JP4904008B2 - 熱式流量計 - Google Patents
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Description
図5に、上記3の上下流センサのトータルの平均温度を一定に保持する方式の具体的な実施回路を示す。図5において、上流と下流に設けられる一対の温度依存性の電気抵抗体センサ素子Ru,Rdと固定抵抗器Raが直列に接続される直列回路1と、流体又は周囲温度を検出する測温抵抗素子Rtと固定抵抗器Rc,及びRbが直列に接続される直列回路2により、電橋(ブリッジ)回路BCが構成されている。
Rs=Ru+Rd=Rso(1+αs*Ts)={Rto(1+αt*Ta)+Rc}(Ra/Rb)であり、
Ts={(1+αt*Ta+Rc/Rt0)(Ra/Rb)(Rto/Rso)−1}/αsから、流体または周囲温度Taの変化に対して上下流温度依存性電気抵抗体センサ素子の平均温度Tsを変化させることによって、被測定流量に対する出力特性温度依存性を補償する。
Rd 下流側の温度依存性電気抵抗体センサ素子
Rt 測温抵抗素子(温度センサ)素子
Ra,Rb,Rc 電橋回路用の固定抵抗器
R1,R2 加算回路用の固定抵抗器
r1,r2 加算回路用の固定抵抗器
A1,A2,A3 演算増幅器
Q1,Q2 トランジスタ
1,2 電橋回路用の直列回路
3,4 加算回路
11 流路
Claims (3)
- 流体の流路に沿って、上流と下流に一対の温度依存性電気抵抗体センサ素子を配置し、この両センサ素子に電圧を印加し流体に熱的に作用させ、前記上流と下流の温度依存性電気抵抗体センサ素子相互間の熱量の授受の関係を利用して、その質量流量を測定する熱式流量計であって、流量変化に対しては前記上流と下流の温度依存性電気抵抗体センサ素子の平均温度を不変とし、周囲温度あるいは流体の温度に対しては前記上流と下流の温度依存性電気抵抗体センサ素子の平均温度と流体の間の温度差を制御する熱式流量計において、
前記上流と下流一対の温度依存性電気抵抗体センサ素子と固定抵抗器が直列に接続される第1の直列回路と、温度センサ素子と第1と第2の固定抵抗器が直列に接続される第2の直列回路とを両辺とする電橋回路を構成し、
前記下流側の温度依存性電気抵抗体センサ素子と固定抵抗器の接続点か前記第1と第2の固定抵抗器の接続点の何れかに非反転入力端を接続し、他方の接続点に反転入力端を接続し、前記電橋回路の平衡を検出してこの電橋回路の一方の電位を制御する第1の演算増幅回路と、
前記上流側温度依存性電気抵抗体センサ素子と下流側温度依存性電気抵抗体センサ素子の接続点か所定の電位の何れかに非反転入力端を接続し、他方に反転入力端を接続し、前記上流側温度依存性電気抵抗体センサ素子と下流側温度依存性電気抵抗体センサ素子の接続点の電位を前記所定の電位に保持する第2の演算増幅回路と、
前記上流と下流一対の温度依存性電気抵抗体センサ素子の直列接続の両端電圧を一方の入力端に加算的に受け、センサ出力信号を出力する第3の演算増幅回路と、
を、備えたことを特徴とする熱式流量計 - 前記上流と下流一対の温度依存性電気抵抗体センサ素子と固定抵抗器が直列接続される第1の直列回路と、前記温度センサ素子と第1と第2の固定抵抗器が直列接続される第2の直列回路とを両辺とする電橋回路の平衡を検出する前記第1の演算増幅回路の入力電位が演算増幅器の電位条件を満足するよう前記電橋回路の前記下流側温度依存性電気抵抗体センサ素子と固定抵抗器の接続点と前記第1と第2の固定抵抗器の接続点に同一の電圧を加減する電圧加減手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の熱式流量計。
- 前記電圧加減手段は、前記下流側温度依存性電気抵抗体センサ素子と固定抵抗器の接続点と所定電位間に設けられる第1の加算回路と、前記第1と第2の固定抵抗器の接続点と所定電位間に設けられる第2の加算回路とからなり、前記第1と第2の加算回路の出力を前記第1の演算増幅回路の入力に受けることを特徴とする請求項2記載の熱式流量計。
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JP2005072367A JP4904008B2 (ja) | 2005-03-15 | 2005-03-15 | 熱式流量計 |
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Family Cites Families (2)
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JP2002162273A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Nippon M K S Kk | 質量流量センサ |
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2005
- 2005-03-15 JP JP2005072367A patent/JP4904008B2/ja active Active
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