JP4667848B2 - ガラス基板用研磨液組成物 - Google Patents
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Description
かかる基板上に残留した研磨砥粒及び/又は研磨屑を除去する工程は、洗浄剤や純水を併用しながらポリビニルアルコール製等のパッドで擦るスクラブ洗浄が一般に用いられている。
従って、ガラス基板への損傷が小さい通常の洗浄条件であっても、基板汚れが十分に低減できることは歩留まりを改善することに繋がり、意義は大きい。
〔1〕 一次粒子の平均粒径が1〜100nmであるシリカとスルホン酸基を有する重合体と水とを含有してなるガラス基板用研磨液組成物、
〔2〕 前記〔1〕記載の研磨液組成物を研磨パッドと被研磨基板の間に存在させ、3〜12kPaの研磨荷重で研磨する工程を有するガラス基板の製造方法
に関する。
本発明のガラス基板用研磨液組成物は、前記のように、一次粒子の平均粒径が1〜100nmであるシリカとスルホン酸基を有する重合体と水とを含有してなる点に一つの大きな特徴があり、かかる特徴を有することで、洗浄後の基板汚れが極めて少なく、高い研磨速度で、表面平滑性に優れたガラス基板を得るという効果が発現される。
例えば、シリカ粒子を透過型電子顕微鏡(JEM−2000FX、製造元;日本電子)で、加速電圧80kV、撮影倍率1〜5万倍の条件で観察した写真を、スキャナにて画像データとして取り込み、画像解析ソフト(WinROOF、販売元;三谷商事)を用いて1個1個のシリカ粒子の円相当径(シリカ粒子の影像面積と同一面積を有する円の直径)を直径とみなして求め、1000個以上のシリカ粒子データを集積した後、表計算ソフト「EXCEL」(マイクロソフト社製)で算出し、小粒径側からの累積体積が50%となる粒径(D50)がここでいう一次粒子の平均粒径である。
二次粒子径の測定法としては、動的光散乱法や超音波減衰法、キャピラリー(CHDF)法等が挙げられる。
これらのスルホン酸基を有する単量体は、1種単独で使用しても、あるいは2種以上を混合して用いても良い。
カラム;G4000PWXL+G2500PWXL
溶離液:0.2Mリン酸バッファー/アセトニトリル=9/1(容量比)
流速:1.0mL/min
温度:40℃
サンプル:濃度5mg/mL、注入量100μL
即ち、基板汚れを低減し、且つ研磨速度の観点から、前記含有量は、0.001〜10重量%が好ましく、0.01〜5重量%がより好ましく、0.01〜3重量%がさらに好ましく、0.01〜1重量%がさらに好ましい。
この基板汚れは、特に、ハードディスク基板において、高密度化に重要となる物性である。
基板汚れは、研磨液組成物中の研磨砥粒及び/又は研磨屑が基板表面に残留したもので、通常、光学顕微鏡や原子間力顕微鏡(AFM)で観察でき、品質検査で用いられる欠陥検出装置では凸部欠陥(ODT−P)として検出された個数により定量評価できる。
また、前記塩の対イオン(陽イオン)は、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、アルキルアンモニウムイオン等が挙げられ、中でも、アルカリ金属イオンが好ましい。
本発明の基板の製造方法は、前記研磨液組成物を研磨パッドと被研磨基板の間に存在させ、3〜12kPaの研磨荷重で研磨する工程を有する。
その後、シード層、下地層、中間層、磁性層、保護層、及び潤滑層を成膜して磁気ディスクとなる。
本発明の研磨液組成物を用いるガラス基板の研磨装置としては、特に制限はなく、被研磨物を保持する冶具(キャリア:アラミド製等)と研磨布(研磨パッド)を備える研磨装置を用いることができる。中でも、ポリッシング工程に用いられる両面研磨装置が好適に用いられる。
特に、本発明は、ガラスハードディスク基板の製造に好適である。
被研磨基板として、セリア研磨材を含有する研磨液で予め第一及び第二研磨工程を行い、AFM−Raを0.3nmとした、厚さ0.635mmの外径65mmφで内径20mmφのハードディスク用アルミノシリケート製ガラス基板を用いて研磨評価を行った。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(デュポン社製、一次粒子の平均粒径30nm、シリカ粒子濃度40重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で9.5重量%、アクリル酸/アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸共重合体(モル比8/1、重量平均分子量2000、固形分濃度40重量%、ナトリウム中和品)0.04重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
各成分を混合する順番は、イオン交換水で5倍に希釈した上記共重合体水溶液の所定量を撹拌下のコロイダルシリカスラリーに加えて混合し、最後に残部のイオン交換水を少しずつ加えて混合、調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(デュポン社製、一次粒子の平均粒径30nm、シリカ粒子濃度40重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で9.3重量%、実施例1の共重合体0.10重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(デュポン社製、一次粒子の平均粒径20nm、シリカ粒子濃度40重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で9.3重量%、実施例1の共重合体0.04重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(触媒化成社製、一次粒子の平均粒径80nm、シリカ粒子濃度40重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で9.5重量%、実施例1の共重合体0.04重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(触媒化成社製、一次粒子の平均粒径150nm、シリカ粒子濃度16重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で8.4重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(デュポン社製、一次粒子の平均粒径20nm、シリカ粒子濃度40重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で9.7重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨材として、コロイダルシリカスラリー(触媒化成社製、一次粒子の平均粒径150nm、シリカ粒子濃度16重量%、残部は水)をシリカ粒子換算で8.3重量%、実施例1の共重合体0.04重量%、残部としてイオン交換水からなる研磨液組成物を調製した。
研磨試験機:ムサシノ電子社製、MA−300片面研磨機、定盤直径300mm
研磨パッド:ウレタン製仕上げ研磨用パッド
定盤回転数:90r/min
キャリア回転数:90r/min、強制駆動式
研磨液組成物供給速度:50g/min(約1.5mL/min/cm2)
研磨時間:15min
研磨荷重:5.9kPa(錘による一定荷重)
リンス条件:荷重=3.9kPa、時間=5min、イオン交換水供給量=約1L/min
ドレス条件:1回研磨毎にイオン交換水を供給しながらブラシドレスを0.5min行った。
洗浄方法:研磨及びリンス終了後の被研磨基板を取り出し、イオン交換水で流水洗浄し、次に被研磨基板をイオン交換水中に浸漬した状態で超音波洗浄(100kHz、3min)を行い、更にイオン交換水で流水洗浄し、乾燥はスピンドライ法により行った。
評価方法:基板汚れは、光学顕微鏡と原子間力顕微鏡(AFM)を用いて観察した。
表面粗さは、原子間力顕微鏡(AFM)を用いてAFM−Raを求めた。
測定機器:Veeco社製、TM−M5E
Mode:non−contact
Scanrate:1.0Hz
Scanarea:10×10μm
評価方法:基板汚れは、任意の基板中心線上の、内周と外周の中間付近を2点測定し、観察した。
表面粗さは、同様に2点測定(二次補正)した値の平均値を求め、AFM−Raとした。
研磨前後の被研磨基板の重量差(g)を被研磨基板の密度(2.46g/cm3)、被研磨基板の表面積(30.04cm2)、及び研磨時間(min)で除して単位時間当たりの研磨量を計算し、研磨速度(μm/min)を算出した。
Claims (11)
- 一次粒子の平均粒径が5〜40nmであるコロイダルシリカと、重量平均分子量が1,000〜4,500であるアクリル酸/スルホン酸共重合体と、水とを含有してなるガラス基板用研磨液組成物。
- アクリル酸/スルホン酸共重合体が、アクリル酸/(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸共重合体である、請求項1記載のガラス基板用研磨液組成物。
- 研磨液組成物中のコロイダルシリカの含有量が5〜25重量%である、請求項1又は2記載のガラス基板用研磨液組成物。
- アクリル酸/スルホン酸共重合体を構成する単量体中のスルホン酸基含有単量体の割合が5〜80モル%である、請求項1〜3いずれか記載のガラス基板用研磨液組成物。
- 研磨液組成物中におけるアクリル酸/スルホン酸共重合体の含有量が0.001〜10重量%である、請求項1〜4いずれか記載のガラス基板用研磨液組成物。
- 研磨液組成物中のコロイダルシリカと重合体の濃度比[コロイダルシリカの濃度(重量%)/重合体の濃度(重量%)]が、10〜5000である、請求項1〜5いずれか記載のガラス基板用研磨液組成物。
- アクリル酸/(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸共重合体において、アクリル酸と(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸とのモル比が8/1である、請求項2記載のガラス基板用研磨液組成物。
- ガラス基板がガラスハードディスク基板である、請求項1〜7いずれか記載のガラス基板用研磨液組成物。
- 請求項1〜8いずれか記載の研磨液組成物を研磨パッドと被研磨基板の間に存在させ、3〜12kPaの研磨荷重で研磨する工程を有するガラス基板の製造方法。
- 被研磨基板がガラスハードディスク基板である請求項9記載のガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜8いずれか記載の研磨液組成物を用いてガラス基板を研磨する、ガラス基板の汚れ低減方法。
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