JP4703590B2 - 真空吸着装置及びそれを用いた吸着方法 - Google Patents
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Description
11、211、311:吸着体
13、213、313:支持体
14、214、314:吸着面
15、215、315:吸引溝
16、216、316:吸引孔
17、217、317:取付穴
19、219、319:隔壁部
19a:隔壁部の上端部
19b:隔壁部の下端部
Claims (9)
- 多孔質セラミックスからなり、その表面に被吸着物を吸着するための吸着面を有する吸着体と、前記吸着体を支持する支持体とを備えた真空吸着装置であって、前記吸着体は少なくとも1つ以上の隔壁部を有し、該隔壁部の少なくとも吸着面に相当する上端部の平均気孔径は、前記吸着体の前記隔壁部を除く吸着面側の平均気孔径より小さいとともに前記隔壁部の下端部の平均気孔径より大きいことを特徴とする真空吸着装置。
- 前記隔壁部の少なくとも上端部は、前記多孔質セラミックスの気孔内に封止材を有することを特徴とする請求項1に記載の真空吸着装置。
- 前記封止材は、セラミックスおよびガラスのうち少なくとも1種以上から選択されることを特徴とする請求項2に記載の真空吸着装置。
- 前記多孔質セラミックスは、その表面抵抗が109Ω/□以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の真空吸着装置。
- 前記多孔質セラミックスは、その熱伝導率が50W/m・K以上であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の真空吸着装置。
- 前記多孔質セラミックスは、炭化珪素質焼結体から成ることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の真空吸着装置。
- 前記被吸着物が、半導体ウエハであることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の真空吸着装置。
- 請求項1〜7の何れかに記載の真空吸着装置を用いて大きさの異なる被吸着物を吸着し、処理を行う方法であって、前記吸着体に対応する被吸着物を吸着体により吸着し、前記隔壁部に対応する被吸着物を隔壁部により形成された領域にて吸着することを特徴とする吸着方法。
- 請求項1〜7の何れかに記載の真空吸着装置を用いて複数の被吸着物を吸着する方法であって、前記吸着体および前記隔壁部により被吸着物を吸着することを特徴とする吸着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007063031A JP4703590B2 (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 真空吸着装置及びそれを用いた吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007063031A JP4703590B2 (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 真空吸着装置及びそれを用いた吸着方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008227125A JP2008227125A (ja) | 2008-09-25 |
JP4703590B2 true JP4703590B2 (ja) | 2011-06-15 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4703590B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015126208A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社日本セラテック | 真空吸着装置およびその製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010171172A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Eisaku Hibi | 部品保持治具及び、該部品保持治具を用いた負圧吸着装置 |
JP2010260318A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Ihi Corp | 吸着ステージ |
JP6010811B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2016-10-19 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 吸着盤 |
JP6360756B2 (ja) * | 2014-09-05 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
JP7497210B2 (ja) | 2019-05-30 | 2024-06-10 | 京セラ株式会社 | 載置用部材、検査装置および加工装置 |
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2007
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JP2008227125A (ja) | 2008-09-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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