JP4677315B2 - 研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 - Google Patents
研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4677315B2 JP4677315B2 JP2005276753A JP2005276753A JP4677315B2 JP 4677315 B2 JP4677315 B2 JP 4677315B2 JP 2005276753 A JP2005276753 A JP 2005276753A JP 2005276753 A JP2005276753 A JP 2005276753A JP 4677315 B2 JP4677315 B2 JP 4677315B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- grinding fluid
- workpiece
- grinding wheel
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
Claims (4)
- 回転軸線回りで回転される砥石車と、
前記砥石車の研削面に対向して配置される基準部材と、
前記砥石車と基準部材の間に研削液が供給される研削液供給手段と、
前記基準部材に設けられ互いに絶縁された複数の電極と、
前記複数の電極の互いに隣接する電極の間に電圧が印加され、研削液を介して前記複数の電極の間を流れる電流を測定することにより、前記砥石車と基準部材の間の隙間を通過する研削液の電気抵抗値を測定する電気抵抗値測定装置と、
前記電気抵抗値測定装置で測定された電気抵抗値に基づいて前記砥石車と基準部材の間の隙間を通過する研削液の厚みを演算する厚み演算手段とを備えた研削液厚み測定装置において、
前記複数の電極が前記砥石車の回転軸線と平行に前記基準部材に配置され、
前記複数の電極の互いに隣接する電極間に電圧を印加する配線間に固定抵抗が並列に接続されたことを特徴とする研削液厚み測定装置。 - 回転軸線回りで回転される砥石車と、
工作物を支持する工作物支持装置とを備え、
前記砥石車の工作物との研削点に研削液を供給しながら前記砥石車と工作物支持装置を相対移動させて前記工作物を研削加工する研削盤において、
前記請求項1に記載の研削液厚み測定装置と、
前記研削液厚み測定装置の研削液の厚み検出信号に基づいて前記砥石車が前記基準部材に接近したことを検出する接近検出手段と、
を備えたことを特徴とする研削盤。 - 回転軸線回りで回転される砥石車と、
工作物を支持する工作物支持装置とを備え、
前記砥石車の工作物との研削点に研削液を供給しながら前記砥石車と工作物支持装置を相対移動させて前記工作物を研削加工する研削盤において、
前記請求項1に記載の研削液厚み測定装置と、
前記研削液厚み測定装置からの研削液の厚み信号に基づいて、研削液の異常または正常を判定する研削液判定手段と、
を備えたことを特徴とする研削盤。 - 回転軸線回りで回転される砥石車と、
工作物を支持する工作物支持装置とを備え、
前記砥石車の工作物との研削点に研削液を供給しながら前記砥石車と工作物支持装置を相対移動させて前記工作物を研削加工する研削盤において、
前記請求項1に記載の研削液厚み測定装置と、
前記砥石台の前面に前記研削液厚み測定装置の基準部材に対向可能に設けられた参照板を含む研削液厚み‐電気抵抗値校正装置と、
を備えたことを特徴とする研削盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276753A JP4677315B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276753A JP4677315B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007083357A JP2007083357A (ja) | 2007-04-05 |
JP4677315B2 true JP4677315B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=37970864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005276753A Expired - Fee Related JP4677315B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4677315B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56146670A (en) * | 1980-04-11 | 1981-11-14 | Hitachi Ltd | Grinder |
JPH07161668A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Nippon Steel Corp | 基板の研削方法及び研削装置 |
JP2002307302A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研削装置およびワ−クに対する砥石の切り込み開始点位置決め方法 |
JP2002334858A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Canon Inc | 半導体基板の研磨装置 |
JP2004017265A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Toyoda Mach Works Ltd | 砥石連れ回り空気層遮断装置及び同装置を用いた研削装置 |
-
2005
- 2005-09-22 JP JP2005276753A patent/JP4677315B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56146670A (en) * | 1980-04-11 | 1981-11-14 | Hitachi Ltd | Grinder |
JPH07161668A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Nippon Steel Corp | 基板の研削方法及び研削装置 |
JP2002307302A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研削装置およびワ−クに対する砥石の切り込み開始点位置決め方法 |
JP2002334858A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Canon Inc | 半導体基板の研磨装置 |
JP2004017265A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Toyoda Mach Works Ltd | 砥石連れ回り空気層遮断装置及び同装置を用いた研削装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007083357A (ja) | 2007-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4846432B2 (ja) | 工作機械における主軸装置の変位及び振れ測定装置 | |
US9212961B2 (en) | Grinding abnormality monitoring method and grinding abnormality monitoring device | |
US8784156B2 (en) | Grinding method for grinding a workpiece using a grinding wheel | |
JP2007220775A (ja) | 半導体基板の研削装置並びに半導体デバイスの製造方法 | |
JP6751301B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6643654B2 (ja) | 溝深さ検出装置及び溝深さ検出方法 | |
JP4677315B2 (ja) | 研削液の厚み測定装置及び該装置を用いた研削盤 | |
JP3975309B2 (ja) | ウェーハ面取り方法及び装置 | |
JP2009214217A (ja) | 砥石先端位置補正方法及び装置 | |
KR20120069056A (ko) | 공작기계의 공구계측을 이용한 열변위 보정장치 및 방법 | |
JP7128070B2 (ja) | 研削装置 | |
KR20090101058A (ko) | 웨이퍼 연삭 장치 및 웨이퍼 연삭 장치용 가공 품질 판정 방법 | |
JP2021058952A (ja) | 研削装置 | |
JP2009279727A (ja) | ワーク寸法計測装置および工作機械 | |
JP2016184604A (ja) | 研削加工装置 | |
JP6489429B2 (ja) | ウェーハチャックの目詰まり検査装置及び検査方法 | |
JP4326974B2 (ja) | ウェーハの研削装置及び研削方法 | |
JP2008226408A (ja) | 磁気ヘッドスライダーの加工方法および加工装置 | |
JP2021070135A (ja) | 研削装置 | |
JPH10315129A (ja) | 研削量制御方法および測定器 | |
JP6875675B2 (ja) | 機上ツルーイング装置および工作機械 | |
JP4988534B2 (ja) | センタレス研削盤の段取り装置、その段取り方法およびセンタレス研削盤 | |
JP2001277084A (ja) | 両頭研削盤 | |
JP2021070134A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP4397011B2 (ja) | 被研削物の固定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110131 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140204 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4677315 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |