JP4660951B2 - X線検出器再生方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線検出用基板を再生する基板再生方法にかかり、特に、剥離液を用いて再生する技術分野に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、医用及び産業用広域にわたりX線やγ線のような放射線を用いた検出装置の役割が大きく、医療用では診断におけるデジタル画像の利用拡大はX線CTに代表される。そのほか、アナログ系写真からの移行としては連続撮像とサブストラクションを容易にしたDSA、誇大な需要を持つ一般単純写真におけるCR(DR)、最近では超音波装置においても積極的にデジタル化が行われてきた。ほぼすべての画像領域でデジタル化が進み出した背景にはアナログ系に匹敵する画質を得られるようになったことや撮像機器類の価格低下、画像保管や転送システムの利用により得られる種々の利点などが挙げられる。その中で、X線画像記録・読み出し方法の確立は、デジタル化された画像情報の多面的利用や画像ネットワークへの接続による診断の効率化や質の向上、経費削減などの多くの利点があげられ市場要求が高い分野である。
【0003】
X線画像の記録・検出には銀塩フィルム、有機高分子フィルム或いは輝尽性蛍光フィルム、半導体素子が利用されている。しかしながら、デジタル化に対する上述した市場要求に対し、例えば輝尽性蛍光体の場合、X線エネルギーが一旦蓄積され、後に可視光照射で蛍光を発する現象を利用したものであり画像処理の時間遅れがありリアルタイムにおける画像処理に至らない状況にある。
【0004】
このような課題から抜きに出る技術として、電極付きガラス基板、例えば薄膜トランジスタ(TFT)上にX線検出層を積層した直接変換型に代表されるX線イメージセンサ画像処理システム等が開発されている。その中で、X線検出層として無定型セレンなどの無機化合物を利用したセンサ開発がされている。
【0005】
無機化合物層の形成技術は、真空蒸着法やイオンスパッタ、CVD法などによる形成技術が一般的であり薄膜形成技術として定着している。しかしながら、画像白点等の異常欠陥画像が発生することがしばしばある。このような不具合のために現在の胸部17インチ銀塩フィルムのような装置の置き換えを想定した場合、そのセンサ基板として大面積TFTを用いた場合TFT基板が高価でありセンサ部形成作業時等における外観欠陥不良に伴う不良コストの為に実用化が困難である。このようなセンサ材料の不具合が発生した場合における基板再生技術の確立が実用化には不可欠な課題である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
以上の技術課題に鑑み、本発明はX線検出器上の無機化合物層を剥離するにあたり、X線検出器用基板を傷つけることなく剥離し、再生する方法を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、透明基板と、前記透明基板上に形成された透明性を有する第1電極層と、無機化合物から成り、前記第1電極層上に形成されたX線検出層と、金属から成り、前記X線検出層上に形成された第2電極層とを有するX線検出器の、前記第2電極層と前記X線検出層とを剥離し、該X線検出器を再生するX線検出器再生方法であって、前記X線検出器を運搬板上に配置し、前記透明基板と前記運搬板の間に弾性シートを挟み、前記透明基板を前記弾性シートに密着させた状態で、前記第2電極層表面に水を主成分とする剥離液を吹き付けるX線検出器再生方法である。
請求項2記載の発明は、前記弾性シートは接着性を有し、前記弾性シートにより、前記透明基板を前記運搬板に貼付した状態で、前記剥離液を吹き付ける請求項1記載のX線検出器再生方法である。
請求項3記載の発明は、前記第2電極層と前記X線検出層とを剥離し、前記第1電極層を露出させた後、前記透明基板を前記弾性シートを介して前記運搬板上に貼付したまま、蒸着装置内に搬入し、蒸着法により、前記第1電極層上にX線検出層を再生し、再生された前記X線検出層の表面に金属膜を形成し、該金属膜を第2電極層とする請求項2記載のX線検出器再生方法である。
【0008】
【発明の実施の形態】
先ず、本発明に記載されるX線検出器の実施の形態を説明するが本発明の範囲を超えない限りこの例に限定されるものではない。下記の実施例では、透明基板としてガラス基板が用いられている。
【0009】
図1は、透明基板111上に第1電極層112、X線検出層121、第2電極層130をこの順で形成したX線検出器100を示している。X線検出器用基板110は透明基板111と第1電極層112とよりなり、無機化合物層120はX線検出層121よりなっている。
【0010】
図2は、透明基板211上に第1電極層212、無機下部層222、X線検出層221、第2電極層230をこの順で形成したX線検出器200を示している。X線検出器用基板220は透明基板211と第1電極層212とよりなり、無機化合物層220は無機下部層222とX線検出層221とよりなっている。
【0011】
図3は、透明基板311上に第1電極層312、X線検出層321、無機上部層323、第2電極層330をこの順で形成したX線検出器300を示している。X線検出器用基板310は透明基板311と第1電極層312とよりなり、無機化合物層320はX線検出層321と無機上部層323とよりなっている。
【0012】
図4は、透明基板411上に第1電極層412、無機下部層422、X線検出層421、無機上部層423、第2電極層430をこの順で形成したX線検出器400を示している。X線検出器用基板410は透明基板411と第1電極層412とよりなり、無機化合物層420は無機下部層422とX線検出層421と無機上部層423とよりなっている。
【0013】
図5は、X線検出器用基板としてTFTを用いたX線検出器500の例である。電荷蓄積素子513を設けたX線検出器用基板510上に図4と同様の無機化合物層520と第2電極層530が形成されてなる。
【0014】
透明基板511上に複数個のコンデンサ515と複数個のトランジスタ514とよりなる電荷蓄積素子513を有し、複数個の第1電極層512が形成されたX線検出器用基板510を示している。複数個のトランジスタ514と複数個のコンデンサ515、複数個のコンデンサ515と複数個の第1電極層512とはそれぞれ電気的に接続されている。また、各第1電極層512は絶縁物516により互いに絶縁されている。X線検出器用基板510上に無機下部層522、X線検出層521、無機上部層523、第2電極層530がこの順で形成されている。無機化合物層520は無機下部層522とX線検出層521と無機上部層523とよりなっている。
【0015】
なお、図1乃至図3で示すX線検出器用基板110乃至X線検出器用基板310は、図5に示すX線検出器用基板510に置きかえることができる。第1電極層は酸化インジウムスズ(ITO)より構成される。
【0016】
X線検出器用基板は、その表面に少なくとも第1電極層であるITOが露出しているものである。基板表面は図1〜図4に示すごとく全てITOでもよいし、図5に示すごとくITOがマトリクス状に配置された形態でもかまわない。後者の場合、X線有効検出領域において、1平方センチを単位面積とするITOの占有面積が30%以上であるものが好ましい。なお、X線有効検出領域とは、X線をX線検出器表面に照射したときに、X線検出器がセンサとして機能する領域のことである。
【0017】
X線検出層には無機化合物が用いられるが、その中でも無定型セレンを主成分とすることが好ましい。この場合の無定型セレン以外の含有物は、As、Te、Mg、Si、Fe、Al、Cu、Ag、Cl、Naの存在が確認されている。As、Teについては、10重量%以下の範囲で含有されていても電気的特性に影響はない。他の不純物については、1重量%以下の含有率であれば、電気的特性に影響はないと推定される。X線検出層として無定型セレン主成分とする無機化合物以外としては、硫化カドミウム、硫化亜鉛カドミウム、酸化亜鉛などのX線に照射により電荷発生する材料を用いることができる。
【0018】
X線検出層の膜厚は300μm〜3000μm程度であるが、X線検出器の機能によって適宜選択することができる。
無機下部層は、X線検出器の機能や性能に応じて適宜選択されるが、酸化砒素、酸化硼素、酸化ビスマス、酸化カルシウム、酸化セリウムなどの酸化物、硫化アンチモン、硫化カドミウム、硫化鉛、硫化亜鉛などの硫化物、セレンテルル、セレン砒素、セレンクロルなどのセレン化合物などを用いることができる。
【0019】
無機上部層は、X線検出器の機能や性能に応じて適宜選択されるが、酸化砒素、酸化硼素、酸化ビスマス、酸化カルシウム、酸化セリウムなどの酸化物、硫化アンチモン、硫化カドミウム、硫化鉛、硫化亜鉛などの硫化物、セレンテルル、セレン砒素、セレンクロルなどのセレン化合物などを用いることができる。
【0020】
無機下部層、無機上部層及びX線検出層を合わせた無機化合物層の合計膜厚は300μm以上3000μm以下である。300μmより薄いとX線検出器としての機能が損なわれ、3000μm以上では本発明で示す水または水を主成分とする剥離液の噴射による無機化合物層の剥離が困難となるため好ましくない。
【0021】
第2電極層しては、金、アルミニウムなど公知の導電性材料が用いられる。無機化合物層及び第2電極層の形成方法は、各層を構成する材料や処理能力などに応じて適宜選択することができるが、真空蒸着法により形成することが好ましい。
【0022】
次に本発明の再生方法を説明するが、本発明の範囲を超えない限りこの例に限定されるものではない。
本発明の再生方法は、固定されたX線検出器に水または水を主成分とする剥離液を噴射し、第1電極層と無機化合物層との界面から第1電極層より上層(X線が照射される側の層)である無機化合物層と第2電極層を剥離することによりなされるものである。
【0023】
剥離作業の一例を示す。図6(a)の符号600はX線検出器であり、剥離作業を行う対象を示している。このX線検出器600は透明基板611を有しており、該透明基板611上には、第1電極層612が形成されている。第1電極層612表面には、無機化合物層から成るX線検出層620が形成されており、X線検出層620表面には第2電極層630が形成されている。なお、符号610は透明基板611と第1電極層612とから成るX線検出器用基板を示している。
【0024】
図6(b)の符号603は金属製の運搬板であり、該運搬板603上にはシリコン樹脂から成る弾性シート602が貼付されている。弾性シート602の表面と裏面は接着性を有しており、弾性シート602は、弾性シート602自身の接着力によって運搬板603に貼付されている。
【0025】
この運搬板603を、図6(c)に示すように、作業台601上に配置し、固定器具604によって作業台601に固定する。
この状態では、弾性シート602表面は、鉛直上方に向けられており、弾性シート602上に、X線検出器600の透明基板611の裏面を押しつけると、X線検出器600は、弾性シート602の接着力によって、運搬板603に固定される。
【0026】
運搬板603は固定器具604によって作業台601に固定されているから、結局、X線検出器600が作業台601に固定される。
図7に示すように、第2電極層630の上方に噴射装置605を配置し、噴射装置605の下端部から水または水を主成分とする剥離液606をX線検出器600に向けて噴射すると、X線検出層620は比較的柔らかい材料で構成されているため、第2電極層630とその下層のX線検出層620とが剥離液606によって剥ぎ取られる。第2電極層630とX線検出層620とが除去されると第1電極層612が露出する。
【0027】
透明基板611はX線検出層620よりも硬い材料で構成されており、その表面に形成された第1電極層612と透明基板611との結合力が高く、第1電極層612は第2電極層630よりも硬いため、第1電極層612は剥離されず、その表面が露出する。
【0028】
弾性シート602の弾性により、剥離液606を300Kg/cm2以上1000Kg/cm2以下の範囲で吹き付けても、透明基板611と第1電極層612には、割れ、欠け、及びひび割れは生じなかった。
図7(b)は、第1電極層612表面が露出した状態を示しており、この状態では、元のX線検出器600のX線検出器用基板610が弾性シート602上に残っている。
【0029】
次に、図8に示すように、弾性シート602により、X線検出器用基板610を運搬板603上に貼付したまま作業台601上から取り外し、乾燥装置中に搬入し、乾燥させる。
X線検出器用基板610が乾燥した後、無機化合物層と第2電極層の再生作業を開始する。
【0030】
図9の符号801は、再生作業に使用する真空蒸着装置を示している。
上記剥離工程により、第1電極層612を露出されたX線検出器用基板610を、弾性シート602によって運搬板603に貼付したまま、真空蒸着装置801の真空槽810内に搬入する。
【0031】
真空槽810の天井側にはホルダ815が設けられており、搬入した運搬板603上のX線検出器用基板610は、第1電極層612側を鉛直下方に向け、運搬板603側をホルダ815に密着させ、押さえ金具816で運搬板603をホルダ815に固定する。
【0032】
X線検出器用基板610は、弾性シート602によって運搬板603に貼付されているから、真空槽810の天井側に固定されている。
真空槽810の底壁側には、第1の容器811と、該第1の容器811内に納められた第1の蒸着材料812が納められてる。
【0033】
この第1の蒸着材料812は、剥離前のX線検出層620を構成していた無機材料と同じ材料で構成されており、真空槽810内を真空雰囲気にした後、第1の蒸着材料812を加熱し、図10に示すように、その蒸気818を放出させると、第1の容器811の上方に位置するX線検出器用基板610に蒸気が飛行し、第1電極層612の表面に、無機化合物が析出し、剥離前のX線検出層620と同じ組成の新たな無機化合物層640が形成される。
【0034】
無機化合物層640が所定膜厚まで成長したところで、第1の蒸着材料812の加熱を停止し、蒸気の放出を終了させる。
次いで、真空槽810の真空雰囲気を維持しながら、図11に示すように、第1の容器811を第2の容器813に交換し、X線検出器用基板610の鉛直下方に第2の容器813を配置する。
【0035】
第2の容器813内には、第2電極層130を構成する材料と同じ金属材料である第2の蒸着材料814が配置されており、第2の蒸着材料814を加熱し、その蒸気819を放出させると、再生された無機化合物層640の表面に金属膜が成長し、その金属膜が所定膜厚まで成長すると新たな第2電極層650が得られる。
【0036】
図11の符号608は、無機化合物層640と第2電極層650とが再生されたX線検出器を示している。押さえ金具815を解除し、運搬板603と一緒にX線検出器608を取り外し、真空槽810の外部に取り出し、再生作業は終了する。
【0037】
以上説明したように、再生対象のX線検出器600を、弾性シート602によって運搬板603に貼付した後、剥離液を噴射する剥離作業と真空槽内での蒸着作業を、透明基板611を弾性シート602によって運搬板611に貼り付けた状態で行っている。
【0038】
剥離作業の際には、弾性シート602は、剥離液が噴射されるときの緩衝材料となり、透明基板611や第1電極層612の破壊を防ぎ、蒸着作業の際には、熱伝導材料となり、X線検出器用基板610に生じる熱を、運搬板602を介してホルダ815に伝達し、X線検出器用基板610の昇温を防いでいる。
【0039】
従って、弾性シート602は、接着性と弾性を有しているほか、高熱伝導性の材料を用いることが望ましい。また、運搬板602にも高熱伝導性が求められるため、ステンレスやアルミニウム等の金属で構成することが望ましい。
【0040】
上記実施例で用いたX線検出器600に代え、図1〜図5に示したX線検出器100、200、300、400、500も、同じ工程で再生することができる。
なお運搬板603を作業台601に固定する際に、固定機構604を用いたが、図示した固定機構604に限定されるものではなく、例えば、例えば運搬板603に貫通孔を、作業台601にねじ受けをそれぞれ設け、ねじなどで固定することも可能である。
【0041】
弾性シート602を設けることでガラスからなるX線検出器用基板610が割れるおそれが少なくなり好ましい。また運搬板603を設けているため、作業台601への固定や取り外し作業においてX線検出器用基板610に直接触れずに行うことができ、更に、運搬板603を固定することでX線検出器600を直接作業台601に固定する必要がなく、固定や取り外し作業におけるX線検出器600の損傷を防ぐことができるため好ましい。更には、X線検出層620を形成する前にX線検出器用基板610を弾性シート602を介して運搬板603に固定しておくと、作業中においてX線検出器用基板610に触れる機会を減らすことができ、無機化合物層形成手段への固定も運搬板603と無機化合物層形成手段とで行うことができるため、固定や取り外し作業によるX線検出器600の損傷を防ぐことができるためより好ましい。
【0042】
弾性シートとしては、シリコンゴムなどを用いることができる。運搬板603としてはアルミニウムなどを用いることができる。
X線検出器600の工程は、図6に限定されることなくX線検出器600を直接作業台601に固定してもかまわないが、いずれの方法においても、X線検出器を破損しない方法により行われるのが望ましい。
【0043】
噴射装置605としては、公知の噴射装置を用いることができる。噴射装置605は、例えば、ポンプなどを介して噴射ヘッドより剥離液を噴射するものが上げられるが、X線検出器用基板610を破損せず、X線検出層620を剥離できる程度の水圧を維持できるものであればよい。
【0044】
剥離液606をX線検出器600に噴射する圧力は、剥離する層の種類、厚さなどにより異なるが、300Kg/cm2〜1000Kg/cm2程度が好ましい。
剥離に用いる剥離液606は、水が好ましいが、水に各種有機溶剤や界面活性剤などを添加した溶液を用いることもできる。有機溶剤や界面活性剤などの添加割合は、特に限定されないが溶液に対して10重量%以下が好ましい。溶液を適宜選択することにより、剥離と同時に基板表面の洗浄効果を付加することも可能である。
剥離液606の温度は剥離する無機化合物層の種類によって適宜選択されるが、X線検出層が無定型セレンである場合、常温であることが好ましい。
【0045】
【実施例】
以下に実施例と比較例とにより更に詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0046】
【実施例】
<実施例1>
透明基板上に酸化インジウムスズからなる第1電極層が形成されているX線検出器用基板(以下、ITO基板)上にX線検出層として無定型セレン(以下、Se)を真空蒸着で膜厚300μmで成膜形成し、その上に第2電極層として金(以下、Au)を真空蒸着で成膜形成したX線検出器を、プレート状の運搬板に接着性を有する緩衝材から成る弾性シートを貼付けた運搬板上に設置し、穴径φ0.2mm×穴数7個の放水用揺動ノズルにより剥離液として水を水圧300kg/cm2でX線検出器表面に噴射し、Se及びAuの剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
【0047】
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、外観及び電気特性の評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0048】
【実施例】
<実施例2>
実施例1において、X線検出層のSeを真空蒸着で膜厚3000μmで成膜形成したものを同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0049】
【実施例】
<実施例3>
実施例1〜2において、前記ITO基板とSeとの間に無機下部層として硫化カドミウム(以下、CdS)を真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくCdS及びSe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
【0050】
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0051】
【実施例】
<実施例4>
実施例3において、前記無機下部層を無定型セレンテルル(以下、SeTe)に代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSeTe及びSe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0052】
<実施例5>
実施例4において、前記無機下部層を酸化セリウム(以下、CeO)に代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくCeO及びSe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0053】
【実施例】
<実施例6>
実施例1〜2において、前記SeとAuとの間に無機上部層としてCdSを真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSe及びCdS及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0054】
【実施例】
<実施例7>
実施例6において、前記無機上部層をSeTeに代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSe及びSeTe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0055】
<実施例8>
実施例6において、前記無機上部層をCeOに代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなくSe及びCeO及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、ITO基板の再生が確認できた。
【0056】
【実施例】
<実施例9>
実施例1〜2において、前記ITO基板とSeとの間に無機下部層としてCdSを、前記SeとAuとの間に無機上部層としてCdSを真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなく下部CdS及びSe及び上部CdS及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0057】
【実施例】
<実施例10>
実施例9において、前記無機下部層と無機上部層をSeTeに代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなく下部SeTe及びSe及び上部SeTe及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0058】
<実施例11>
実施例9において、前記無機下部層と無機上部層をCeOに代え、真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなく下部CeO及びSe及び上部CeO及びAuを剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0059】
【実施例】
<実施例12>
実施例1〜11において、前記X線検出層を無定型セレン砒素(以下、SeAs)に代え、各層を真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、ITO基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたITO基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0060】
【実施例】
<実施例13>
実施例1〜12において、前記X線検出器用基板を薄膜トランジスタを有するX線検出器用基板(以下、TFT基板)に代え、TFT基板上に各層を真空蒸着で成膜形成した前記X線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、TFT基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたTFT基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0061】
【実施例】
<実施例14>
実施例1〜13において、前記剥離液をイソプロピルアルコール水溶液に代え、各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたX線検出器用基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0062】
【実施例】
<実施例15>
実施例14において、前記剥離液をアセトン水溶液に代え、各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたX線検出器用基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0063】
【実施例】
<実施例16>
実施例14において、前記剥離液を石鹸水に代え、各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたX線検出器用基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0064】
【実施例】
<実施例17>
実施例1〜16において、前記剥離液の水圧を1000kg/cm2として各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離洗浄することが出来た。
剥離洗浄されたX線検出器用基板上に、再度各層を前記と同様の方法で成膜形成し、前記特性評価を実施した。結果、剥離洗浄前のX線検出器と同等の特性を得ることが出来、X線検出器用基板の再生が確認できた。
【0065】
<比較例1>
実施例1〜17において、前記X線検出器を前記ベース板に設置せずに同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板が破壊されてしまった。
【0066】
<比較例2>
実施例1〜17において、前記剥離液をイソプロピルアルコールに代え、各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離することが出来たが、無機化合物層が剥離されたX線検出器用基板表面にはシミが発生してしまった。
【0067】
<比較例3>
比較例2において、前記剥離液をアセトンに代え、各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することなく各層を剥離することが出来たが、無機化合物層が剥離されたX線検出器用基板表面にはシミが発生してしまった。
【0068】
<比較例4>
実施例1〜17において、前記剥離液の水圧を200kg/cm2として各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することないが、各層を完全に剥離することが出来なかった。
【0069】
<比較例5>
比較例4において、前記剥離液の水圧を1100kg/cm2として各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板が部分的に破壊されてしまった。
【0070】
<比較例6>
実施例1〜17において、穴径φ1.7mm×穴数1個の平射ノズルにより水または溶液を各X線検出器表面に噴射し、同様の剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板が破壊されてしまった。
【0071】
<比較例7>
実施例1〜17において、前記X線検出層の膜厚を250μmとして、各層を真空蒸着で成膜形成したX線検出器については、X線検出器として必要な機能を得ることが出来なかった。
【0072】
<比較例8>
比較例7において、前記X線検出層の膜厚を3100μmとして、各層を真空蒸着で成膜形成したX線検出器を同様の方法で剥離洗浄を実施した。結果、X線検出器用基板を破壊することないが各層を完全に剥離することが出来なかった。
【0073】
【発明の効果】
剥離作業の際に、第1電極層や透明基板が破壊されない。また、蒸着の際に高温に加熱されないので、特性のよいX線検出層が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法で再生可能なX線検出器の第1例を示す断面図
【図2】本発明方法で再生可能なX線検出器の第2例を示す断面図
【図3】本発明方法で再生可能なX線検出器の第3例を示す断面図
【図4】本発明方法で再生可能なX線検出器の第4例を示す断面図
【図5】本発明方法で再生可能なX線検出器の第5例を示す断面図
【図6】(a):本発明方法を説明するためのX線検出器
(b):本発明に用いられる運搬板と弾性シート
(c):運搬板を作業台に固定した状態を説明するための図
【図7】(a)、(b):X線検出器の第2電極層上に剥離液を噴射する状態を説明するための図
【図8】第二の電極層とX線検出層とを剥離した後の状態を説明するための図
【図9】本発明の蒸着工程を説明するための図(1)
【図10】本発明の蒸着工程を説明するための図(2)
【図11】本発明の蒸着工程を説明するための図(3)
【符号の説明】
100、200、300、400、500、600……X線検出器
111、211、311、411、511、611……透明基板
112、212、312、412、512、612……第1電極層
120、220、320、420、520、620……X線検出層
130、230、330、430、530、630……第2電極層
601……運搬板
606……剥離液
602……弾性シート
640……再生されたX線検出層
650……再生された第2電極層
801……蒸着装置
Claims (3)
- 透明基板と、
前記透明基板上に形成された透明性を有する第1電極層と、
無機化合物から成り、前記第1電極層上に形成されたX線検出層と、
金属から成り、前記X線検出層上に形成された第2電極層とを有するX線検出器の、前記第2電極層と前記X線検出層とを剥離し、該X線検出器を再生するX線検出器再生方法であって、
前記X線検出器を運搬板上に配置し、前記透明基板と前記運搬板の間に弾性シートを挟み、前記透明基板を前記弾性シートに密着させた状態で、前記第2電極層表面に水を主成分とする剥離液を吹き付けるX線検出器再生方法。 - 前記弾性シートは接着性を有し、前記弾性シートにより、前記透明基板を前記運搬板に貼付した状態で、前記剥離液を吹き付ける請求項1記載のX線検出器再生方法。
- 前記第2電極層と前記X線検出層とを剥離し、前記第1電極層を露出させた後、前記透明基板を前記弾性シートを介して前記運搬板上に貼付したまま、蒸着装置内に搬入し、蒸着法により、前記第1電極層上にX線検出層を再生し、再生された前記X線検出層の表面に金属膜を形成し、該金属膜を第2電極層とする請求項2記載のX線検出器再生方法。
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