JP4708721B2 - 固体撮像素子 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態における固体撮像素子の平面図である。
上記第1の実施形態においては、固体撮像素子30を構成する各画素の光導波路36は固体撮像素子30の周辺部にいくにしたがって固体撮像素子の中心に対して周辺側に位置する傾斜面の角度を垂直に近づけるように変化させるように構成された例を示したが、図6の固体撮像素子の概略断面図に示すような形状にしても、上記第1の実施形態と同様の効果を達成することが可能である。
上記第1の実施形態では、光導波路の屈折率界面での全反射を用いて受光部に光を導く例を示したが、図7の固体撮像素子の概略断面図に示すような構成にしても上記第1の実施形態と同様の効果を達成することが可能である。
20 レジスト膜
30 固体撮像素子
31 マイクロレンズ
32 Si基板
33 受光部
34 転送電極
35 層間絶縁膜
36、39 光導波路
37 カラーフィルタ
38 配線電極
Claims (2)
- マイクロレンズと、撮影レンズを介して入射する入射光を電気信号に変換する光電変換手段と、前記マイクロレンズと前記光電変換手段との間に配置され、前記マイクロレンズからの光を前記光電変換手段に導光する導光手段とを各々が有する複数の画素を備えた固体撮像素子であって、前記固体撮像素子の中央部に位置する画素では、前記撮影レンズから入射する光の主光線がほぼ垂直に入射し、前記中央部に位置していない画素では、前記撮影レンズから入射する光の主光線が、当該撮影レンズの射出瞳と前記画素との位置で決まる所定の角度で入射し、
前記導光手段は、該導光手段の周囲に配置される材料よりも高屈折率の材料で構成され、前記マイクロレンズから入射する光が前記導光手段と該導光手段の周囲に配置される材料との境界面で全反射させるように構成された多角錐台または円錐台の形状を有し、画素位置が前記固体撮像素子の中央部から周辺部に向かって離れるにしたがって、前記導光手段における前記固体撮像素子の周辺側に位置する傾斜面の角度が垂直に近づくように形成したことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記マイクロレンズは、画素位置が前記固体撮像素子の中央部から周辺部に向かって離れるにしたがって、前記導光手段の中心軸に対して前記固体撮像素子の中心側に偏心して配置されることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004066293A JP4708721B2 (ja) | 2004-03-09 | 2004-03-09 | 固体撮像素子 |
US11/009,294 US7060961B2 (en) | 2003-12-12 | 2004-12-10 | Image sensing element and optical instrument having improved incident light use efficiency |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004066293A JP4708721B2 (ja) | 2004-03-09 | 2004-03-09 | 固体撮像素子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005259824A JP2005259824A (ja) | 2005-09-22 |
JP2005259824A5 JP2005259824A5 (ja) | 2007-04-26 |
JP4708721B2 true JP4708721B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=35085286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004066293A Expired - Fee Related JP4708721B2 (ja) | 2003-12-12 | 2004-03-09 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4708721B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10802201B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-10-13 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device which prevents formation of parasitic capacitor in a pixel |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5055033B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2012-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
KR100967648B1 (ko) * | 2007-12-24 | 2010-07-07 | 주식회사 동부하이텍 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 |
JP5521302B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP5506517B2 (ja) | 2010-04-12 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子 |
WO2019039177A1 (ja) * | 2017-08-23 | 2019-02-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像装置 |
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2004
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005259824A (ja) | 2005-09-22 |
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