JP4720599B2 - 赤外線センサ - Google Patents
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Description
G=2×α×(S/L)=560×10−9〔W/K〕となる。
G=2×α×(S/L)=1.0×10−8〔W/K〕
となり、熱コンダクタンスGを梁部42bがシリコン酸化膜により構成される比較例の熱コンダクタンスGの50分の1よりも小さな値とすることができ、脚部42,42を通した熱伝達をより抑制することができ、高感度化を図れる。
C=cv×A×d=22.6×10−10〔J/K〕となる。
C=cv×A×d=11.0×10−10〔J/K〕
となり、支持部41の熱容量Cを支持部41がシリコン酸化膜により構成される比較例の場合に比べて半分よりも小さな値とすることができ、時定数が小さくなって応答速度の高速化を図れる。
1a シリコン基板
1b 絶縁膜
3 温度検知部
4 断熱部
6 赤外線反射膜
7 間隙
8 配線
10 導体パターン
41 支持部
42 脚部
Claims (3)
- ベース基板と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部と、温度検知部がベース基板の一表面から離間して配置されるように温度検知部を支持して温度検知部とベース基板とを熱絶縁する断熱部とを備え、断熱部は、ベース基板の前記一表面から離間して配置され温度検知部が設けられた支持部と、支持部とベース基板とを連結した脚部とを有し、脚部は、ベース基板の前記一表面側に立設された支持ポスト部と、支持ポスト部の上端部と支持部とを連結した梁部とを備え、梁部がベース基板の前記一表面に沿った幅方向に直交する面内で、ベース基板の前記一表面との間の距離が周期的に変化するコルゲート板状の蛇行した形状に形成されてなることを特徴とする赤外線センサ。
- 前記脚部と前記支持部との少なくとも一方は、多孔質材料により形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサ。
- 前記多孔質材料は、多孔質の酸化シリコン、多孔質の酸化シリコン系有機ポリマー、多孔質の酸化シリコン系無機ポリマーの群から選択される材料であることを特徴とする請求項2に記載の赤外線センサ。
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