JP4696826B2

JP4696826B2 - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP4696826B2
Application number: JP2005296212A
Authority: JP
Inventors: 嘉浩立澤
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2005-10-11
Filing date: 2005-10-11
Publication date: 2011-06-08
Anticipated expiration: 2025-10-11
Also published as: JP2007107906A

Description

本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査などを行うためのＸ線検査装置に関し、さらに詳細には、同一形状の被測定物を、順次、Ｘ線検査装置のステージに載置して繰り返し測定を行うＸ線検査装置に関する。

工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器を配置し、さらにＸ線源とＸ線検出器との間に移動可能なステージを配置して、ステージ上に被測定物を載置するようにしてある。そして、ステージを移動して測定視野内（Ｘ線通過領域）に被測定物を移動し、Ｘ線測定を行う。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。

Ｘ線検査では、同一形状の多数の被測定物について、それぞれ同じ位置を次々と検査する場合がある。このような場合に、１の被測定物に含まれる複数の検査位置を、シーケンスとして記憶しておき、そのシーケンスに従ってＸ線測定光学系の測定視野を変更し、各検査位置を順番に表示画面に再現することで効率的に検査を行う、いわゆるティーチング機能を備えた装置が市販されている。
ティーチング機能を備えたＸ線検査装置としては、産業用ロボットのような位置再現性に優れた搬送手段を用いて、予めティーチングした被測定物の任意のポイントを測定視野内に移動させ、測定（観察）することが開示されている（例えば特許文献１参照）。
特開２００４−１１７２１４号公報

同一形状を有する複数の被測定物について１つ１つステージ上に載せ、それぞれ同じ位置を次々と検査する場合、記憶させたシーケンスに基づいて測定視野を変更しつつ測定を行う方法では、１つ１つの被測定物をステージ上に載置するときに、ステージに対し正確に位置決めする必要があり、相当な手間がかかる。そして正確な位置決めがなされない状態で測定を行うと、シーケンス記録時と同じステージ位置であるにもかかわらず、被測定物のＸ線画像は、位置ずれにより、シーケンス記録時とは異なったものとなってしまう。

上述した従来例のように、産業用ロボットを利用して被測定物を直接移動したり、産業用ロボットを利用して高い位置精度で被測定物をステージ上に載置したりする場合は、正確な位置決めが行えるので、効率的な測定を行うことができるのであるが、このような産業用ロボットを別途に用意しておく必要があり、非常に高価である。

そこで、本発明は、同一形状の被測定物について、それぞれ同じ位置を次々と検査する場合、位置決め精度の高い産業用ロボットを用いなくても、正確な位置決めが行え、同一形状の被測定物の測定を次々と効率的に行うことができるようにしたＸ線検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置の使用方法は、座標を指定することで位置決めが可能なステージと、ステージを挟むようにして対向配置されたＸ線源とＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線測定光学系で撮影した映像信号に基づいて作成したＸ線画像を表示する表示装置とを有し、予め基準測定物を用いて特徴点を教示するティーチングを行うことにより基準測定物の特徴点に対応するステージ上の基準点座標を記憶させておき、基準測定物と同一形状の被測定物を交換するようにステージ上に載置された状態で、記憶されたステージの基準点座標に基づいてステージの駆動機構を駆動させることによりステージに載置された被測定物のＸ線画像を表示するＸ線検査装置であって、ステージ上に基準測定物を載置した状態で基準測定物の特徴点の指定を受け付ける特徴点指定受付部と、指定された特徴点に対応するステージ上の基準点座標を記憶する基準点座標記憶領域と、ステージ上に被測定物を載置した状態で前記基準測定物の特徴点に対応する位置である被測定物の参照特徴点の指定を受け付ける参照点指定受付部と、指定された参照特徴点に対応するステージ上の参照点座標を記憶する参照点座標記憶領域と、基準点座標と参照点座標との座標差に基づいて被測定物の変位量を検出する変位算出部と、算出された変位量を補正するための変位補正信号を発生する変位補正信号発生部とを備えたＸ線検査装置の使用方法において、前記基準測定物をステージ上に載置するステップと、前記基準測定物のコーナを特徴点として指定することにより、前記基準点座標を記憶させるステップと、前記基準測定物をステージ上から除き、前記被測定物をステージ上に載置するステップと、前記被測定物のコーナを参照特徴点として指定することにより、前記参照点座標を記憶させるステップと、前記変位量算出部が、基準点座標と参照点座標との座標差に基づいて被測定物の変位量を検出するステップとを含むようにしている。

本発明によれば、ステージ上に基準測定物や被測定物を次々と載置し、これらをＸ線測定光学系で撮影することにより作成したＸ線画像を表示装置に表示して測定（観察）する。測定を行う際に、予め、基準測定物をステージ上に載置して、基準測定物内にあって基準測定物内の他の部位と識別できる特徴点を教示するティーチングを行う。
特徴点指定受付部は、ティーチングの際に、ステージ上に基準測定物を載置した状態で基準測定物の特徴点の指定を受け付ける。特徴点の指定は、表示装置に表示された特徴点を含むＸ線画像上で例えばポインティングデバイスで特徴点の位置を指示することにより行う。
特徴点の指定がなされると、その特徴点の直下にあるステージ上の座標が、特徴点に対応する基準点座標として基準点座標記憶領域に蓄積される。
以上の操作の後に、操作者が基準測定物と交換するように被測定物をステージに載置する。参照点指定受付部は、ステージ上に被測定物を載置した状態で、基準測定物の特徴点に対応する位置である被測定物の参照特徴点の指定を受け付ける。参照特徴点の指定についても、表示装置に表示された参照特徴点を含むＸ線画像上で、例えばポインティングデバイスで参照特徴点の位置を指示することにより行う。
参照特徴点の指定がなされると、その参照特徴点の直下にあるステージ上の座標が、参照特徴点に対応する参照点座標として参照点座標記憶領域に蓄積される。
変位算出部は、蓄積された基準点座標と参照点座標との座標差に基づいて、被測定物の変位量（基準測定物を載置した位置からの位置ずれ量）を検出する。
そして変位補正信号発生部は、算出された変位量を補正するための変位補正信号を駆動機構に送る。駆動機構は変位補正信号に基づいて、必要量だけステージを駆動することにより変位を打ち消す。

本発明によれば、被測定物をステージに載置する際に、基準測定物を載置した位置（ティーチングの際の位置）との変位が生じたとしても、被測定物の参照特徴点を指定するだけで、変位を補正することができるので、基準測定物と同じ位置を測定することができる。この操作を新しい被測定物に交換するごとに繰り返せば、複数の被測定物について、すべて同じ位置を測定（観察）することができる。

（その他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、ステージは回転駆動機構を有し、基準点座標および参照点座標がそれぞれ２点含まれるようにしてもよい。
これによれば、並進方向の変位とともに、回転方向の変位についても補正することもできる。

上記発明において、基準点座標および参照点座標がそれぞれ３点以上含まれるようにしてもよい。
これによれば、変位量を算出するときに、統計処理により変位を補正することができる。

上記発明において、Ｘ線測定光学系に対する位置が固定され前記Ｘ線画像より広い範囲を撮影する光学カメラにより撮影された光学カメラ画像を表示装置に表示するとともに、特徴点指定受付部および参照点指定受付部は、光学カメラ画像上で特徴点および参照特徴点の指定を受けるようにしてもよい。
これによれば、Ｘ線画像より広い範囲を撮影する光学カメラにより撮影された光学カメラ画像によって特徴点、参照特徴点を定めることができるので、特徴点や参照特徴点を見つけ出しやすい。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物Ｓを載置するステージ１４と、ステージ１４を直交するＸＹＺ方向（ステージ面をＸＹ面とする）に並進駆動およびＺ軸に沿って回転駆動するためのステージ駆動機構１６と、装置全体の制御を行う制御系２０とにより構成される。

制御系２０は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１と、キーボード２２と、マウス２３と、液晶パネルなどの表示装置２４と、メモリ２５とにより構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成部３１、Ｘ線画像表示制御部３２、光学カメラ画像作成部３３、光学カメラ画像表示制御部３４、駆動信号発生部３５、特徴点指定受付部３６、参照点指定受付部３７、変位算出部３８、補正信号発生部３９とに分けられる。
また、メモリ２５は、基準点座標記憶領域４１、参照点座標記憶領域４２、光学カメラ画像記憶領域４３、透視Ｘ線像記憶領域４４とが設けられている。

Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるＩＩと、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。

ステージ１４は、ステージ面内の方向であるＸＹ方向とステージ面に垂直なＺ方向との３次元方向にスライドすることが可能な下部ステージと、下部ステージに対しＺ軸方向の回転軸により回転可能に支持される上部ステージとにより構成され、被測定物Ｓ（または基準測定物）は上部ステージに載置されるようにしてある。
駆動機構１６は、ＸＹＺ方向の３軸方向駆動用モータ、回転駆動用モータが搭載され、ＣＰＵ２１からのステージ駆動のための駆動制御信号に基づいてステージ１４を並進移動したり、回転移動したりする。
光学カメラ１８はＸ線検出器１２に隣接し、透視Ｘ線像測定に支障をきたさないようにＸ線の測定視野から離れた位置に固定してあり、ステージ１４上の被測定物Ｓを撮影する。なお、光学カメラ１８は、その視野がステージ全体を撮影することもできるようにしてある。

次に、ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。
Ｘ線画像作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、コマ画像データを作成する制御を行う。
Ｘ線画像表示制御部３２は、作成されたコマ画像データを表示装置２４に順次送って表示することにより、透視Ｘ線画像２４ａを表示する制御を行う。モニタ画面に表示される画像はＸ線測定（観察）に用いられる画像（通常は局所画像）である。

光学カメラ画像作成部３３は、光学カメラ１８により撮影した映像信号をデジタル変換して、光学カメラ画像データを作成する。この光学カメラ画像データは、ステージ１４を原点位置（ステージ１４の初期位置で、この初期位置からステージ１４を移動することによりその後のステージ１４の位置や座標が常に把握できるようにするための基準となる位置）に位置決めした状態でステージ面を撮影する。撮影された光学カメラ画像データは光学カメラ画像記憶領域４３に蓄積される。

光学カメラ画像表示制御部３４は、蓄積された光学カメラ画像データに基づいて表示装置２４に光学カメラ画像２４ｂを表示する制御を行う。
表示装置２４のモニタ画面に表示された光学カメラ画像２４ｂ上の位置は、ステージ１４上の位置と対応が付けられている。
すなわち、ステージ１４上の各点の位置は、座標で表現できる。ステージ１４を原点に復帰させた状態で、ステージ１４の光学カメラ画像を作成すると、表示装置２４のモニタ画面にステージ１４の各点の画像が表示されることになる。これにより、実際のステージ１４上の各点と、モニタ画面に表示されている光学カメラ画像２４ｂ上のステージの各点との対応を付けることができる。この対応関係についても光学カメラ画像記憶領域４３に記憶させておくことにより、以後、モニタ画面上でマウス２３により位置を指定すると、原点復帰状態におけるその指定位置に対応するステージ座標を読み出すことができるようになる。

測定を開始する前に、予め、原点に復帰させた状態のステージ１４上に基準測定物を載置し、光学カメラ１８による撮影により、ステージ１４上の基準測定物の光学カメラ画像データを作成し、モニタ画面に表示する。
そして基準測定物の光学カメラ画像上で、基準測定物内の特徴点の位置をマウス２３によるカーソルで指定すると、その特徴点に対応するステージ座標（基準点座標）が抽出できるようにしてある。

また、原点復帰している状態で、Ｘ線測定光学系１３とステージ１４との位置関係は固定されているので、ステージ１４が原点復帰しているときのステージ１４の座標と透視Ｘ線像範囲とが予め対応付けられており、その対応関係（ステージ１４が原点復帰状態のときの透視Ｘ線像が得られる範囲の座標）が透視Ｘ線像範囲記憶領域４４に蓄積してある。
この結果、ステージ１４が原点復帰しているときに、表示装置２４のモニタ画面に表示されるＸ線画像２４ａ上でマウス２３にて位置を指定すると、透視Ｘ線像範囲記憶領域４４に蓄積してある対応関係のデータを参照することにより、対応するステージ１４の座標を読み出すことができる。以後、ステージ１４を原点位置から移動し、他の場所の透視Ｘ線像範囲をモニタ画面に表示するときは、移動量とマウス２３により指定したモニタ画面上の位置情報とを加算することにより、指定した透視Ｘ線像位置に対応するステージ座標が抽出されるようにしてある。

駆動信号発生部３５は、キーボード２２やマウス２３により、ステージ１４を並進移動したり、回転移動したりするための操作が行われたときに、その制御量に応じた駆動信号を発生する制御を行う。発生した駆動信号は駆動機構１６に送られ、関係する並進駆動用モータ、回転駆動用モータを作動させて所望の位置にステージ１４を移動することになる。

特徴点指定受付部３６は、表示装置２４のモニタ画面に、基準測定物のＸ線画像２４ａ、光学カメラ画像２４ｂを表示している状態で、Ｘ線画像２４ａまたは光学カメラ画像２４ｂの画像上で、マウス２３による特徴点を指定するための入力を受け付ける制御を行う。
特徴点を指定するための入力は、モニタ画面上に十字カーソル等を表示し、マウス２３の操作によって特徴点（基準測定物の四隅点など）上をクリックする。これにより、特徴点の直下のステージ座標が基準点座標として読み出され、基準点座標記憶領域４１に蓄積される。
指定する特徴点の数（すなわち基準点座標記憶領域４１蓄積される基準点座標の数）は、並進移動の変位だけを補正するときは１つあればよい。回転方向の変位も補正するときは２つあればよい。また、３つ以上の特徴点を指定し、統計的に並進や回転の変位を補正することにより、精度を高めるようにしてもよい。

参照点指定受付部３７は、基準測定物と交換するように被測定物が載置され、表示装置２４のモニタ画面に少なくともＸ線画像２４ａ、光学カメラ画像２４ｂのいずれかが表示された状態で、これらＸ線画像２４ａ、光学カメラ画像２４ｂの画像上で、マウス２３による参照特徴点（基準測定物の特徴点に対応する被測定物の位置）を指定するための入力を受け付ける制御を行う。
参照特徴点を指定する際の入力についても、モニタ画面上に十字カーソル等を表示し、マウス２３の操作によって参照特徴点上をクリックする。これにより、参照特徴点の直下のステージ座標が参照点座標として読み出され、参照点座標記憶領域４２に蓄積される。
指定する参照特徴点の数（すなわち参照点座標記憶領域４２に蓄積される参照点座標の数）は、並進移動の変位を補正するときは１つ、回転方向の変位も補正するときは２つにする。特徴点が３つ以上のときは参照点も３つ以上にし、特徴点と同数にする。

変位算出部３８は、互いに対応する基準点座標と参照点座標との座標差を算出することにより、変位量（位置ずれ量）を算出する。
ここで、基準点座標と参照点座標との対の数が１つだけ指定されている場合は、ＸＹＺ方向の座標差によって並進方向の変位（位置ずれ）が算出される。
基準点座標と参照点座標との対の数が２つの場合は、２点を結ぶ線分の向きが一致するようなＺ軸回転方向の変位（角度ずれ）と、並進方向の変位(位置ずれ)とが算出される。
基準点座標と参照点座標との対の数が３つの場合は、理論的には立体的な変位、すなわち３点を含む平面が一致するような面方向の変位について算出することができることになるが、元々平坦なステージ面に被測定物を載置しているので、面方向の変位はほとんど問題とならない。
むしろ、基準点座標と参照点座標との対の数が３つあるいはそれ以上にした場合は、統計的処理により各点の変位の標準偏差が最も小さくなるように各点の変位が算出される。

補正信号発生部３９は、算出された三軸方向の変位や角度の変位に基づいて、これを補正するための補正信号を発生し、補正信号を駆動機構１６に送る制御を行う。

次に、上記Ｘ線検査装置により本発明を実行するときの動作について説明する。
以下では、光学カメラ画像２４ｂを用いて、マウス２３により特徴点（基準測定物）、参照特徴点（被測定物）の指定を行う場合を説明するが、Ｘ線画像２４ａを用いる場合であっても使用する画像が異なるだけであり、手順は同様である。なお、光学カメラ画像２４ｂを用いた場合は、画像の視野が広いため、特徴点等を探しやすい点で有利であるが、画像自体の倍率はＸ線画像に比べて低いため、位置座標を高い精度で合わせる点では不利である。これに対し、Ｘ線画像２４ａを用いる場合は、視野が狭いので特徴点等を探しにくい反面、画像の倍率は高いため、位置座標を精度よく一致させやすい点で有利である。
図２〜図８は、表示装置２４のモニタ画面に表示される光学カメラ画像２４ｂを示した図である。なお、図中の視野Ｌは、Ｘ線画像２４ａが撮影される範囲を示している。

（１）図２の光学カメラ画像２４ｂに示されるように、最初に基準測定物Ｓ_０をステージ１４に載置し、光学カメラ画像２４ｂ上で特徴点を探す。ここでは基準測定物Ｓ_０は正方形であるので、そのコーナを特徴点とする。ステージ１４上で基準測定物Ｓ_０の右下のコーナを第一の特徴点Ｂ_１と定め、マウス２３により特徴点Ｂ_１を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系の視野Ｌ内に右下部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で特徴点Ｂ_１を指定する）。
これにより、特徴点Ｂ_１直下のステージ座標（基準点座標ｂ_１）が読み出され、基準点座標記憶領域４１に蓄積される。
並進移動の変位のみを補正する場合は、以下の動作を飛ばして、（４）に進む。

（２）続いて、図３に示すように、基準測定物Ｓ_０の右上のコーナを第二の特徴点Ｂ_２と定め、マウス２３により特徴点Ｂ_２を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系の視野Ｌ内に右上部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で特徴点Ｂ_２を指定する）。
これにより、特徴点Ｂ_２直下の座標（基準点座標ｂ_２）が読み出され、基準点座標記憶領域４１に蓄積される。並進移動の変位と回転変位とを補正する場合は、以下の動作を飛ばして（４）に進む。
通常は、２点で十分であるが、精度を高めるため、変位の標準偏差が最も小さくなるように統計的処理を行う場合は以下の（３）に続く。

（３）統計的処理を行う場合は、図４に示すように、基準測定物Ｓ_０の左下のコーナを第三の特徴点Ｂ_３と定め、同様の手順で特徴点Ｂ_３を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系の視野Ｌ内に左下部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で特徴点Ｂ_３を指定する）。
これにより、特徴点Ｂ_３直下の座標（基準点座標ｂ_３）が読み出され、基準点座標記憶領域４１に蓄積される。さらに、第四番目以降の特徴点Ｂ_４、・・を定めてもよいが、ここでは３点で統計処理するものとする。

（４）続いて、図５に示すように基準測定物Ｓ_０をステージ１４から除き、代わりに被測定物Ｓ_１をステージ１４の上に載置する。このとき、基準測定物Ｓ_０が置いてあった位置に、ある程度位置合わせするようにして、マウス２３で指定しようとする点（参照特徴点）が簡単に見つかるようにする。ここでは便宜上、被測定物Ｓ_１はＳ_０の軌跡位置から僅かに回転および並進して載置されたものとする。

（５）図５に示すように、ステージ１４上で被測定物Ｓ_１の右下のコーナが第一の特徴点Ｂ_１に対応する参照特徴点Ｒ_１となるため、マウス２３により特徴点Ｒ_１を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系１３の視野Ｌ内に右下部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で参照特徴点Ｒ_１を指定する）。
これにより、参照点Ｒ_１の直下の座標（参照点座標ｒ_１）が読み出され、参照点座標記憶領域４２に蓄積される。
ここで、基準測定物Ｓ_０に対し、特徴点Ｂ_１のみしか指定しなかったときは、以下の動作を飛ばして（８）に進む。

（６）続いて、図６に示すように、ステージ１４上で被測定物Ｓ_１の右上のコーナが第二の特徴点Ｂ_２に対応する参照特徴点Ｒ_２となるため、マウス２３により特徴点Ｒ_２を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系１３の視野Ｌ内に右上部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で参照特徴点Ｒ_２を指定する）。
これにより、参照点Ｒ_２の直下の座標（参照点座標ｒ_２）が読み出され、参照点座標記憶領域４２に蓄積される。
ここで、基準測定物Ｓ_０に対し、特徴点Ｂ_１、Ｂ_２しか指定しなかったときは、以下の動作を飛ばして（８）に進む。

（７）続いて、図７に示すように、ステージ１４上で左下のコーナが第三の特徴点Ｂ_３に対応する参照特徴点Ｒ_３となるため、マウス２３により特徴点Ｒ_３を指定する（Ｘ線画像２４ａ上で指定する場合は、Ｘ線光学測定系１３の視野Ｌ内に左下部分が入るようにステージ１４を移動し、視野Ｌ内で参照特徴点Ｒ_３を指定する）。
これにより、参照点Ｒ_３の直下の座標（参照点座標ｒ_３）が読み出され、参照点座標記憶領域４２に蓄積される。

（８）続いて、基準点座標記憶領域４１および参照点座標記憶領域４２に蓄積され、それぞれ対応する基準点座標ｂ_１、ｂ_２、ｂ_３と参照点座標ｒ_１、ｒ_２、ｒ_３との差が算出され、標準偏差が最も小さくなるように各点の変位を算出する。
そして、算出された変位量に合わせてステージ１４を回転、並進移動させることにより位置補正を行い、例えば図８に示すように、ステージ１４が回転、並進移動することにより、被測定物の変位を補正し、基準測定物と同一状態での測定が可能となる。

なお、基準点座標と参照点座標との対の数が２つの場合は、２点を結ぶ線分の向きが一致するように回転角を算出した上で、並進距離を算出することにより、回転と並進との変位を補正することができる。

また、基準点座標と参照点座標との対の数が１つの場合は、回転移動の補正は行えず、並進距離を算出することにより並進移動についてのみ補正することができる。

本発明は、同一形状の被測定物のＸ線検査を次々と行うＸ線検査装置に利用することができる。

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。本発明における第一特徴点を指定する手順を説明する図。本発明における第二特徴点を指定する手順を説明する図。本発明における第三特徴点を指定する手順を説明する図。本発明における第一参照点を指定する手順を説明する図。本発明における第二参照点を指定する手順を説明する図。本発明における第三参照点を指定する手順を説明する図。ステージの補正を行った状態を説明する図。

符号の説明

１：Ｘ線検査装置
１１：Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：Ｘ線検出器
１３：Ｘ線測定光学系
１４：ステージ
１６：駆動機構
２０：制御系
２１：ＣＰＵ
２２：キーボード
２３：マウス
２４：表示装置
２５：メモリ
３１：Ｘ線画像作成部
３２：Ｘ線画像表示制御部
３３：光学カメラ画像作成部
３４：光学カメラ画像表示制御部
３５：駆動信号発生部
３６：特徴点指定受付部
３７：参照点指定受付部
３８：変位算出部
３９：補正信号発生部
４１：基準点座標記憶領域
４２：参照点座標記憶領域
４３：光学カメラ画像記憶領域
４４：透視Ｘ線像記憶領域

Claims

座標を指定することで位置決めが可能なステージと、ステージを挟むようにして対向配置されたＸ線源とＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線測定光学系で撮影した映像信号に基づいて作成したＸ線画像を表示する表示装置とを有し、予め基準測定物を用いて特徴点を教示するティーチングを行うことにより基準測定物の特徴点に対応するステージ上の基準点座標を記憶させておき、基準測定物と同一形状の被測定物を交換するようにステージ上に載置された状態で、記憶されたステージの基準点座標に基づいてステージの駆動機構を駆動させることによりステージに載置された被測定物のＸ線画像を表示するＸ線検査装置であって、
ステージ上に基準測定物を載置した状態で基準測定物の特徴点の指定を受け付ける特徴点指定受付部と、
指定された特徴点に対応するステージ上の基準点座標を記憶する基準点座標記憶領域と、
ステージ上に被測定物を載置した状態で前記基準測定物の特徴点に対応する位置である被測定物の参照特徴点の指定を受け付ける参照点指定受付部と、
指定された参照特徴点に対応するステージ上の参照点座標を記憶する参照点座標記憶領域と、
基準点座標と参照点座標との座標差に基づいて被測定物の変位量を検出する変位量算出部と、
算出された変位量を補正するための変位補正信号を駆動機構に送る補正信号発生部とを備えたＸ線検査装置の使用方法において、
前記基準測定物をステージ上に載置するステップと、
前記基準測定物のコーナを特徴点として指定することにより、前記基準点座標を記憶させるステップと、
前記基準測定物をステージ上から除き、前記被測定物をステージ上に載置するステップと、
前記被測定物のコーナを参照特徴点として指定することにより、前記参照点座標を記憶させるステップと、
前記変位量算出部が、基準点座標と参照点座標との座標差に基づいて被測定物の変位量を検出するステップとを含むことを特徴とするＸ線検査装置の使用方法。
ステージは回転駆動機構を有し、基準点座標および参照点座標がそれぞれ２点含まれることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置の使用方法。
基準点座標および参照点座標がそれぞれ３点含まれることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置の使用方法。
Ｘ線測定光学系に対する位置が固定され前記Ｘ線画像より広い範囲を撮影する光学カメラにより撮影された光学カメラ画像を表示装置に表示するとともに、特徴点指定受付部および参照点指定受付部は、光学カメラ画像上で特徴点および参照特徴点の指定を受けることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置の使用方法。