JP2001121709A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JP2001121709A JP2001121709A JP30546599A JP30546599A JP2001121709A JP 2001121709 A JP2001121709 A JP 2001121709A JP 30546599 A JP30546599 A JP 30546599A JP 30546599 A JP30546599 A JP 30546599A JP 2001121709 A JP2001121709 A JP 2001121709A
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
ず、簡便な工程でインク吐出口周縁の必要領域が親イン
ク化されたインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 ノズルプレートのインク吐出側表面が
撥インク処理されたインク射出ノズルの、吐出口周縁の
撥インク層がオゾンによって破壊されて親水化処理を施
されたインクジェットヘッド、及びノズルプレートの
インク吐出側表面が撥インク処理されたインク射出ノズ
ルの、吐出口周縁の撥インク層がエキシマレーザーの照
射にて除去されて親水化処理を施されたインクジェット
ヘッド。
Description
因する傷によるインク吐出方向の曲がりが抑えられたイ
ンクジェットヘッドに関する。
にインクを満たして正の圧力を掛け、インクをインク室
から押し出し、続いてインクに負の圧力を掛けてノズル
内に引き戻すことにより、押し出したインク柱を引きち
ぎって、ノズルからインク滴を吐出するものである。こ
のときインクメニスカスはノズル内に深く引き込まれ
る。又この負圧によりインクタンクからノズル内にイン
クが満たされ、次の吐出に備える。負圧が反転して正圧
になると、メニスカスが再び押し出され、ノズルの出口
方向に移動する。
力が、インクを吐出した後も残留して振動するため、ノ
ズル内のインク圧力が変動し、インクメニスカスが振動
する。この振動は数回繰り返されると、次第に減衰して
次の吐出が可能となる。又、インクジェットヘッドの吐
出方式によっては、一つのインク室からインクを吐出す
ると、隣接するインク室にも吐出圧力が伝わって非吐出
ノズルでもインクメニスカスが振動する。
圧が掛かるとき、インクが吐出口から外に溢れ出ること
がある。ノズルプレートの表面に溢れ出たインクは、次
の負圧でノズル内に引き込まれるが、ノズルプレートの
表面は、溢れ出たインクで汚れ易く、これが安定吐出を
妨げ、画像を劣化させる原因となる。即ち、溢れ出たイ
ンクや付着したインクミストは、ノズルプレート上に次
第に蓄積してインク溜まりを形成し、このインク溜まり
が吐出口に触れると、吐出するインク滴を引っ張り、吐
出方向を曲げてしまったり、更に、インク溜まりが大き
くなって吐出口を覆うと、この溜まりを突き破ってイン
ク滴が吐出するときインクが飛び散り、画像を汚してし
まったりする。更にインク溜まりが吐出口を厚く覆うと
インクが吐出しなくなる。又、ノズルプレート上のイン
ク溜まりには、被印刷物である紙や布等から発生する繊
維や塵が付着し易く、それがノズル穴を塞ぐこともあ
る。
レートに撥インク処理を施すことが行われている。ノズ
ルプレート表面を撥インク処理すると、インクのメニス
カスが吐出口から外に出ても、インクがノズルプレート
上に溢れ出たり、濡れ拡がったりするのを防ぐことがで
きる。しかしながら、撥インク処理をノズルプレートに
施しても、インクの固化物や埃等が付着してインクの吐
出方向が曲がったり、ノズルつまりが起こったりするの
でクリーニングが必要である。このクリーニングは通常
ブレードやスポンジ状の部材を接触させて汚染物を擦り
取る作業であり、クリーニングを繰り返すうちに紙粉な
どの外部汚染物が擦られて吐出口を傷付けることがあ
る。
不均一を生じさせ、インクに濡れている部分ではインク
の表面張力により吐出するインク滴が引っ張られてイン
ク吐出方向に影響を与え、印字精度に問題を生ずる。こ
れに対して本発明者は、吐出口周縁の限られた領域を親
インク化するのが、インクで濡れる領域を吐出口周縁の
やや離れたところまで拡大し、仮に傷がついてもインク
の濡れ性の不均一は吐出口から少し離れたところに生ず
るので、インクの吐出方向が曲がってしまうのを抑えら
れることを見出した。
1号では撥インク性の供析メッキ層のノズル内への回り
込みを抑えてインク滴の飛行曲がりが生じない様にした
結果、同6−316083号ではインク液溜まりの吐出
口近傍での残留を防止することを目的として、吐出口周
縁に親インク層を設け、その外側を撥インク層にする技
術が開示されている。
曲がりを抑えるには、上述の公知例技術よりも親インク
化する領域を精度良くコントロールすることが必要であ
る。例えば、ノズル加工前のノズルプレートに、予め撥
インク部分と親インク部分を形成し、レーザーにてノズ
ル加工するのは位置合わせが困難であり、予めノズル加
工したノズルプレートで撥インク部分と親インク部分を
形成するのは多くの工数と管理が必要となる。
であり、その目的は、高精度の位置合わせや煩雑な工程
を必要とせず、簡便な工程でインク吐出口周縁の必要領
域を親インク化して形成したインクジェットヘッドを提
供することにある。
されたインク射出ノズルの、吐出口周縁の撥インク層が
オゾンによって破壊されて親水化処理を施されたインク
ジェットヘッド、前記撥インク層をオゾンによって破壊
する親水化処理が、オゾンを含む流体をヘッド内部に導
入してノズル孔から噴出させて行われたこと、前記撥イ
ンク層をオゾンによって破壊する親水化処理が、前記撥
インク処理されたノズルプレートをオゾン雰囲気のガス
中に放置するか、オゾンを含む液体に浸漬することによ
って行われたこと、該ガス中放置又は液体への浸漬がノ
ズルプレートのインク吐出側に保護シートが添付されて
行われたこと、 ノズルプレートのインク吐出側表面が撥インク処理
されたインク射出ノズルの、吐出口周縁の撥インク層が
エキシマレーザーの照射にて除去されて親水化処理を施
されたインクジェットヘッド、前記エキシマレーザーの
照射領域が吐出口端部から少なくとも1μm、かつ最長
で300μmであること、吐出口周縁の親水化処理の最
短部に対する最長部の偏りが7/3以下であること、ノ
ズルプレートがエキシマレーザーの照射によりアブレー
ションが起こる樹脂からなること、及び、において
撥インク層が主としてフッ素樹脂からなること、によっ
て達成される。
に本発明者は、ノズルプレートにノズル孔を形成した後
にオゾン処理を行うと、ノズル周りの限られた領域だけ
親インク化できることを見出しの発明に至った。オゾ
ンの酸化力は非常に強く、多くの有機物等を酸化できる
が、フッ素系樹脂については反応性が低い。例えば、ポ
リエステルやポリイミド等の基材樹脂シートにテトラフ
ルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体
(FEP)やポリテトラフルオロエチレン(PTFE)
の様なフッ素樹脂によって撥インク処理がなされたノズ
ルプレートに対して、オゾンによる処理を行うと、表面
の撥インク層はオゾンによる酸化を殆ど受けないが、基
材表面や基材と撥インク層との界面はオゾンによる酸化
が起こる。従って、基材と撥インク層との界面が露出し
ているノズル孔端部はオゾンによる酸化が起こりやす
く、ノズル孔周縁の膜付が低下し、その部分だけ撥イン
ク層が剥がれる。従って選択的にノズル孔周縁だけ撥イ
ンク層除去が可能で、加えてオゾンによる親インク化が
なされる。
位置合わせや複雑な前処理の手間が掛からず、たとえノ
ズル孔が曲面上に存在する様な場合でも吐出口周縁の親
インク化が可能である。ノズルプレートを構成する基材
としては、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテル
サルフォン等が好ましく採用できる。特に好ましくはポ
リイミド樹脂で、Dupont社製;カプトンや宇部興
産(株)製;ユーピレックス等が寸法安定性、耐インク
性、耐熱性等に優れているので好ましい。
素樹脂からなるものが好ましいが、フッ素含有のシラン
化合物等を用いても良い。あまりオゾン耐性を有さない
撥インク層の場合は、表面に保護シートを貼付してオゾ
ン処理を行えば良い。オゾン処理の方法としては、オゾ
ンを含む流体(気体又は液体)をヘッド内部に導入して
ノズル孔から噴出させたり、オゾン雰囲気のガス中に放
置するか、オゾンを含む液体に浸漬したりして行う。
るエキシマレーザーの照射で吐出口周縁の撥インク層を
除去して親水化処理が可能であることを見出し、の発
明に至った。即ち、ノズルプレートの基材シートのイン
ク吐出側に撥インク層を設けて、ノズル加工を行い、そ
の後撥インク層側からインク吐出口周縁にエキシマレー
ザーの照射を行うか、予めノズル孔が形成された基材シ
ートのインク吐出側に撥インク層を設けた後、撥インク
層側からインク吐出口周縁にエキシマレーザーの照射を
行って親水化処理を行うものである。
物に可能であるが、PTFEの様なフッ素系樹脂の加工
性は良くない。その場合ノズルプレートの基材がエキシ
マレーザーの照射によりアブレーションが起こる樹脂で
有れば、本発明の親水化処理が可能となる。ポリエステ
ルやポリイミド等の基材樹脂シートにテトラフルオロエ
チレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)
やポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の様なフッ
素樹脂によって撥インク処理がなされたノズルプレート
に対して、エキシマレーザー照射を行うと、表面の撥イ
ンク層は基材樹脂のアブレーションによってきれいに除
去できる。
ョンが起こる樹脂としては、ポリカーボネート、ポリサ
ルフォン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリベン
ズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリスチレン、ポリフェニレンオキサイド、
フェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ABS
樹脂等が挙げられる。
傷による吐出方向の曲がりを抑え、かつインクの付着に
よる吐出量や吐出速度のバラツキが生じない、吐出口端
部から1〜300μmの範囲が好ましい。また親水化領
域とノズル孔の中心がずれている場合も吐出角度のバラ
ツキを招くので、吐出口周縁の親水化処理の最短部に対
する最長部の偏りが7/3以下であることが好ましい。
述べるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例1 (ヘッド−1の作製)厚さ75μmのポリイミドシート
にフッ素樹脂(旭硝子社製、CTX−109A)を塗布
して200℃で加熱処理し、膜厚0.5μmの撥インク
層を形成した。次いで撥インク層側の反対側面からエキ
シマレーザー(波長248nmのKrFレーザー、エネ
ルギー密度2.0J/cm2)にて径25μmのノズル
孔加工を行った。
ズルプレートを貼り合わせてインクジェットヘッドを作
製した。組上がったヘッドのインク供給チャネル側から
オゾンを含んだ酸素ガス(オゾン濃度7000ppm)
を10分間流して(流速300ml/分)オゾン処理を
行い、水で濡らした綿棒でノズル周りの撥インク処理剤
を除去して親水化処理を行い、インクジェットヘッド−
1を得た。 (ヘッド−2の作製)ヘッド−1と同様にして組上がっ
たヘッドのインク供給チャネル側からオゾンを含んだ水
(オゾン濃度15ppm)を10分間流して(流速30
ml/分)オゾン処理を行い、水で濡らした綿棒でノズ
ル周りの撥インク処理剤を除去して親水化処理を行い、
インクジェットヘッド−2を得た。 (ヘッド−3の作製)ヘッド−1と同様にしてノズル孔
加工を行ったノズルプレートをオゾンを含んだ水(オゾ
ン濃度15ppm)に20分間浸漬した後、取り出して
自然乾燥させてからインクジェットヘッド駆動部と貼り
合わせてインクジェットヘッド−3を作製した。 (ヘッド−4の作製)厚さ75μmのポリイミドシート
に撥インク膜形成前の粗面化処理として、アルゴンガス
雰囲気下、流量50sccm、圧力20Pa、マイクロ
波出力200Wで5分間プラズマエッチング処理し、シ
ートの表面粗さ(Ra)0.02μmとした。30℃に
保持した気化器中に95重量部のジエトキシジメチルシ
ラン及び5重量部のC8F17C2H4Si(OC2H5)3を
入れ、キャリアガスとしてアルゴンガスを用い、真空チ
ャンバー中の環境を、キャリアガス流量50sccm、
圧力20Pa、マイクロ波出力200Wとして20分間
プラズマ重合撥インク膜の成膜を行った。
によってシートを固定し、レーザー入射角度が0.1°
以内になる様調整し、エネルギー密度を前記コーン角度
が7°以内になる様に調整して、酸素ガスの吹きつけを
行いながらエキシマレーザーにてノズル孔の加工を行っ
た。この様にしてノズル孔加工を施したノズルプレート
をオゾンを含んだ水(オゾン濃度15ppm)に20分
間浸漬した後、取り出して自然乾燥させてからインクジ
ェットヘッド駆動部と貼り合わせてインクジェットヘッ
ド−4を作製した。 実施例2 厚さ75μmのポリイミドシートにフッ素樹脂(旭硝子
社製、CTX−109A)を塗布して200℃で加熱処
理し、膜厚0.5μmの撥インク層を形成した。次いで
撥インク層側の反対側面からエキシマレーザー(波長2
48nmのKrFレーザー、エネルギー密度2.0J/
cm2)にて径25μmのノズル孔加工を行った。
分をAμm、最長部分をBμmとしたとき、A:Bが
(1)5:5、(2)15:22、(3)3:7、
(4)70:80となるように、撥インク層側からノズ
ル孔めがけて、ノズル孔よりも大きい口径のエキシマレ
ーザーを照射して親インク処理を行った。インクジェッ
トヘッド駆動部と上記処理を施したノズルプレートを貼
り合わせてインクジェットヘッド(1)〜(4)を作製
した。一方親インク処理を施さずに同様に作製したもの
を比較インクジェットヘッドとした。 《クリーニング性評価》作製した各々のインクジェット
ヘッドを、クリーニングに用いられるウレタンゴムブレ
ードを用いて擦り、その後の吐出方向の曲がり具合を測
定した。吐出角度の最大角度差を測定して2度以上角度
差が出た場合をNGとする。30000回まで擦って評
価した。結果は以下の通りである。
ば、クリーニングに起因する傷によるインク吐出方向の
曲がりが抑えられる。
Claims (9)
- 【請求項1】 ノズルプレートのインク吐出側表面が撥
インク処理されたインク射出ノズルの、吐出口周縁の撥
インク層がオゾンによって破壊されて親水化処理を施さ
れたことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項2】 前記撥インク層をオゾンによって破壊す
る親水化処理が、オゾンを含む流体をヘッド内部に導入
してノズル孔から噴出させて行われたことを特徴とする
請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項3】 前記撥インク層をオゾンによって破壊す
る親水化処理が、前記撥インク処理されたノズルプレー
トをオゾン雰囲気のガス中に放置するか、オゾンを含む
液体に浸漬することによって行われたことを特徴とする
請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項4】 ノズルプレートのインク吐出側に保護シ
ートが添付されて親水化処理が行われたことを特徴とす
る請求項3に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項5】 ノズルプレートのインク吐出側表面が撥
インク処理されたインク射出ノズルの、吐出口周縁の撥
インク層がエキシマレーザーの照射にて除去されて親水
化処理を施されたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項6】 前記エキシマレーザーの照射領域が吐出
口端部から少なくとも1μm、かつ最長で300μmで
あることを特徴とする請求項5に記載のインクジェット
ヘッド。 - 【請求項7】 吐出口周縁の親水化処理の最短部に対す
る最長部の偏りが7/3以下であることを特徴とする請
求項6に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項8】 ノズルプレートがエキシマレーザーの照
射によりアブレーションが起こる樹脂からなることを特
徴とする請求項5、6又は7に記載のインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項9】 撥インク層が主としてフッ素樹脂からな
ることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7
又は8に記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30546599A JP3804359B2 (ja) | 1999-10-27 | 1999-10-27 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2001121709A true JP2001121709A (ja) | 2001-05-08 |
JP3804359B2 JP3804359B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=17945483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30546599A Expired - Fee Related JP3804359B2 (ja) | 1999-10-27 | 1999-10-27 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3804359B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006239730A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザーアブレーションによる加工方法と前記加工方法により加工された材料 |
WO2013073638A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | 旭硝子株式会社 | 硬化性組成物、塗布用組成物、硬化膜、レーザ加工方法、および多層配線構造体の製造方法 |
JP2016141002A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2016193493A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US11230103B2 (en) | 2019-06-03 | 2022-01-25 | Seiko Epson Corporation | Head unit and liquid ejection apparatus |
-
1999
- 1999-10-27 JP JP30546599A patent/JP3804359B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006239730A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザーアブレーションによる加工方法と前記加工方法により加工された材料 |
WO2013073638A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | 旭硝子株式会社 | 硬化性組成物、塗布用組成物、硬化膜、レーザ加工方法、および多層配線構造体の製造方法 |
JP2016141002A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2016193493A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US11230103B2 (en) | 2019-06-03 | 2022-01-25 | Seiko Epson Corporation | Head unit and liquid ejection apparatus |
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