JP4714510B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 113
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 71
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 39
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 39
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 38
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 38
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 21
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 12
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 7
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 41
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 27
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 14
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910020220 Pb—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020935 Sn-Sb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020994 Sn-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008757 Sn—Sb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009069 Sn—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
高分子材料で構成され、主面に導体パターンが形成された板状のコア本体に、主面間を貫通する貫通孔として副コア収容部が形成され、その内部にセラミックで構成され、主面に導体パッドが形成された板状のセラミック副コアが収容されたコア基板と、該コア基板の主面上に高分子材料で構成された誘電体層と導体層とが交互に積層して形成された配線積層部とを備える配線基板の製造方法であって、
コア本体の主面間を貫通する貫通孔として形成された副コア収容部の第2主面側の開口を、表面に粘着剤を有するシート材で、該粘着剤が副コア収容部の内側に露出するように塞ぐ閉塞工程と、
セラミック副コアを、副コア収容部の第1主面の開口側から収容するとともに粘着剤に固着させる副コア収容工程と、
セラミック副コアとシート材とを厚さ方向に相互に加圧する加圧工程と、
コア本体とセラミック副コアの隙間に充填樹脂を注入して硬化させる充填硬化工程と、をこの順に含み、
加圧工程は、コア本体、セラミック副コア、シート材により構成される積重物を一対の加圧ローラで挟持することにより加圧を行うことを特徴とする。
本発明の配線基板の製造方法により得られる配線基板の実施形態を、図面を参照しながら説明する。図1は、配線基板1の断面構造を概略的に表す図である。なお、本実施形態において板状の部材は、図中で上側に表れている面を第1主面MP1とし、下側に表れている面を第2主面MP2とする。配線基板1は、コア基板CBのうち半田バンプ7の下部領域にセラミック副コア3を有しており、半導体集積回路素子(ICチップ)Cとの線膨張係数差を縮減し、熱応力による断線等を生じ難くするものである。以下、詳細な説明を行う。
配線基板1の第1変形例(配線基板1’)について説明する。以下、主に配線基板1と異なる箇所について述べ、重複する箇所については図中に同番号を付して説明を省略する。図9に示す配線基板1’は、セラミック副コア3’の第1主面MP1側に薄膜コンデンサ部3Cが組込まれてなる。薄膜コンデンサ部3Cは、ICチップCのスイッチングノイズの低減や動作電源電圧の安定化を図るためのものであり、半田バンプ7直下に当たるセラミック副コア3’の第1主面MP1側(セラミック基体34上)に設けられることで、ICチップCと薄膜コンデンサ3Cとの間の配線長を短縮化し、配線のインダクタンス成分の減少に寄与している。
配線基板1の第2変形例(配線基板1”)について説明する。以下、主に配線基板1と異なる箇所について述べ、重複する箇所については図中に同番号を付して説明を省略する。図13に示す配線基板1”は、セラミック副コア3”の全体が積層セラミックコンデンサとして構成されている。この積層セラミックコンデンサは、第1変形例(配線基板1’)における薄膜コンデンサ部3Cと同様の積層構造を有しており、電源端子7aに対応する電源側電極導体層と、グランド端子7bに対応するグランド側電極導体層との互いに直流的に分離された2種類の電極導体層36,37が、セラミック層33により隔てられた形で積層方向に交互に配列している。
本発明の配線基板の製造方法の実施形態を、図面を参照しながら説明する。図4〜図8は、配線基板1の製造工程を表す図である。
2 コア本体
25 副コア収容部
3 セラミック副コア
4 充填樹脂
6 ビア導体
7 半田バンプ
AB 補助板
CB コア基板
S シート材
ad 粘着剤
GR 加圧ローラ
L1,L2 配線積層部
Claims (5)
- 高分子材料で構成され、主面に導体パターンが形成された板状のコア本体に、主面間を貫通する貫通孔として副コア収容部が形成され、その内部にセラミックで構成され、主面に導体パッドが形成された板状のセラミック副コアが収容されたコア基板と、該コア基板の主面上に高分子材料で構成された誘電体層と導体層とが交互に積層して形成された配線積層部とを備える配線基板の製造方法であって、
前記コア本体の主面間を貫通する貫通孔として形成された前記副コア収容部の第2主面側の開口を、表面に粘着剤を有するシート材で、該粘着剤が前記副コア収容部の内側に露出するように塞ぐ閉塞工程と、
前記セラミック副コアを、前記副コア収容部の第1主面の開口側から収容するとともに前記粘着剤に固着させる副コア収容工程と、
前記セラミック副コアと前記シート材とを厚さ方向に相互に加圧する加圧工程と、
前記コア本体と前記セラミック副コアの隙間に充填樹脂を注入して硬化させる充填硬化工程と、
をこの順に含み、
前記加圧工程は、前記コア本体、前記セラミック副コア、前記シート材により構成される積重物を一対の加圧ローラで挟持搬送することにより加圧を行うことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記加圧工程は、少なくとも前記セラミック副コアの第1主面に補助板を載置して加圧を行う請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記セラミック副コアは前記コア本体と同じ厚さを有してなり、
前記加圧工程は、前記セラミック副コアの第1主面を含む前記コア本体の第1主面に補助板を載置して加圧を行う請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。 - 前記副コア収容工程は、前記セラミック副コアを、その第1主面が前記コア本体の第1主面と板厚方向の高さを揃える形で収容し、
前記加圧工程は、前記セラミック副コアの第1主面を含む前記コア本体の第1主面に補助板を載置して加圧を行う請求項1ないし3のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。 - 前記シート材の表面の前記粘着剤がゴム系粘着剤である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005175228A JP4714510B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005175228A JP4714510B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006351778A JP2006351778A (ja) | 2006-12-28 |
JP4714510B2 true JP4714510B2 (ja) | 2011-06-29 |
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ID=37647311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005175228A Expired - Fee Related JP4714510B2 (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 配線基板の製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4714510B2 (ja) |
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-
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