JP4693407B2 - 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 - Google Patents
圧電薄膜デバイス及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4693407B2 JP4693407B2 JP2004380113A JP2004380113A JP4693407B2 JP 4693407 B2 JP4693407 B2 JP 4693407B2 JP 2004380113 A JP2004380113 A JP 2004380113A JP 2004380113 A JP2004380113 A JP 2004380113A JP 4693407 B2 JP4693407 B2 JP 4693407B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- acoustic reflection
- acoustic
- thin film
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
K.M.Lakin,et al. Development of Miniature Filters for Wireless Applications. IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol.43, No.12, p2933, December 1995. K.M.Lakin,et al. Temperature Compensated Bulk Acoustic Thin Film Resonator. IEEE Ultrasonics Symposium paper 3H-2, October 24,2000.
2・・・基板
3・・・音響反射膜群
3a・・・音響反射層(低音響インピーダンス層)
3b・・・音響反射層(高音響インピーダンス層)
4・・・圧電層
5・・・下部導電層
5a・・・Ti層
5b・・・Au層
Claims (4)
- 基板と、該基板上に形成された酸化亜鉛又は酸化亜鉛を主成分とする材料からなる少なくとも一層以上の圧電層と、該圧電層の上下に複数の導電層を有し、該基板と該圧電層の間に、複数の音響反射層により形成される音響反射層群を有する圧電薄膜デバイスにおいて、
該音響反射層群は、第一の音響反射層と第二の音響反射層が交互に複数積層して構成されており、
該第一の音響反射層は、酸化亜鉛又は酸化亜鉛を主成分とする材料で形成される高音響インピーダンス層であり、
該第二の音響反射層は、二酸化珪素又は二酸化珪素を主成分とする材料で形成される低音響インピーダンス層であり、
該第一の音響反射層の表面形態が任意の算術表面粗さ(Ra1)であり、且つ第二の音響反射層の表面形態が該第一の音響反射層の算術表面粗さ(Ra1)より小さな算術表面粗さ(Ra2)であることを特徴とする圧電薄膜デバイス。 - 該第二の音響反射層が、RFスパッタ方式を用いて、0.9Pa以下の真空度及び/又は300℃以上の温度環境下で、且つパワー密度が10.0W/cm2以上の条件で形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の圧電薄膜デバイス。
- 基板と、前記基板上に形成された酸化亜鉛又は酸化亜鉛を主成分とする材料からなる少なくとも一層以上の圧電層と、前記圧電層に電圧を印加するための複数の導電層を有し、前記基板と前記圧電層の間に、複数の音響反射層からなる音響反射層群を有する圧電薄膜デバイスの製造方法において、
酸化亜鉛又は酸化亜鉛を主成分とする材料で形成される高音響インピーダンス層である第一の音響反射層を、その表面形態が任意の算術表面粗さ(Ra1)となるように形成し、
二酸化珪素又は二酸化珪素を主成分とする材料で形成される低音響インピーダンス層である第二の音響反射層を、その表面形態が該第一の音響反射層の算術表面粗さ(Ra1)より小さな算術表面粗さ(Ra2)となるように形成し、
該第一の音響反射層と該第二の音響反射層とを交互に複数積層して該音響反射層群を形成する
ことを特徴とする圧電薄膜デバイスの製造方法。 - 該第二の音響反射層を、RFスパッタ方式を用いて、0.9Pa以下の真空度及び/又は300℃以上の温度環境下で、且つパワー密度が10.0W/cm2以上で形成することを特徴とする請求項3に記載の圧電薄膜デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004380113A JP4693407B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004380113A JP4693407B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186833A JP2006186833A (ja) | 2006-07-13 |
JP4693407B2 true JP4693407B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=36739579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004380113A Expired - Fee Related JP4693407B2 (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4693407B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201714646D0 (en) * | 2017-09-12 | 2017-10-25 | Spts Technologies Ltd | Saw device and method of manufacture |
CN112511125B (zh) * | 2020-09-23 | 2024-01-26 | 广东广纳芯科技有限公司 | 声表面波器件的制造方法 |
WO2023171715A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器、通信装置および弾性波装置の製造方法 |
TW202406299A (zh) * | 2022-03-31 | 2024-02-01 | 日商日東電工股份有限公司 | 聲響多層膜、高頻濾波器裝置及體彈性波濾波器裝置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001313535A (ja) * | 2000-02-11 | 2001-11-09 | Lucent Technol Inc | 金属層の上にピエゾ電子材料層が堆積された電子デバイスを製造する方法 |
JP2002324926A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体薄膜形成方法、及び圧電体薄膜の応用デバイス |
JP2004221622A (ja) * | 2002-01-08 | 2004-08-05 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置および圧電共振子の製造方法 |
-
2004
- 2004-12-28 JP JP2004380113A patent/JP4693407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001313535A (ja) * | 2000-02-11 | 2001-11-09 | Lucent Technol Inc | 金属層の上にピエゾ電子材料層が堆積された電子デバイスを製造する方法 |
JP2002324926A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電体薄膜形成方法、及び圧電体薄膜の応用デバイス |
JP2004221622A (ja) * | 2002-01-08 | 2004-08-05 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置および圧電共振子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006186833A (ja) | 2006-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4784815B2 (ja) | 高次モード薄膜共振器、圧電体薄膜及び圧電体薄膜の製造方法 | |
KR100804407B1 (ko) | 탄성 경계파 장치의 제조방법 | |
US5446330A (en) | Surface acoustic wave device having a lamination structure | |
US5873154A (en) | Method for fabricating a resonator having an acoustic mirror | |
JPWO2018198654A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6371518B2 (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法、フィルタ並びにデュプレクサ | |
WO2007052370A1 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
KR20040051539A (ko) | 압전 공진 필터 및 듀플렉서 | |
KR20110058704A (ko) | 하이브리드 벌크 음파 공진기 및 그 제조 방법 | |
JP7098453B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP2008182543A (ja) | 薄膜圧電共振器とそれを用いた薄膜圧電フィルタ | |
JP2008113061A (ja) | バルク音響波共振子及びフィルタ装置並びに通信装置 | |
JP2008211392A (ja) | 共振器及びその製造方法 | |
JP3860695B2 (ja) | 圧電共振子およびフィルタ | |
JP2005057707A (ja) | 薄膜バルク音響共振子およびマイクロ電気機械システムデバイス | |
JP4693407B2 (ja) | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 | |
JP4797772B2 (ja) | Baw共振器 | |
JP2005303573A (ja) | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 | |
JP4339604B2 (ja) | 圧電薄膜素子 | |
JP4693406B2 (ja) | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 | |
JP2006211589A (ja) | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 | |
JP2005236338A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
JP2006186831A (ja) | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 | |
JP2000341077A (ja) | 圧電共振子 | |
JP2007036914A (ja) | 薄膜共振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100803 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110208 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |