JP4661208B2 - ノズルプレート製造方法及びそれを用いたインクジェットヘッド - Google Patents
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Description
テーパ状で、他方の面側に形成される最小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成
された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、第1に、前記ノズルプレートの前記他方の面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、第2に、前記他方の面にプレス加工により突起部を形成する工程を行い、第3に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とする。
穴を塞いでしまうようなこともなく、さらには、処理膜を剥離する場合や非コーティング
面用の微***まで入り込んだマスク材を除去する時の残存に対する心配もなくなり、オリフィスプレート1の歩留まり向上や品質保証面での向上が図れる。
でノズルの微***を塞いでしまうようなこともなく、さらには、処理膜を剥離する場合や
非コーティング面用の微***まで入り込んだマスク材を除去する時の残存に対する心配も
なくなり、オリフィスプレート1 の歩留まり向上や品質保証面での向上が図れる。
Claims (5)
- 一方の面から他方の面に向かって径が縮小するテーパ状で、他方の面側に形成される最小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
第1に、前記ノズルプレートの前記他方の面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、
第2に、前記他方の面にプレス加工により突起部を形成する工程を行い、
第3に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 一方の面から他方の面に向かって径が縮小するテーパ状で、他方の面側に形成される最
小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
第1に、前記ノズルプレートの前記一方の面からプレス加工により突起部を形成する工程を行い、
第2に、前記突起部が形成された面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、
第3に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記研磨仕上げ加工後の前記突起部の先端面の表面粗さは平均高低差が0.01μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のノズルプレートの製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法で製造されたことを特徴とするノズルプレート。
- 請求項4に記載のノズルプレートを備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
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JP6575102B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-09-18 | 株式会社リコー | 液滴吐出装置 |
DE112019006815T5 (de) * | 2019-02-01 | 2021-10-21 | Xtpl S.A. | Verfahren zum Drucken eines Fluids |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07108683A (ja) * | 1993-08-18 | 1995-04-25 | Brother Ind Ltd | ノズルプレート製造方法 |
JPH11147317A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Fujitsu Ltd | ノズル板の製造方法 |
JP2000043273A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Fujitsu Ltd | インクジェット記録装置とその製造方法 |
JP2002283577A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートとその製造方法及びインクジェットプリンタ |
JP2003165226A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Hitachi Printing Solutions Ltd | インクジェットヘッドのオリフィスプレート製造方法 |
JP2003205610A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド用ノズル板及びその製造方法並びに該ノズル板を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07108683A (ja) * | 1993-08-18 | 1995-04-25 | Brother Ind Ltd | ノズルプレート製造方法 |
JPH11147317A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Fujitsu Ltd | ノズル板の製造方法 |
JP2000043273A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Fujitsu Ltd | インクジェット記録装置とその製造方法 |
JP2002283577A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートとその製造方法及びインクジェットプリンタ |
JP2003165226A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | Hitachi Printing Solutions Ltd | インクジェットヘッドのオリフィスプレート製造方法 |
JP2003205610A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド用ノズル板及びその製造方法並びに該ノズル板を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
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