JP4665942B2 - 半導体力学量センサ - Google Patents
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Description
センサ素子部は、可動部(2A)に設けられた可動電極(304、305)と、可動電極と対向配置され支持用基板(301)に固定支持された固定電極(306、307)とから構成される容量検出部(304〜307)を有し、
可動電極から、可動電極と固定電極との間の容量変化を出力するようになっており、
外周部の電位を固定する手段(350〜352)において固定する電位を可動電極と同電位とすることを特徴としており、外周部による寄生容量によってセンサ感度が低下するのを防止することができる。
(第1実施形態)
図1に本発明の第1実施形態にかかる加速度センサの平面図を示す。図2に、図1のA−A断面図を示す。
本第2実施形態に係る加速度センサを図10に示す。本センサの平面構成は上記図1と同じであり、図10は本センサを上記図2と同じ断面にて示したものである。本センサは上記第1実施形態を変形したものであり、上記第1実施形態と異なる点は酸化膜31を備えない点である。以下、この点について述べる。上記図2に対して酸化膜31が無い場合、貼り合わせ用薄膜32は、シリコン基板30と接合され電気的に接続されているものの、シリコン基板30がチップ化された後、実装された時にパッケージとシリコン基板30は、シリコン基板30裏面(図10の下側)にある自然酸化膜等の影響から非常に高い接触抵抗を持つと考えられる。
上述した第1及び第2実施形態を含め、センサ構造に寄生する寄生容量について検討した。本第3実施形態は、この検討に基づいたものである。本実施形態では、可動電極と寄生容量を形成するセンサ構造の各部位について検証し、寄生容量の影響を排除する点をより詳細に説明する。
上記第3実施形態では、主として、外周部の電位を固定する手段(以下、外周部電位固定手段という)を設けることについて述べたが、本実施形態は、この外周部電位固定手段を、上記実施形態とは異なる構成を有する加速度センサ、即ち、SOIウエハを用いた容量式加速度センサに適用したものである。
Claims (7)
- 支持用基板(1、301)とこの支持用基板の上に形成された素子形成膜(200、302)とから構成され、
前記素子形成膜は、前記素子形成膜に形成された溝を介して、可動部(2A)を有し該可動部の変位に伴う容量変化を検出するセンサ素子部と、該センサ素子部の外周に配置された外周部(201、313)とに画定されており、
前記外周部には、制御回路から電圧が印加されることによって、前記外周部の電位を固定する手段(202、350〜352)が備えられており、
前記センサ素子部は、前記可動部(2A)に設けられた可動電極(304、305)と、前記可動電極と対向配置され前記支持用基板(301)に固定支持された固定電極(306、307)とから構成される容量検出部(304〜307)を有し、
前記可動電極から、前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化を出力するようになっており、
前記外周部の電位を固定する手段(350〜352)において固定する電位を前記可動電極と同電位とすることを特徴とする半導体力学量センサ。 - 前記センサ素子部は、複数個の前記容量検出部(304〜307)を備えており、前記外周部の電位を固定する手段(350、351)は、前記複数個の容量検出部の各々に対応して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体力学量センサ。
- 前記容量検出部(304〜307)は2個であり、個々の前記容量検出部は略同レベルの大きさの容量変化を伴うものであり、
第1の容量検出部(304、306)とこれに対応する前記外周部の電位を固定する手段(350)との距離、および、第2の容量検出部(305、307)とこれに対応する前記外周部の電位を固定する手段(351)との距離は略同じであることを特徴とする請求項2に記載の半導体力学量センサ。 - 前記第1の容量検出部(304、306)と前記第2の容量検出部(305、307)とを結ぶ線と直交する対称軸に対して、各々の前記外周部の電位を固定する手段(350、351)は対称に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体力学量センサ。
- 前記センサ素子部は、各々の前記容量検出部(304〜307)毎に設けられた容量変化を引き出すためのパッド(310、311)と、各々の前記容量検出部と各々の前記パッドとを電気的に接続する導体部(310a、311a)とを含んでなり、
各々の前記導体部の抵抗値が略同じであり、且つ、各々の前記導体部の周囲に位置する前記溝(S2)は略同じ容積で形成されていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の半導体力学量センサ。 - 前記センサ素子部は2個の前記容量検出部(304〜307)を備え、個々の前記容量検出部は略同レベルの大きさの容量変化を伴うものであり、
前記外周部の電位を固定する手段(352)は、前記第1の容量検出部(304、306)と前記第2の容量検出部(305、307)とを結ぶ線と直交する対称軸上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体力学量センサ。 - 前記外周部(201、313)において、前記外周部の電位を固定する手段(202、350〜352)よりも外縁側には絶縁溝(360)が形成され、該絶縁溝の外縁側と内縁側とは絶縁されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の半導体力学量センサ。
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