに粗引きポンプ01に接続され、本引きラインBにはストップバルブ03b1、03b2と排気ポンプ02が設けられている。そして、本引きを行うときには粗引きラインAのストップバルブ03aとバタフライ弁04を閉じて、本引きラインBのストップバルブ03b1、03b2を開いて粗引きポンプ01及び排気ポンプ02でチャンバ内の本引きを行う構成が示されている。
また、2段階に真空ポンプを設置するものとして、図7に示すような多段式R1〜R6のドライ真空ポンプ010の中間段、または最終段011に補助ポンプ012を接続して、ドライ真空ポンプ010の消費電力の低減を図るものも知られている(特許文献2)。
しかし、特許文献1は、粗引き時には粗引きポンプ01だけによる排気であるため排気速度の向上は望めず、さらに本引き時には粗引きポンプ01と排気ポンプ02との2段階で排気を行うが、前段に配置された排気ポンプ02の作動を制御することは示されてなく、大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、低真空状態から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度の改善が達成されるかについては問題がある。
また、特許文献2に示される補助ポンプ012は、ドライ真空ポンプ010の消費電力の低減を図るためのものであり、排気速度を改善することについては示されていない。
また、特許文献2に示される補助ポンプ012は、ドライ真空ポンプ010の消費電力の低減を図るためのものであり、排気速度を改善することについては示されていない。
そこで、本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置において、大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度が改善される真空排気装置を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプとを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置において、前記ブースターポンプはポンプ室内で圧縮される過程で低圧縮比の段階で吐出する低圧縮用吐出口と高圧縮比に達して吐出する高圧縮用吐出口とを有し、排気始めは前記ブースターポンプを作動して前記高圧縮用吐出口から大気へガスを排気せしめ、該高圧縮用吐出口からの吐出によって到達することができる中真空状態に達したときに前記低圧縮用吐出口からの吐出ガスを前記バックポンプに供給するとともに前記バックポンプを作動せしめるコントローラを備えことを特徴とする。
かかる発明によれば、排気始めに前記ブースターポンプを作動して前記高圧縮用吐出口から大気へガスを排気せしめる。これによって大気圧状態にあるタンク内のガスが高い圧縮比によって圧縮されて大気へ直接排出される。このときバックポンプを介さずに直接排気されるのでバックポンプの影響を受けずに排気できる。例えばバックポンプの排気速度を大きくするために大型ポンプとするようなこともなく排気速度の向上が図れる。
また、ブースターポンプの排気速度はバックポンプに比べて大きいものが用いられるため、その大きいブースターポンプの排気速度によって、排気することで大気状態にある排気当初の状態から排気速度を低下させることなく排気できる。そして大気圧から低真空領域でも排気速度を向上できる。
また、ブースターポンプの排気速度はバックポンプに比べて大きいものが用いられるため、その大きいブースターポンプの排気速度によって、排気することで大気状態にある排気当初の状態から排気速度を低下させることなく排気できる。そして大気圧から低真空領域でも排気速度を向上できる。
前記ブースターポンプの前記高圧縮用吐出口からの吐出によって到達することができる中真空状態に達したときに前記低圧縮用吐出口からの吐出ガスを前記バックポンプに供給するとともに前記バックポンプを作動せしめことによって、ある程度真空状態になった中真空のガスを低圧縮用吐出口からバックポンプに供給する。そしてブースターポンプによる加圧、増量作用によってバックポンプの排気速度が高められ、高い排気速度が維持されつつ高真空状態に達することができる。
従って、ブースターポンプによって大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度の改善がなされる。
従って、ブースターポンプによって大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度の改善がなされる。
また、好ましくは、前記コントローラは前記中真空状態への到達をタイマーによる時間経過によって検出することを特徴とする。
かかる発明によれば、ブースターポンプによる排気開始から所定の時間が経過したときに、コントローラが自動的に前記低圧縮用吐出口からの吐出ガスを前記バックポンプに供給するとともに前記バックポンプを作動せしめることによって、自動的にバックポンプへの作動が制御される。さらに、圧力センサからの信号ではなくタイマーによる経過時間によって制御するため、圧力センサの劣化や誤作動の虞もなく信頼性の高い制御を行なうことができる。
また、好ましくは、前記ブースターポンプはクロー型真空ポンプからなり、前記高圧縮用吐出口はロータの回転軸方向のハウジング壁面に開口し、前記低圧縮用吐出口はロータの半径方向のハウジング壁面に開口して形成されたことを特徴とする。
かかる発明によれば、高圧縮用吐出口をクロー型真空ポンプの圧縮室の空間に臨むようにロータの回転軸方向のハウジング壁面に開口して形成し、さらに低圧縮用吐出口をロータの半径方向のハウジング壁面に開口して形成することによって、クロー型真空ポンプを用いて高圧縮用吐出口および低圧縮用吐出口を有したブースターポンプを形成することができる。
本発明によれば、ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置において、大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度が改善される真空排気装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態を例示的に説明する。但しこの実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。
図1は本発明の実施の形態に係る全体構成図であり、図2は図1のA−A断面図である。
図1に示すように、真空排気装置1は、バックポンプ3と、該バックポンプ3の前段部に設けられたブースターポンプ5とを備え、これら両ポンプ3、5を作動することで真空タンク7内を真空状態にするように構成されている。
図1に示すように、真空排気装置1は、バックポンプ3と、該バックポンプ3の前段部に設けられたブースターポンプ5とを備え、これら両ポンプ3、5を作動することで真空タンク7内を真空状態にするように構成されている。
このブースターポンプ5は、クロー型真空ポンプ9からなり、一対のポンプロータ11a、11bと、空気吸入口13と、空気吐出口15とを備えており、さらに一対のポンプロータ11a、11bを内蔵するポンプケーシング17(ハウジング)と、さらに図示しない動力源のモータから動力を伝達してポンプロータ11a、11bを回転軸19を中心に回転駆動する駆動機構を備えている。なお、バックポンプ3については、真空ポンプであれば種類は限定するものではなく、ルーツ型、クロー型、スクリュー型、ギヤ型等のいずれの型式のポンプであってもよい。
ポンプロータ11a、11bは、駆動機構によって互いに逆方向(矢印S方向)に回転されることによってポンプケーシング17内に形成される密閉空間の容積変化を利用して、空気の吸入・吐出が行われる。
ポンプロータ11a、11bには、クロー(つめ)のような突起21a、21bがそれぞれ突設されていて、相手の突起21a、21bが凹部23a、23bに嵌合することによって、その嵌合空間に圧縮室25の空間が形成されるようになっている。
ポンプロータ11a、11bには、クロー(つめ)のような突起21a、21bがそれぞれ突設されていて、相手の突起21a、21bが凹部23a、23bに嵌合することによって、その嵌合空間に圧縮室25の空間が形成されるようになっている。
空気吐出口15は、ポンプ室内で圧縮される過程で低圧縮比の段階で吐出する低圧縮用吐出口27と、高圧縮比に達して吐出する高圧縮用吐出口29とを有しており、低圧縮用吐出口27は、空気吸入口13から吸入された空気がポンプロータ11a、11bによって形成される圧縮室25の空間内に押し込まれる前に吐出されるような位置に開口されていて、ポンプロータ11aに対応する第1低圧縮用吐出口27aと、ポンプロータ11bに対応する第2低圧縮用吐出口27bとを備えている。
また、この第1低圧縮用吐出口27aと、第2低圧縮用吐出口27bとは同一の開口断面積を有するとともに、第1低圧縮用吐出口27aおよび第2低圧縮用吐出口27bの開口断面積は高圧縮用吐出口29よりも大きく形成されている。
また、この第1低圧縮用吐出口27aと、第2低圧縮用吐出口27bとは同一の開口断面積を有するとともに、第1低圧縮用吐出口27aおよび第2低圧縮用吐出口27bの開口断面積は高圧縮用吐出口29よりも大きく形成されている。
高圧縮用吐出口29は、高圧縮空気を排出するように圧縮室25の空間に開口しており、図2に示すようにポンプロータ11a、11bの回転軸方向のポンプケーシング17の壁面に開口している。
また、図2に示すように空気吸入口13は、ポンプロータ11a、11bの半径方向のポンプケーシング17の一端側の壁面に開口され、第1低圧縮用吐出口27aと第2低圧縮用吐出口27bは、ポンプロータ11a、11bの半径方向のポンプケーシング17の他端側の壁面に開口されている。
このように、クロー型真空ポンプ9のポンプロータ11a、11bの回転軸方向、さらに半径方向それぞれの壁面に吐出口を形成することで、高圧縮用吐出口29および低圧縮用吐出口27を備えたブースターポンプ5を構成することができる。
また、図2に示すように空気吸入口13は、ポンプロータ11a、11bの半径方向のポンプケーシング17の一端側の壁面に開口され、第1低圧縮用吐出口27aと第2低圧縮用吐出口27bは、ポンプロータ11a、11bの半径方向のポンプケーシング17の他端側の壁面に開口されている。
このように、クロー型真空ポンプ9のポンプロータ11a、11bの回転軸方向、さらに半径方向それぞれの壁面に吐出口を形成することで、高圧縮用吐出口29および低圧縮用吐出口27を備えたブースターポンプ5を構成することができる。
第1低圧縮用吐出口27aとバックポンプ3とを連通する第1低圧排気通路30にはコントローラ32によって開閉制御される第1開閉弁34が設けられ、該第1開閉弁34の上流側に第2低圧縮用吐出口27bからの空気を合流させる第2低圧排気通路36が連結している。また、第1開閉弁34の下流側には高圧縮用吐出口29からの空気を合流させるために高圧排気通路38が連結し、高圧排気通路38にはコントローラ32によって開閉制御される第2開閉弁39が設けられている。
次にコントローラ32による制御について説明する。
コントローラ32には、真空タンク7の圧力またはブースターポンプ5の入口圧力が圧力センサ40から入力され、またタイマー42から経過時間信号が入力される。
排気始めに、第1開閉弁34を閉じて、第2開閉弁39を開きバックポンプ3を停止しておき、ブースターポンプ5だけを駆動する。これによって、第1低圧縮用吐出口27a、第2低圧縮用吐出口27bからの排気は遮断され、高圧縮用吐出口29からの排出空気が高圧排気通路38を通って直接大気に排出される。
コントローラ32には、真空タンク7の圧力またはブースターポンプ5の入口圧力が圧力センサ40から入力され、またタイマー42から経過時間信号が入力される。
排気始めに、第1開閉弁34を閉じて、第2開閉弁39を開きバックポンプ3を停止しておき、ブースターポンプ5だけを駆動する。これによって、第1低圧縮用吐出口27a、第2低圧縮用吐出口27bからの排気は遮断され、高圧縮用吐出口29からの排出空気が高圧排気通路38を通って直接大気に排出される。
この高圧排気通路38を通って大気に排出される運転の段階では、大気圧状態にあるタンク内の空気が高圧縮比によって圧縮されて大気へ直接排出される。このときバックポンプ3を介さずに直接排気されるのでバックポンプ3の影響を受けずに排出できる。例えばバックポンプ3の排気速度を大きくするために大型ポンプとするようなこともなく排出できる。
また、ブースターポンプ5の排気速度はバックポンプ3に比べて大きいものが用いられるため、その大きいブースターポンプ5の排気速度によって、排気されることで大気状態にある排気当初の状態から排気速度を低下させることなく排気できる。
また、ブースターポンプ5の排気速度はバックポンプ3に比べて大きいものが用いられるため、その大きいブースターポンプ5の排気速度によって、排気されることで大気状態にある排気当初の状態から排気速度を低下させることなく排気できる。
以上の高圧排気通路38だけから直接大気に排出される運転の段階では、図3に示すように大気圧状態P0からバックポンプ3の排気速度より高い排気速度Qの状態で排気されて、中真空状態P1へと減圧されていく。
次に、コントローラ32は、圧力センサ40からの入力信号によって、予め設定されている中真空状態の圧力P1に達したときを判断して、第1開閉弁34を開き、第2開閉弁39を閉じバックポンプ3を作動する。
これによって第1低圧縮用吐出口27aおよび第2低圧縮用吐出口27bからの排気がバックポンプ3に送られる。
中真空状態P1の空気を第1低圧縮用吐出口27aと第2低圧縮用吐出口27bからバックポンプ3に供給されることによってブースターポンプ5のブースター機能が働いて加圧作用によって排気速度が低下されることなく、さらにバックポンプ3の圧縮作用によって中真空状態P1から高真空状態へと達することができる。
これによって第1低圧縮用吐出口27aおよび第2低圧縮用吐出口27bからの排気がバックポンプ3に送られる。
中真空状態P1の空気を第1低圧縮用吐出口27aと第2低圧縮用吐出口27bからバックポンプ3に供給されることによってブースターポンプ5のブースター機能が働いて加圧作用によって排気速度が低下されることなく、さらにバックポンプ3の圧縮作用によって中真空状態P1から高真空状態へと達することができる。
また図4の(a)はブースターポンプ5、(b)はバックポンプ3、(c)は第1開閉弁34、(d)第2開閉弁39のそれぞれのON・OFFおよび開閉タイミングのタイムチャートを示し、排気開始時t0にはブースターポンプ5がONで、バックポンプ3がOFF、第1開閉弁34が閉で、第2開閉弁39が開であり、高圧縮用吐出口29からの排出空気が高圧排気通路38を通って直接大気に排出されることを示す。その後ブースターポンプ5の高圧縮用吐出口29からの吐出によって到達することができる中真空状態P1へと達し、そのP1に達したときt1に、ブースターポンプ5がON状態で、バックポンプ3がONし、第1開閉弁34が開き、第2開閉弁39が閉じて、ブースターポンプ5の第1低圧縮用吐出口27aおよび第2低圧縮用吐出口27bからの排気がバックポンプ3に送られる。
以上のように本実施の形態によれば、ブースターポンプ5の低圧縮用吐出口27a、27bおよび高圧縮用吐出口29の機能を使い分けることによってバックポンプ3が排気量の小さい小型のポンプでも、大気圧に近い低真空状態からの排気速度を向上できるとともに、さらに排気速度を低下させずに高真空状態への到達が可能となる。そして大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度の改善がなされる。
次に、第2の実施の形態について説明する。
第2の実施の形態は、コントローラ32がブースターポンプ5、バックポンプ3、第1開閉弁34、第2開閉弁39を切り換えるタイミングを圧力センサ40からの入力信号に代えて、タイマー42からの経過時間によって行うものである。
第2の実施の形態は、コントローラ32がブースターポンプ5、バックポンプ3、第1開閉弁34、第2開閉弁39を切り換えるタイミングを圧力センサ40からの入力信号に代えて、タイマー42からの経過時間によって行うものである。
真空タンク7の容積、ブースターポンプ5の圧縮室25の排気容量、ブースターポンプ5の駆動条件、大気温度等に基づいて予め、ブースターポンプ5の高圧縮用吐出口29からの排出によって大気圧P0からP1(中間真空状態)に達するまでの時間t1を算出して設定しておく。
そしてt0からt1に達したことをタイマー42の信号によって検知したときに、ブースターポンプ5がONで、バックポンプ3がONで、第1開閉弁34が開で、第2開閉弁39が閉の状態になるように制御することで、排気速度が低下されることなく中真空状態P1から高真空状態へと達することができる。
第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様に大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度の改善がなされる。
また、圧力センサ40を用いた場合には圧力センサ40が真空タンク7内や空気通路内のゴミや埃や水分によって目詰まりを生じたり、劣化して正確な値を検出できなくなる虞があるが、タイマー42によればこのようなセンサの検出誤差や劣化による問題も生じないため、信頼性の高い制御を行なうことができる。
また、圧力センサ40を用いた場合には圧力センサ40が真空タンク7内や空気通路内のゴミや埃や水分によって目詰まりを生じたり、劣化して正確な値を検出できなくなる虞があるが、タイマー42によればこのようなセンサの検出誤差や劣化による問題も生じないため、信頼性の高い制御を行なうことができる。
なお、以上の第1、第2の実施の形態では、コントローラ32によって自動的に第1開閉弁34、第2開閉弁39を開閉制御することを説明したが、作業者が圧力センサ40の検出値を見て判断して、直接第1開閉弁34、第2開閉弁を開閉作業しても良いことは勿論である。
また、ブースターポンプ5については、クロー型真空ポンプ9を用いて説明したが、低圧縮比の空気を排出する低圧縮用吐出口27と高圧縮比の空気を排出する高圧縮用吐出口29を備えることができれば、ルーツ型真空ポンプであって、スクリューポンプであっても良いことは勿論である。
また、空気を対象に説明したが、その他ガスであってもよい。
また、ブースターポンプ5については、クロー型真空ポンプ9を用いて説明したが、低圧縮比の空気を排出する低圧縮用吐出口27と高圧縮比の空気を排出する高圧縮用吐出口29を備えることができれば、ルーツ型真空ポンプであって、スクリューポンプであっても良いことは勿論である。
また、空気を対象に説明したが、その他ガスであってもよい。
本発明によれば、大気圧から低真空領域でも排気速度を向上して、大気圧から高真空状態までの全ての圧力領域で排気速度が改善される真空排気装置を提供することができるので、ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置に適用されて有益である。
1 真空排気装置
3 バックポンプ
5 ブースターポンプ
11a、11b ポンプロータ
17 ポンプケーシング(ハウジング)
25 圧縮室
27a 第1低圧縮用吐出口
27b 第2低圧縮用吐出口
29 高圧縮用吐出口
32 コントローラ
34 第1開閉弁
39 第2開閉弁
40 圧力センサ
42 タイマー
3 バックポンプ
5 ブースターポンプ
11a、11b ポンプロータ
17 ポンプケーシング(ハウジング)
25 圧縮室
27a 第1低圧縮用吐出口
27b 第2低圧縮用吐出口
29 高圧縮用吐出口
32 コントローラ
34 第1開閉弁
39 第2開閉弁
40 圧力センサ
42 タイマー
Claims (3)
- ブースターポンプとその下流側の大気側にバックポンプとを直列に備えてタンク、室内等を真空状態にする真空排気装置において、
前記ブースターポンプはポンプ室内で圧縮される過程で低圧縮比の段階で吐出する低圧縮用吐出口と高圧縮比に達して吐出する高圧縮用吐出口とを有し、排気始めは前記ブースターポンプを作動して前記高圧縮用吐出口から大気へガスを排気せしめ、該高圧縮用吐出口からの吐出によって到達することができる中真空状態に達したときに前記低圧縮用吐出口からの吐出ガスを前記バックポンプに供給するとともに前記バックポンプを作動せしめるコントローラを備えたことを特徴とする真空排気装置。 - 前記コントローラは前記中真空状態への到達をタイマーによる時間経過によって検出することを特徴とする請求項1記載の真空排気装置。
- 前記ブースターポンプはクロー型真空ポンプからなり、前記高圧縮用吐出口はロータの回転軸方向のハウジング壁面に開口し、前記低圧縮用吐出口はロータの半径方向のハウジング壁面に開口して形成されたことを特徴とする請求項1記載の真空排気装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006270048A JP2008088880A (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 真空排気装置 |
EP07018944A EP1906023A1 (en) | 2006-09-29 | 2007-09-26 | Evacuation apparatus |
US11/861,337 US20080080982A1 (en) | 2006-09-29 | 2007-09-26 | Evacuation apparatus |
CNA2007101821937A CN101153585A (zh) | 2006-09-29 | 2007-09-29 | 抽空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006270048A JP2008088880A (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 真空排気装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008088880A true JP2008088880A (ja) | 2008-04-17 |
Family
ID=38819504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006270048A Pending JP2008088880A (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 真空排気装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080080982A1 (ja) |
EP (1) | EP1906023A1 (ja) |
JP (1) | JP2008088880A (ja) |
CN (1) | CN101153585A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015090102A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | アネスト岩田株式会社 | クローポンプ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH706231B1 (fr) * | 2012-03-05 | 2016-07-29 | Ateliers Busch Sa | Installation de pompage et procédé de contrôle d'une telle installation. |
GB2501735B (en) * | 2012-05-02 | 2015-07-22 | Edwards Ltd | Method and apparatus for warming up a vacuum pump arrangement |
US10094381B2 (en) * | 2015-06-05 | 2018-10-09 | Agilent Technologies, Inc. | Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same |
DE102016200112A1 (de) * | 2016-01-07 | 2017-07-13 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpenantrieb mit Stern-Dreieck-Umschaltung |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2492075A (en) * | 1945-10-30 | 1949-12-20 | Kinney Mfg Company | Vacuum pump |
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-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006270048A patent/JP2008088880A/ja active Pending
-
2007
- 2007-09-26 US US11/861,337 patent/US20080080982A1/en not_active Abandoned
- 2007-09-26 EP EP07018944A patent/EP1906023A1/en not_active Withdrawn
- 2007-09-29 CN CNA2007101821937A patent/CN101153585A/zh active Pending
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JP2015090102A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | アネスト岩田株式会社 | クローポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1906023A1 (en) | 2008-04-02 |
CN101153585A (zh) | 2008-04-02 |
US20080080982A1 (en) | 2008-04-03 |
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