JP2005303573A - 薄膜圧電共振器及びその製造方法 - Google Patents
薄膜圧電共振器及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005303573A JP2005303573A JP2004115184A JP2004115184A JP2005303573A JP 2005303573 A JP2005303573 A JP 2005303573A JP 2004115184 A JP2004115184 A JP 2004115184A JP 2004115184 A JP2004115184 A JP 2004115184A JP 2005303573 A JP2005303573 A JP 2005303573A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- piezoelectric
- lower electrode
- thin film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 薄膜圧電共振器中の下部電極3、圧電膜4を連続的に形成し、かつ圧電膜4表面のシリコン基板1からの高さを圧電膜側面に形成されたスペーサとなる絶縁膜6表面の高さと同等にし、上部電極7が一平面形状となるよう形成する。
【選択図】 図1
Description
2 … 非晶質金属膜
3、115 … 下部電極
4、116 … 圧電膜
5 … 研磨停止層
6、51 … 絶縁膜
7、117 … 上部電極
8 … 電極パッド
9 … 酸化膜
10、112 … 溝
11 … 貫通孔
50 … 基板
14、114 … 犠牲層
101 … 薄膜圧電共振器
102 … 梯子型フィルタ
103 … 電圧制御発振器
104 … バリアブルキャパシタ
105 … 増幅器
118 … キャビティ
Claims (13)
- 表面、裏面を貫通するように形成された貫通孔を有する基板と、
前記貫通孔上に一平面状に形成された下部電極と、
前記下部電極上に一平面状に形成された圧電膜と、
前記下部電極、圧電膜側面に形成され、その表面が前記圧電膜の表面と同一平面をなす絶縁膜と、
前記圧電膜上に形成された上部電極と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器。 - 表面に溝が形成された基板と、
前記溝上に一平面状に形成された下部電極と、
前記下部電極上に一平面状に形成された圧電膜と、
前記下部電極、圧電膜側面に形成され、その表面が前記圧電膜の表面と同一平面をなす絶縁膜と、
前記圧電膜上に形成された上部電極と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器。 - 基板表面に、下部電極となる第一導電膜、圧電膜をこの順に積層する工程と、
前記第一導電膜、圧電膜をパターニングし、下部電極を形成する工程と、
前記基板表面に絶縁膜を堆積する工程と、
前記絶縁膜の表面が前記圧電膜の表面と同一表面を形成するよう、前記絶縁膜を平坦化する工程と、
前記圧電膜、絶縁膜上に上部電極となる第二導電膜を積層する工程と、
前記第二導電膜をパターニングし、上部電極を形成する工程と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器の製造方法。 - 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程前に、前記基板表面に非晶質金属膜を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項3に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。
- 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程の後、エッチングストッパ層を形成する工程と、
前記絶縁膜を平坦化する工程の後、前記エッチングストッパ層を除去する工程と
をさらに具備することを特徴とする請求項3に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。 - 前記基板裏面をエッチングし、少なくとも下部電極、上部電極が積層されている前記基板の領域に貫通孔を設ける工程をさらに具備することを特徴とする請求項3乃至5に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。
- 基板表面に溝を形成する工程と、
前記基板表面に、下部電極となる第一導電膜、圧電膜をこの順に積層する工程と、
前記第一導電膜、圧電膜をパターニングし、前記溝の上部に下部電極を形成する工程と、
前記基板表面に絶縁膜を堆積する工程と、
前記絶縁膜の表面が前記圧電膜の表面と同一表面を形成するよう、前記絶縁膜を平坦化する工程と、
前記圧電膜、絶縁膜上に上部電極となる第二導電膜を積層する工程と、
前記第二導電膜をパターニングし、上部電極を形成する工程と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器の製造方法。 - 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程前に、前記基板表面に非晶質金属膜を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項7に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。
- 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程の後、エッチングストッパ層を形成する工程と、
前記絶縁膜を平坦化する工程の後、前記エッチングストッパ層を除去する工程と
をさらに具備することを特徴とする請求項7に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。 - 第一の基板表面に、下部電極となる第一導電膜、圧電膜をこの順に積層する工程と、
前記第一導電膜、圧電膜をパターニングし、下部電極を形成する工程と、
第二の基板上に絶縁膜を堆積し、前記絶縁膜表面を前記第一の基板表面に圧着する工程と、
前記第二の基板と前記絶縁膜とを剥離する工程と、
前記絶縁膜の表面が前記圧電膜の表面と同一表面を形成するよう、前記絶縁膜を平坦化する工程と、
前記圧電膜、絶縁膜上に上部電極となる第二導電膜を積層する工程と、
前記第二導電膜をパターニングし、上部電極を形成する工程と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器の製造方法。 - 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程前に、前記基板表面に非晶質金属膜を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項10に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。
- 第一の基板表面に溝を形成する工程と、
前記第一の基板表面に、下部電極となる第一導電膜、圧電膜をこの順に積層する工程と、
前記第一導電膜、圧電膜をパターニングし、前記溝の上部に下部電極を形成する工程と、
第二の基板上に絶縁膜を堆積し、前記絶縁膜表面を前記第一の基板表面に圧着する工程と、
前記第二の基板と前記絶縁膜とを剥離する工程と、
前記絶縁膜の表面が前記圧電膜の表面と同一表面を形成するよう、前記絶縁膜を平坦化する工程と、
前記圧電膜、絶縁膜上に上部電極となる第二導電膜を積層する工程と、
前記第二導電膜をパターニングし、上部電極を形成する工程と
を具備することを特徴とする薄膜圧電共振器の製造方法。 - 前記第一導電膜、圧電膜の積層工程前に、前記基板表面に非晶質金属膜を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項12に記載の薄膜圧電共振器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004115184A JP2005303573A (ja) | 2004-04-09 | 2004-04-09 | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004115184A JP2005303573A (ja) | 2004-04-09 | 2004-04-09 | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005303573A true JP2005303573A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35334599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004115184A Pending JP2005303573A (ja) | 2004-04-09 | 2004-04-09 | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005303573A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007007805A1 (de) | 2007-01-15 | 2008-07-17 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd., Oshu | Piezoelektrischer Dünnfilmresonator, Piezoelektrischer Dünnfilmresonatorfilter und Herstellungsverfahren für diese |
JP2009194714A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Fujitsu Ltd | 圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
JP2012199934A (ja) * | 2007-05-14 | 2012-10-18 | Cree Inc | バルク音響デバイスおよびその作製方法 |
JP2013005446A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd | 非圧電層を備えたバルク音響共振器 |
JP2018125792A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 新日本無線株式会社 | バルク弾性波共振器の製造方法 |
WO2020067483A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日東電工株式会社 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
CN111740003A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-02 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种压电薄膜体及其制备方法、空腔型器件及其制备方法 |
CN111755591A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-09 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种压电薄膜体及其制备方法、空腔型器件及其制备方法 |
JP2022507223A (ja) * | 2019-04-04 | 2022-01-18 | 中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司 | バルク音響波共振器及びその製造方法並びにフィルタ、無線周波数通信システム |
WO2023139839A1 (ja) * | 2022-01-18 | 2023-07-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス |
CN117118387A (zh) * | 2023-08-16 | 2023-11-24 | 武汉敏声新技术有限公司 | 谐振器及其制备方法、外延膜转移方法和滤波器 |
US12009803B2 (en) | 2019-04-04 | 2024-06-11 | Ningbo Semiconductor International Corporation | Bulk acoustic wave resonator, filter and radio frequency communication system |
-
2004
- 2004-04-09 JP JP2004115184A patent/JP2005303573A/ja active Pending
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007007805A1 (de) | 2007-01-15 | 2008-07-17 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd., Oshu | Piezoelektrischer Dünnfilmresonator, Piezoelektrischer Dünnfilmresonatorfilter und Herstellungsverfahren für diese |
US7745975B2 (en) | 2007-01-15 | 2010-06-29 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Piezoelectric thin film resonator, piezoelectric thin film resonator filter and manufacturing method thereof |
JP2012199934A (ja) * | 2007-05-14 | 2012-10-18 | Cree Inc | バルク音響デバイスおよびその作製方法 |
JP2009194714A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Fujitsu Ltd | 圧電薄膜共振子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
US7978025B2 (en) * | 2008-02-15 | 2011-07-12 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Film bulk acoustic resonator, filter, communication module and communication device |
CN101510768B (zh) * | 2008-02-15 | 2013-01-09 | 太阳诱电株式会社 | 膜体声波谐振器、滤波器、通信模块和通信设备 |
JP2013005446A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd | 非圧電層を備えたバルク音響共振器 |
JP2018125792A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 新日本無線株式会社 | バルク弾性波共振器の製造方法 |
WO2020067483A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 日東電工株式会社 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2020057785A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-09 | 日東電工株式会社 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP7077287B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-05-30 | 日東電工株式会社 | 圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2022507223A (ja) * | 2019-04-04 | 2022-01-18 | 中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司 | バルク音響波共振器及びその製造方法並びにフィルタ、無線周波数通信システム |
JP7339694B2 (ja) | 2019-04-04 | 2023-09-06 | 中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司 | バルク音響波共振器及びその製造方法並びにフィルタ、無線周波数通信システム |
US12009803B2 (en) | 2019-04-04 | 2024-06-11 | Ningbo Semiconductor International Corporation | Bulk acoustic wave resonator, filter and radio frequency communication system |
CN111740003A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-02 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种压电薄膜体及其制备方法、空腔型器件及其制备方法 |
CN111755591A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-09 | 济南晶正电子科技有限公司 | 一种压电薄膜体及其制备方法、空腔型器件及其制备方法 |
WO2023139839A1 (ja) * | 2022-01-18 | 2023-07-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイス |
CN117118387A (zh) * | 2023-08-16 | 2023-11-24 | 武汉敏声新技术有限公司 | 谐振器及其制备方法、外延膜转移方法和滤波器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4345049B2 (ja) | 薄膜音響共振器及びその製造方法 | |
JP3940932B2 (ja) | 薄膜圧電共振器、薄膜圧電デバイスおよびその製造方法 | |
US6617751B2 (en) | Film bulk acoustic resonator and method for fabrication thereof | |
US6842089B2 (en) | Film bulk acoustic resonator (FBAR) device | |
JP4688070B2 (ja) | 圧電薄膜共振子、圧電薄膜デバイスおよびその製造方法 | |
JP2007028669A (ja) | 薄膜音響共振器の製造方法 | |
US8431031B2 (en) | Method for producing a bulk wave acoustic resonator of FBAR type | |
JP2000069594A (ja) | 音響共振器とその製作方法 | |
JP4373936B2 (ja) | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 | |
WO2005060091A1 (ja) | 圧電薄膜デバイスの製造方法および圧電薄膜デバイス | |
JP2002251190A (ja) | パターン化された音響ミラーを固体的に取り付けられたマルチ共振器バルク音波フィルタ | |
JP2004158970A (ja) | 薄膜圧電共振器を用いた帯域フィルタ | |
JP2005244184A (ja) | 薄膜圧電素子及び薄膜圧電素子の製造方法 | |
JP4441843B2 (ja) | 薄膜音響共振器 | |
JPWO2004088840A1 (ja) | 圧電薄膜デバイス及びその製造方法 | |
CN113193846A (zh) | 一种带混合横向结构特征的薄膜体声波谐振器 | |
JP5299676B2 (ja) | 圧電薄膜音響共振器およびその製造方法 | |
JP2005303573A (ja) | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 | |
JP2008048040A (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 | |
JP2007129776A (ja) | 薄膜圧電共振器、薄膜圧電デバイスおよびその製造方法 | |
US10211810B2 (en) | Acoustic wave filter and method for manufacturing the same | |
JP2008211392A (ja) | 共振器及びその製造方法 | |
JP4730383B2 (ja) | 薄膜音響共振器及びその製造方法 | |
JP4797772B2 (ja) | Baw共振器 | |
JP2010147874A (ja) | Baw共振装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050831 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080331 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080627 |