JP7098453B2 - 弾性波共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ - Google Patents
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Description
図2(a)から図5(c)は、実施例1に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図2(a)に示すように、単結晶材料の圧電基板を圧電層14aとして準備する。圧電層14aは例えば引き上げ法により成長しスライスした圧電基板である。このため、圧電層14aの上面および下面は略平坦である。分極方向15aは、上向きとしているが、下向きまたは横向き等任意の方向でもよい。
図6(a)および図6(b)は、実施例1の変形例1に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図6(a)に示すように、実施例1の図2(b)において、挿入膜28は圧電層14aの上面全体に形成する。
図7(a)から図7(c)は、実施例1の変形例2に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図7(a)に示すように、実施例1の図2(c)の後に、挿入膜28および絶縁膜26上全面に接合層27を形成する。接合層27は、スパッタリング法または真空蒸着法を用い形成する。接合層27は、例えばチタン、クロムまたはニッケル等の金属膜、または多結晶窒化アルミニウム等の圧電層である。
図8(a)から図9(b)は、実施例1の変形例3に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図8(a)に示すように、圧電層14aを準備する。圧電層14aの厚さは挿入膜28の厚さだけ実施例1より厚い。
12 下部電極
14、14a、14b 圧電層
16 上部電極
20、22 質量負荷膜
24、26 絶縁膜
28 挿入膜
30 空隙
38 犠牲層
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50 共振領域
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられ単結晶圧電基板である第1圧電層と、前記第1圧電層上に設けられ単結晶圧電基板である第2圧電層と、を有する圧電層と、
前記圧電層の少なくとも一部を挟み前記下部電極と対向する共振領域を形成するように、前記圧電層上に設けられた上部電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間の前記共振領域の少なくとも一部に設けられた挿入膜と、
前記挿入膜が設けられた領域以外の領域において前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に設けられ、前記挿入膜と異なる材料からなる絶縁膜と、
を備える弾性波共振器。 - 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは前記挿入膜および前記絶縁膜とを介し接合され、前記第1圧電層と前記第2圧電層とは接しない請求項1に記載の弾性波共振器。
- 前記第1圧電層と前記挿入膜および前記絶縁膜との界面は略平坦であり、前記第2圧電層と前記挿入膜および前記絶縁膜との間の界面は略平坦である請求項2に記載の弾性波共振器。
- 基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられ単結晶圧電基板である第1圧電層と、前記第1圧電層上に設けられ単結晶圧電基板である第2圧電層と、を有する圧電層と、
前記圧電層の少なくとも一部を挟み前記下部電極と対向する共振領域を形成するように、前記圧電層上に設けられた上部電極と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間の前記共振領域の少なくとも一部に設けられた挿入膜と、
を備え、
前記挿入膜が設けられた領域以外の領域において前記第1圧電層と前記第2圧電層とは直接接合する弾性波共振器。 - 前記第1圧電層および前記挿入膜と前記第2圧電層との界面は略平坦である請求項4に記載の弾性波共振器。
- 前記挿入膜の弾性定数は前記圧電層の弾性定数の温度係数とは逆符号の温度係数を有する請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波共振器。
- 前記第1圧電層および前記第2圧電層は、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムである請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波共振器。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波共振器を含むフィルタ。
- 請求項8に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018134166A JP7098453B2 (ja) | 2018-07-17 | 2018-07-17 | 弾性波共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018134166A JP7098453B2 (ja) | 2018-07-17 | 2018-07-17 | 弾性波共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020014088A JP2020014088A (ja) | 2020-01-23 |
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ID=69169654
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018134166A Active JP7098453B2 (ja) | 2018-07-17 | 2018-07-17 | 弾性波共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7098453B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111934643B (zh) * | 2020-07-13 | 2021-06-01 | 诺思(天津)微***有限责任公司 | 压电层双侧设置质量负载的体声波谐振器、滤波器及电子设备 |
CN115250101A (zh) * | 2021-04-27 | 2022-10-28 | 诺思(天津)微***有限责任公司 | 单晶压电体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备 |
WO2023204245A1 (ja) * | 2022-04-20 | 2023-10-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
DE102022203971A1 (de) * | 2022-04-25 | 2023-10-26 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Volumenakustische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer volumenakustischen Vorrichtung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007159123A (ja) | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Agilent Technol Inc | 温度補償型薄膜バルク音響共振器デバイス |
JP2013034130A (ja) | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP2015139167A (ja) | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254836A (ja) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
-
2018
- 2018-07-17 JP JP2018134166A patent/JP7098453B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007159123A (ja) | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Agilent Technol Inc | 温度補償型薄膜バルク音響共振器デバイス |
JP2013034130A (ja) | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP2015139167A (ja) | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020014088A (ja) | 2020-01-23 |
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