JP4648662B2 - フローセンサの駆動方法および駆動回路 - Google Patents
フローセンサの駆動方法および駆動回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4648662B2 JP4648662B2 JP2004212595A JP2004212595A JP4648662B2 JP 4648662 B2 JP4648662 B2 JP 4648662B2 JP 2004212595 A JP2004212595 A JP 2004212595A JP 2004212595 A JP2004212595 A JP 2004212595A JP 4648662 B2 JP4648662 B2 JP 4648662B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- detection signal
- temperature detection
- temperature
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
Q=(A+B√v)/(Th −Tf )
ここで、Th はマイクロヒータ4のヒータ温度、Tf はガス温度、AおよびBは係数である。
4 マイクロヒータ(ヒータ)
5 下流側サーモパイル(下流側温度センサ)
8 上流側サーモパイル(上流側温度センサ)
11 右側サーモパイル(横側温度センサ)
13 左側サーモパイル(横側温度センサ)
56 定電圧電源
R1 抵抗(第1の抵抗)
R2 抵抗(第2の抵抗)
R3 抵抗(第3の抵抗)
OP1 オペアンプ(差動増幅器)
Q1 トランジスタ
58 定電流源
60 横側測温抵抗
62 環境温度測温抵抗
R5 抵抗(第1の固定抵抗)
R6 抵抗(第2の固定抵抗)
Claims (4)
- 基板に形成されたダイヤフラム上に、ガスを加熱するヒータと、前記ヒータに対してガスの上流側に配置され、第1の温度検出信号を出力する上流側温度センサと、前記ヒータに対してガスの下流側に配置され、第2の温度検出信号を出力する下流側温度センサと、前記ヒータに対してガスの流れ方向とほぼ直交方向に配置され、第3の温度検出信号を出力する横側温度センサとを有し、前記第1、第2および第3の温度検出信号に基づいてガスの流量を測定するフローセンサにおいて、
前記横側温度センサから出力される前記第3の温度検出信号によって前記ヒータ電流の電流量を制御し、前記第3の温度検出信号が一定になるように前記ヒータを駆動する
ことを特徴とするフローセンサの駆動方法。 - 基板に形成されたダイヤフラム上に、ガスを加熱するヒータと、前記ヒータに対してガスの上流側に配置され、第1の温度検出信号を出力する上流側温度センサと、前記ヒータに対してガスの下流側に配置され、第2の温度検出信号を出力する下流側温度センサと、前記ヒータに対してガスの流れ方向とほぼ直交方向に配置され、第3の温度検出信号を出力する横側温度センサとを有し、前記第1、第2および第3の温度検出信号に基づいてガスの流量を測定するフローセンサにおいて、
定電圧電源と、
前記定電圧電源に、順次、直列接続された第1、第2および第3の固定抵抗と、
前記第2の固定抵抗の両端に発生する電位差と前記第3の温度検出信号との差分が入力される差動増幅器と、
前記差動増幅器の出力で駆動され、前記ヒータにヒータ電流を供給するトランジスタとを備え、
前記横側温度センサから出力される前記第3の温度検出信号によって前記ヒータ電流の電流量を制御し、前記第3の温度検出信号が一定になるように前記ヒータを駆動する
ことを特徴とするフローセンサの駆動回路。 - 基板に形成されたダイヤフラム上に、ガスを加熱するヒータと、前記ヒータに対してガスの上流側に配置され、第1の温度検出信号を出力する上流側サーモパイルと、前記ヒータに対してガスの下流側に配置され、第2の温度検出信号を出力する下流側サーモパイルと、前記ヒータに対してガスの流れ方向とほぼ直交方向に左右に等間隔に配置され、第3の温度検出信号を出力する右側および左側サーモパイルとを有し、前記第1、第2および第3の温度検出信号に基づいてガスの流量を測定するフローセンサにおいて、
定電圧電源と、
前記定電圧電源に、順次、直列接続された第1、第2および第3の固定抵抗と、
前記第1および第2の固定抵抗の第1の接続点に接続された第1の入力端子と、前記第2および第3の固定抵抗の第2の接続点に接続された第2の入力端子とを有する差動増幅器と、
前記差動増幅器の出力で駆動され、前記ヒータにヒータ電流を供給するトランジスタとを備え、
前記右側サーモパイルは、前記第1の接続点と前記第1の入力端子の間に接続され、
前記左側サーモパイルは、前記第2の接続点と前記第2の入力端子の間に接続され、
前記差動増幅器は、前記第1および第2の接続点間の電位差と、前記右側および左側サーモパイルの熱起電力の和との差分を増幅し、
前記右側及び左側サーモパイルから出力される熱起電力の和によって前記ヒータ電流の電流量を制御し、前記熱起電力の和が一定になるように前記ヒータを駆動する
ことを特徴とするフローセンサの駆動回路。 - 基板に形成されたダイヤフラム上に、ガスを加熱するヒータと、前記ヒータに対してガスの上流側に配置され、第1の温度検出信号を出力する上流側測温抵抗と、前記ヒータに対してガスの下流側に配置され、第2の温度検出信号を出力する下流側測温抵抗と、前記ヒータに対してガスの流れ方向とほぼ直交方向に配置され、第3の温度検出信号を出力する横側測温抵抗とを有すると共に、前記ヒータの発熱の影響を受けず、ダイヤフラム上ではない位置に配置され、環境温度検出信号を出力する環境温度測温抵抗を有し、前記第1、第2および第3の温度検出信号に基づいてガスの流量を測定するフローセンサにおいて、
定電流源と、
前記横側測温抵抗および前記環境温度測温抵抗の直列接続体と、第1および第2の固定抵抗の直列接続体とで構成され、前記定電流源に接続されたブリッジ回路と、
前記横側測温抵抗および前記環境温度測温抵抗の接続点に接続された第1の入力端子と、前記第1および第2の固定抵抗の接続点に接続された第2の入力端子とを有する差動増幅器と、
前記差動増幅器の出力で駆動され、前記ヒータにヒータ電流を供給するトランジスタと
を備え、
前記横側測温抵抗から出力される前記第3の温度検出信号によって前記ヒータ電流の電流量を制御し、前記第3の温度検出信号が一定になるように前記ヒータを駆動する
ことを特徴とするフローセンサの駆動回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004212595A JP4648662B2 (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | フローセンサの駆動方法および駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004212595A JP4648662B2 (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | フローセンサの駆動方法および駆動回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006030110A JP2006030110A (ja) | 2006-02-02 |
JP4648662B2 true JP4648662B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=35896637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004212595A Expired - Fee Related JP4648662B2 (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | フローセンサの駆動方法および駆動回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4648662B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010520459A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッド | 質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100771167B1 (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-29 | 한국과학기술원 | 열대류형 마이크로 가속도계 |
US20160298991A1 (en) * | 2015-04-13 | 2016-10-13 | Funai Electric Co., Ltd. | Flowmeter and method of forming the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001012988A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Yazaki Corp | 熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法 |
JP2001349760A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Yazaki Corp | ガスメータ用信号発生装置及び、ガスメータ用流速検出装置 |
JP2002090195A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Yazaki Corp | 流速測定装置 |
JP2002131107A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-05-09 | Yazaki Corp | ヒータ制御装置 |
JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
-
2004
- 2004-07-21 JP JP2004212595A patent/JP4648662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001012988A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Yazaki Corp | 熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法 |
JP2001349760A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Yazaki Corp | ガスメータ用信号発生装置及び、ガスメータ用流速検出装置 |
JP2002090195A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Yazaki Corp | 流速測定装置 |
JP2002131107A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-05-09 | Yazaki Corp | ヒータ制御装置 |
JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010520459A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッド | 質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006030110A (ja) | 2006-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4050857B2 (ja) | 流体判別装置及び流量計測装置 | |
US8225652B2 (en) | Thermal flow meter measuring flow rate based on temperature difference measurement and driving energy of the heater | |
KR100791431B1 (ko) | 유체 계측 장치 및 유체 계측 방법 | |
JP4157034B2 (ja) | 熱式流量計測装置 | |
JP2011209152A (ja) | 流量計 | |
WO2003029759A1 (fr) | Instrument de mesure de debit | |
JP4648662B2 (ja) | フローセンサの駆動方法および駆動回路 | |
JP2003322658A (ja) | 流速センサ | |
JP5178261B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP3454265B2 (ja) | 熱式流速センサ | |
JP3991161B2 (ja) | 流速センサ | |
JP3706283B2 (ja) | フローセンサ回路 | |
JP3766601B2 (ja) | フローセンサ及び流量計測装置 | |
JP3958925B2 (ja) | ヒータ制御装置 | |
JP4981308B2 (ja) | 流量計測装置及び流体判別装置 | |
JP2008046143A (ja) | 熱式流体センサ及びフローセンサ | |
JP3577902B2 (ja) | 熱式流速センサ | |
JPH10104183A (ja) | 湿度検出装置及びそれを用いた空気流量測定装置 | |
JP6434238B2 (ja) | 流量計および補正値算出方法 | |
JP4904008B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP4820017B2 (ja) | フローセンサを用いた流量計測装置 | |
JPH11351936A (ja) | 熱式流量センサ及び熱式流量検出回路 | |
JP2004257790A (ja) | ガス物性値の測定方法 | |
KR20020080137A (ko) | 유량 계측용 센서 및 이를 이용한 질량유량제어장치 및 방법 | |
JP2008215870A (ja) | 流体計測装置及び流体計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070303 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101210 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |