JP6434238B2 - 流量計および補正値算出方法 - Google Patents
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Description
図1〜図6を用いて、本発明の第1実施形態に係る流量計1(第1実施形態においては1A)について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る流量計1Aの構成を示す構成図である。図1に示すように、本実施形態に係る流量計1Aは、例示的に、ガスなどの被測定流体が流通する図示していない配管の一部に取り付けられる流路保持体2と、流路保持体2に一体的に接続される計測ユニット3と、を備えて構成されている。
図7は、本発明の第2実施形態に係る流量計1(第2実施形態においては1B)の熱式流れセンサ10(第2実施形態においては10B)の構成を説明するための斜視図である。図8は、図7に示すI−I線に沿った断面図である。
2 流路保持体
2a 流路
3 計測ユニット
4 流入口
5 流出口
10、10A、10B 熱式流れセンサ
11 基板
12 キャビティ
13 絶縁膜
14 ヒータ
15 上流側測温抵抗素子
16 下流側測温抵抗素子
17 周囲温度測温抵抗素子
18 周囲温度測温抵抗素子
19 キャビティ
20 中央演算装置
22 流量計測部
24 補正値算出部
26 流量補正部
30 記憶装置
40 表示装置
50A ヒータ駆動部
50B センサ駆動部
50C 増幅制御部
R1〜R7 抵抗
U1、U2 計装アンプ
Claims (4)
- 被測定流体の流量を計測する流れセンサと、計測された前記流量を補正するための補正値を算出する補正値算出部と、を備え、
前記流れセンサは、
基板と、
前記被測定流体の温度に強く影響を受けるように配置された第1抵抗体と、
前記基板の温度に強く影響を受けるように配置された第2抵抗体と、を備え、
前記流れセンサは、前記第1抵抗体を含む周囲温度センサで計測される温度よりも一定温度高くなるように制御されるヒータで加えられた熱が前記被測定流体の流れ下流方向に運ばれる運搬効果によって、前記ヒータより前記被測定流体の流れ上流側に設けられた上流側測温抵抗素子の温度よりも、前記ヒータより前記被測定流体の流れ下流側に設けられた下流側測温抵抗素子の温度が高くなった場合における、前記上流側測温抵抗素子の電気抵抗と前記下流側測温抵抗素子の電気抵抗との間の差に基づいて被測定流体の流量を計測し、
前記補正値算出部は、前記第1抵抗体の抵抗値と前記第2抵抗体の抵抗値との差の変化量に対応づけられる、前記流量を補正するための補正値を算出する、
流量計。 - 前記流量を補正する流量補正部をさらに備え、
前記流量補正部は、前記補正値に基づいて前記流量を補正する、
請求項1に記載の流量計。 - 前記第1抵抗体の抵抗値の変化量と、前記補正値と、の相関関係を示す関係式又はテーブルを記憶する記憶部をさらに備える、
請求項1又は2に記載の流量計。 - 流れセンサにより被測定流体の流量を計測する工程と、
計測された前記流量を補正するための補正値を算出する工程と、を含み、
前記流れセンサは、
基板と、
前記被測定流体の温度に強く影響を受けるように配置された第1抵抗体と、
前記基板の温度に強く影響を受けるように配置された第2抵抗体と、を備え、
前記流量を計測する工程は、前記第1抵抗体を含む周囲温度センサで計測される温度よりも一定温度高くなるように制御されるヒータで加えられた熱が前記被測定流体の流れ下流方向に運ばれる運搬効果によって、前記ヒータより前記被測定流体の流れ上流側に設けられた上流側測温抵抗素子の温度よりも、前記ヒータより前記被測定流体の流れ下流側に設けられた下流側測温抵抗素子の温度が高くなった場合における、前記上流側測温抵抗素子の電気抵抗と前記下流側測温抵抗素子の電気抵抗との間の差に基づいて被測定流体の流量を計測する工程を含み、
前記補正値を算出する工程は、前記第1抵抗体の抵抗値と前記第2抵抗体の抵抗値との差の変化量に対応づけられる、前記流量を補正するための補正値を算出する工程を含む、
補正値算出方法。
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